Page 18 - 21-工艺气体元件（特气阀）

单向阀

V标准 v可选择型号或可选项
配管连接方式
系列 阀体 最高使用压力 开启压力 Cv ※2） 配管尺寸 页码
材质 ※1） MPa MPa 英寸 接合 接头

AP64 316L VAR 24.1 0.023 0.4 max 1 /4 焊接 V面密封接头 P.149
v焊接管

真空发生器

最高使 单向阀 配管连接方式
系列 阀体 用压力 模块 开启压力 泄气 配管尺寸 页码
材质 ※1） MPa 型 ※3） MPa 功能 英寸 接合 接头

AP7 316L -88 — 1 /4
3 /8
P.151
1 /4
AP70 316L -88 —
3 /8
V面密封接头
焊接
v焊接管
AP71 316L -88 V 0.023 v 1 /4 P.153
3 /8

1 /4
AP72 316L VAR -88 V 0.023 v P.155
3 /8

流量开关
流量开关
流量开关
流量开关
设定流量, 配管连接方式
阀体 最高使用压力 配管尺寸
系列 (0.69MPa, N2) 页码
材质 ※1） MPa 英寸
L/min（nor） 接合 接头
2
5

AP74 316L VAR 24.1 10 1 / 4 P.157
25
50
100
焊接 V面密封接头
225 v焊接管
24.1 350 1 /2
500
AP74B 316L 950 P.159
1100
16.3 1650 3 /4
2600
※1）316L VAR : SUS316L二次熔炼 316L : SUS316L
※2）Cv值的计算按SEMI标准F32。
※3）在真空发生器上组装气阀和单向阀的一体型设计

减压阀、阀选定指南 ·················· P.19～26
技术资料：术语解说 ·················· P.164、165

若需高压认定产品，请向本公司另行确认。
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