Page 14 - 21-工艺气体元件（特气阀）
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隔膜阀 AP 系列 （气控式）
用途 阀功能
系列 阀体材质 ※1）
气路 一次侧高压 N.C. N.O.
AP3540 V V
AP3550 V g V
AP3580 V V
AP3000 V V
AP4540 V V
气控式
AP4550 V g V 316L VAR
AP4580 V V
AP3113 V V V
AP3130 V V V
AP3700 V g V
AP3708 V V
隔膜阀（2段式气控式）
用途 阀功能
系列 阀体材质 ※1）
气路 一次侧高压 N.C. N.O.
2 气控式 AP3571 V V
段式
316L VAR
AP4571 V V
※1）316L VAR: SUS316二次熔炼
※2）Cv值的计算依据SEMI标准F32。
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