Page 22 - 21-工艺气体元件（特气阀）

推荐品种选定表

选定前请务必阅读P.19。

用途 阀 减压阀
气体供给系统 气体分配箱 气体供给系统 气体分配箱
（一次侧高压） （气路） （一次侧高压） （气路）
最大流量 最大流量 最大流量 最大流量
工艺气体 （L/min （nor）） 推荐品种 （L/min （nor）） 推荐品种 （L/min （nor）） 推荐品种 （L/min （nor）） 推荐品种
AP3540 AP3540 5 AP/AZ1500S 5 AP/AZ1000S
140 55
砷化氢 AP3650 AP3650 40 AP/AZ1400TS 20 AP/AZ1000S HF
（AsH3） AP4540 AP4540
240 95
AP4650 AP4650
AP3000 AP3540 15 AP/AZ1500S 15 AP/AZ1000S
185 90
砷化氢混合气体 AP3650 AP3650 50 AP1900S 50 AP/AZ1000S HF
（N2平衡） AP3002 AP4540 150 AP/AZ1400TS 150 AP/AZ1400TS
225 160
AP3650 AP4650
三氯化硼 20 AP4540 15 AP4540 6 AP/AZ1402TSA 0.4 AP/AZ1101SH
（BCl3） AP4650 AP4650 6 AP/AZ1402TSA
AP3000 AP3540 15 AP/AZ1500S 15 AP/AZ1000S
185 90
三氯化硼混合气体 AP3650 AP3650 60 AP/AZ1400TS 30 AP/AZ1000S HF
（N2平衡） AP3002 AP4540 60 AP/AZ1400TS
225 160
AP3650 AP4650
AP3000 AP3540 5 AP/AZ1500S 5 AP/AZ1000S
115 60
三氟化硼 AP3650 AP3650 25 AP/AZ1400TS 10 AP/AZ1000S HF
（BF3） AP3002 AP4540 25 AP/AZ1400TS
145 100
AP3650 AP4650
AP3000 AP3540 5 AP/AZ1500S 5 AP/AZ1000S
浓缩硼 115 AP3650 60 AP3650 25 AP/AZ1400TS 10 AP/AZ1000S HF
（别名: 三氟化硼（11））
（11BF3） 145 AP3002 100 AP4540 25 AP/AZ1400TS
AP3650 AP4650
1，3-丁二烯 60 AP4540 60 AP4540 3 AP/AZ1500S 3 AP/AZ1000S
（C4H6） AP4625 AP4625 40 AP/AZ1400T 5 AP/AZ1000S HF
正丁烷 AP4540 AP4540 3 AP/AZ/AK1500S 3 AP/AZ/AK1000S
（C4H10） 60 AP4625 60 AP4625 40 AP/AZ/AK1400T 5 AP/AZ/AK1000S HF
AP3540 AP3540 3 AP/AZ/AK1500S 3 AP/AZ/AK1000S
35 30
1-丁烯 AP3650 AP3650 50 AP/AZ/AK1400TS 5 AP/AZ/AK1000S HF
（C4H8） AP4540 AP4540
65 60
AP4650 AP4650
AP3000 AP3540 3 AP/AZ/AK1500S 8 AP/AZ/AK1000S
500 75
AP3650 AP3650 75 AP/AZ/AK1400TS 20 AP/AZ/AK1000S HF
AP3002 AP4540 150 AP/AZ/AK1200S VS 40 AP/AZ/AK1400TS
700 140
二氧化碳 AP3650 AP4650 500 qAP/AZ/AK1225S VS 100 AP/AZ/AK1200S
（CO2） AP3113 AP3700 wAP/AZ/AK1200S VS HF AP/AZ/AK1200S HF
2500 750 160
AP3125 AP3800 qAP9030S VS AZ/AK1300S
1000
wAP9100S VS 325 AP/AZ/AK1200S FC
800 AP9100S
AP3000 AP3540 5 AP/AZ1500S 5 AP/AZ1000S
185 90
一氧化碳 AP3650 AP3650 15 AP1900S 15 AP/AZ1000S HF
（CO） AP3002 AP4540 50 AP/AZ1400TS 50 AP/AZ1400TS
225 160
AP3650 AP4650
AP3000 AP3540 5 AP/AZ1500S 3 AP/AZ1000S
115 60
碳酰氟 AP3625 AP3625 25 AP/AZ1400TS 10 AP/AZ1000S HF
（COF2） 200 AP3625 AP4540
100
AP4625
AP3540 AP3540 3 AP/AZ1500SH 5 AP/AZ1000SH
75 50
AP3650 AP3650 50 AP/AZ1400TS 15 AP/AZ1000SH HF
AP4540 AP4540 75 AP/AZ1200SH 30 AP/AZ1400TS
氯 150 100
AP/AZ1200SH
（Cl2） AP4650 AP4650 200 AP/AZ1200SH HF 75 AP/AZ1200SH HF
AP3113
AP3700
300 400 125
AP3125 AP3800 AZ1300S
250 AP/AZ1200SH FC
三氟化氯 AP4540 AP4540 6 AP/AZ1402TSA 0.5 AP/AZ1101S
（ClF3） 20 AP4650 15 AP4650 6 AP/AZ1402TSA
AP3000 AP3540 5 AP1700S 10 AP/AZ1000S
185 90
乙硼烷混合气体 AP3650 AP3650 225 AP2700S 20 AP/AZ1000S HF
（N2平衡） AP3002 AP4540
225 160
AP3650 AP4650
二氯氢硅 20 AP4540 20 AP4540 7 AP/AZ1402TSA 1 AP1001S
（SiH2Cl2） AP4650 AP4650 7 AP/AZ1402TSA
※ 的品种，为了达到所定流量，需要加热。 型号前面的q、w表示需二段减压。q是第一段减压阀，w是第二段减压阀，推荐2台串
※推荐品种的表示型号一览，请参见P.20。 联使用。
21