Page 31 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 一段式小型减压阀 高纯度适用 一段式小型减压阀 AP500 系列

AP500 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 可选项规格
● 流量范围 标准规格＜15L /min（nor） 大流量规格 推荐品种
HF规格(可选项): ＜30L /min（nor） 大流量规格仅产品内部变更，不改变外形尺寸。与标准规格相比，变更如下。
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼 可选项记号 型号 AP501□□A AP501 AP502 AP506 AP510
● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金规格 HF 压力特性 进口侧压力下降0.14MPa时，设定压力上升0.0028MPa
● 有负压调整规格，也适合低蒸气压气体的供给
减压阀减压阀
流量特性图
接触气体部材质
型号表示方法 RoHS
通口序号 材质记号 S SH 进口侧压力： 1.0MPa 0.7MPa
0.5MPa
q w e 阀体 SUS316L二次熔炼 AP510 配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃
AP5 02 S 2PW FV4 FV4 表面处理 SUS316L 电解抛光＋钝化处理 C-22 0.7 AP
AP
赫氏合金 ®
阀芯
®
膜片 Elgiloy （钴－铬－镍合金）
设定压力 孔口 SUS316L 0.6 SL
记号 设定压力范围 PTFE PTFE
0.0034~0.07MPa 阀座 ® 0.5 AZ
01 可选项 （可选项: PCTFE、Vespel （聚酰亚胺树脂）） （可选项: PCTFE）
负压调整规格（A）: —88kPa~0.07MPa
02 0.0034~0.2MPa 记号 规格 Cv值 （MPa） 0.4 AK
06 0.007~0.4MPa 无记号 标准 注1） 0.06 外形尺寸图
FI
10 0.007~0.7MPa 摩擦阻尼 设定压力 0.3 BP
HF 大流量规格 注2） 0.1
材质 AP500
记号 阀体 阀芯 膜片 孔口 注1）摩擦阻尼：响应慢，对下游侧 0.2
S SUS316L 配管连接方式 MFC的控制稳定有一定效果。
SUS316L Elgiloy ® SUS316L ø25.4 0.1
SH 二次熔炼 赫氏合金 ® （进口侧q、出口侧w） 注2）阀座材质不可选择VS。 隔膜阀
C-22 记号 配管连接方式 0
FV4 1/4面密封接头（内螺纹） ø20.8 0 5 10 15 20 25 30
内面粗糙度 MV4 1/4面密封接头（外螺纹） 流量（L/min（nor）,N2）
记号 表面粗糙度 Ra max 注) TW4 1/4焊接管 阀座材质 最大84.3
负压调整 记号 材质 进口侧压力： 1.0MPa 0.7MPa
无记号 0.4µm（标准）
M 0.25µm 记号 规格 无记号 PCTFE（标准） 0.5MPa
V 0.18µm 无记号 标准 通口数 TF PTFE 注1） 11.2 AP510*HF 配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃
X 0.13µm A 负压调整规格 记号 通口数 VS Vespel ®注2） 0.7
注) AP501以外不对应。 2PW 2通口 注1）PTFE阀座推荐用在工艺
3PWG 3通口 装置等气体末端消耗处。 0.6 单向阀
注2）材质记号SH不可选择。 A
通口位置（图为从上方看的状态） 压力表通口（出口侧e） 0.5
记号 配管连接方式或压力表 注) 注) □28.4
e 压力表表示 （MPa）
无记号 无表通口 记号 表示 0.4
w q w q FV4 1/4面密封接头（内螺纹） 45°
MV4 无压力表 1/4面密封接头（外螺纹） 无记号 不适用 设定压力 0.3
TW4 1/4 焊接管 MPA MPa
V3 –0.1~0.2MPa 注) 选择带压力表的场合， 0.2 真空发生器
2PW 3PWG L 带压力表 –0.1~0.4MPa 请记入“MPA”记号。 2×M5×0.8 深6.4
1 –0.1~0.7MPa 25.4 （10-32UNF也可使用） 0.1
qIN wOUT eOUT侧表通口
注) 压力表详见压力表指南（P.115）。
压力表请选择比减压阀的设定压力范围大的范围。 0
规格 0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 200
（mm） 流量（L/min（nor）,N2）
型号 AP501□□A AP501 AP502 AP506 AP510 配管连接方式 A
设定压力范围 —88kPa~0.07MPa 0.0034~0.07MPa 0.0034~0.2MPa 0.007~0.4MPa 0.007~0.7MPa FV4 70.6 AP501*A 进口侧压力： 0.01 MPa
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 MV4 70.6 配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃
进口侧压力范围 真空~1.0MPa TW4 53.8 0 流量开关
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍
耐压试验压力 —10
出口侧 最大设定压力的1.5倍
进口侧 最大进口侧压力的3倍 —20
破坏压力
出口侧 最大设定压力的3倍 —30
（但未冻结)）
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ 注1） （kPa） —40
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s
3
外部泄漏 −10 —50
3
向外泄漏 2×10 Pa · m /s 注2） 术语解说 技术资料
−9
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注2） 设定压力 —60
3
内面粗糙度 Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm、0.18µm、0.13µm） —70
配管连接方式 面密封接头、焊接管
压力特性 进口侧压力下降0.14MPa时, 设定压力上升0.0014MPa —80
安装方式 底面安装 —90 共同注意事项
内部容积 2.4cm 3
重量 0.45kg 注3） —100 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0
®
注1）阀座材质是Vespel (聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。 流量（L/min（nor）,N2）
注2）用钟罩法(氦气进口侧压力0.7MPa）测定。 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。
注3）重量是大致值，随配管连接方式和可选项等而不同。 Elgiloy ® （钴－铬－镍合金）是Elgiloy Specialty Metals公司的注册商标。 注）L/min（nor）, N2表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
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