Page 26 - 21-工艺气体元件（特气阀）

推荐品种选定表

选定前请务必阅读P.19。

用途 阀 减压阀
气体供给系统 气体分配箱 气体供给系统 气体分配箱
（一次侧高压） （气路） （一次侧高压） （气路）
最大流量 最大流量 最大流量 最大流量
工艺气体 （L/min （nor）） 推荐品种 （L/min （nor）） 推荐品种 （L/min （nor）） 推荐品种 （L/min （nor）） 推荐品种
AP3000 AP3540 3 AP/AZ1500S 3 AP/AZ1000S
310 75
一氧化氮 AP3650 AP3650 50 AP/AZ1400TS 6 AP/AZ1000S HF
（NO） AP3002 AP4540 75 AP/AZ1200S 50 AP/AZ1400TS
380 125
AP3650 AP4650 75 AP/AZ1200S
AP3000 AP3540 3 AP/AZ1500S VS 8 AP/AZ1000S VS
300 70
AP3650 AP3650 60 AP/AZ1400TS VS 20 AP/AZ1000S VS HF
AP3002 AP4540 100 AP/AZ1200S VS 35 AP/AZ1400TS VS
500 140
一氧化二氮 AP3650 AP4650 150 AP/AZ1200S VS HF 85 AP/AZ1200S VS
（N2O） AP3113 AP3700 qAP/AZ1225S VS AP/AZ1200S VS HF
1500 750 500 160
AP3125 AP3800 wAP/AZ1200S VS HF AZ1300S
qAP9030S VS 320 AP/AZ1200S VS FC
1000
wAP9100S VS 800 AP9100S VS
八氟环戊烯 AP4540 AP4540 5 AP/AZ1402TSA 0.3 AP/AZ1101S
（C5F8） 15 AP4650 15 AP4650 5 AP/AZ1402TSA
AP3000 AP3540 10 AP/AZ/AK1500S 10 AP/AZ/AK1000S
250 75
AP3650 AP3650 80 AP1900S 25 AP/AZ/AK1000S HF
AP3002 AP4540 150 AP1900S HF 50 AP/AZ/AK1400TS
400 150
氧 AP3650 AP4650 1000 AP/AZ/AK1200S HR 120 AP/AZ/AK1200S
（O2） AP3700 AP/AZ/AK1200S HF
1000 200
AP3800 AZ/AK1300S
400 AP/AZ/AK1200S FC
1000 AP9100S
六氟1, 3丁二烯 25 AP4540 25 AP4540 5 AP/AZ1402TSA 0.5 AP/AZ1101S
（C4F6） AP4650 AP4650 5 AP/AZ1402TSA
AP3000 AP3540 5 AP/AZ1500S 5 AP/AZ1000S
320 80
磷化氢 AP3650 AP3650 40 AP/AZ1400TS 10 AP/AZ1000S HF
（PH3） AP3002 AP4540
390 145
AP3650 AP4650
AP3000 AP3540 10 AP/AZ1500S 10 AP/AZ1000S
185 90
磷化氢混合气体 AP3650 AP3650 20 AP1900S 20 AP/AZ1000S HF
（N2平衡） AP3002 AP4540
225 160
AP3650 AP4650
AP3000 AP3540 10 AP/AZ1500S 10 AP/AZ1000S
15 5
AP3650 AP3650 20 AP1900S 20 AP/AZ1000S HF
五氟化磷 19 AP3002 9 AP4540
（PF5） AP3650 AP4650
AP3130 AP3700
41 52
AP3125 AP3800
AP3540 AP3540 3 AP/AZ/AK1500S 3 AP/AZ/AK1000S
65 42
丙烷 AP3650 AP3650 50 AP/AZ/AK1400TS 5 AP/AZ/AK1000S HF
（C3H8） AP4450 AP4540 75 AP/AZ/AK1200S 50 AP/AZ/AK1400TS
115 75
AP4650 AP4650
AP3540 AP3540 3 AP/AZ/AK1500S 3 AP/AZ/AK1000S
185 75
丙烯 AP3650 AP3650 50 AP/AZ/AK1400TS 5 AP/AZ/AK1000S HF
（C3H6） AP4540 AP4540 50 AP/AZ/AK1400TS
320 125
AP4650 AP4650
AP3000 AP3540 5 AP/AZ1500S 10 AP/AZ1000S
150 75
AP3650 AP3650 40 AP/AZ1400TS 25 AP/AZ1000S HF
AP3002 AP4540 50 AP2700S 50 AP/AZ1400TS
250 150
硅烷 AP3650 AP4650 60 AP/AZ1200S 120 AP/AZ1200S
（SiH4） AP3130 AP3700 100 AP/AZ1200S HF AP/AZ1200S HF
600 750 200
AP3125 AP3800 qAP/AZ1225S AZ1300S
500
wAP/AZ1200S HF 400 AP/AZ1200S FC
1000 AP9100S
AP3000 AP3540 10 AP/AZ1500S 10 AP/AZ1000S
185 90
硅烷混合气体 AP3650 AP3650 20 AP1900S 20 AP/AZ1000S HF
（N2平衡） AP3002 AP4540 40 AP/AZ1400TS 40 AP/AZ1400TS
225 160
AP3650 AP4650
四氯化硅 10 AP4540 10 AP4540 5 AP/AZ1402TSA 0.5 AP/AZ1101S
（SiCl4） AP4650 AP4650 5 AP/AZ1402TSA
AP3000 AP3540 10 AP/AZ1500S 10 AP/AZ1000S
95 45
四氟化硅 AP3650 AP3650 40 AP/AZ1400TS 20 AP/AZ1000S HF
（SiF4） AP3002 AP4540 40 AP/AZ1400TS
115 80
AP3650 AP4650
※ 的品种，为了达到所定流量，需要加热。 型号前面的q、w表示需二段减压。q是第一段减压阀、w是第二段减压阀，推荐2台串
※推荐品种的表示型号一览，请参见P.20。 联使用。
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