Page 36 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 一段式减压阀 小~中流量 高纯度适用 一段式减压阀/小~中流量 AP1600 系列

AP1600 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 接触气体部材质
● 对应进口侧高压 最大24.1MPa
● 流量范围 ＜100L /min （nor）
材质记号 S SH
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼 阀体 SUS316L二次熔炼
● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金规格 表面处理 电解抛光＋钝化处理
阀芯 SUS316L 赫氏合金 ® C-22
膜片 SUS316L 赫氏合金 ® C-22
赫氏合金 ® C-22
SUS316L
型号表示方法 RoHS 孔口 PCTFE （可选项: Vespel ® （聚酰亚胺树脂）） PCTFE
阀座
通口番号
q w e r 外形尺寸图
AP16 01 S 2PW FV4 FV4 AP1600 ø53.8

设定压力 阀盖可选项
记号 设定压力范围 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） 记号 阀盖
01 0.007~0.07MPa 记号 配管连接方式 无记号 标准
02 0.007~0.2MPa FV4 1/4面密封接头（内螺纹） P 面板安装 注）
06 0.014~0.4MPa MV4 1/4面密封接头（外螺纹）
10 0.014~0.7MPa TW4 1/4焊接管 注）面板安装孔尺寸ø36.3。
材质 FV6 3/8面密封接头（内螺纹） ø38.1
记号 阀体 阀芯 膜片 孔口 MV6 3/8面密封接头（外螺纹） 阀座材质 最大139.7
S SUS316L SUS316L SUS316L TW6 3/8焊接管 记号 材质
SUS316L 无记号 PCTFE（标准）
SH 二次熔炼 赫氏合金® 赫氏合金® 赫氏合金® VS Vespel® 注）
C-22 C-22 C-22 压力表通口 （进口侧e、出口侧r） ø66.5
注）
注）材质记号SH不能选择。
记号 压力表
内面粗糙度 无记号 无表通口 出口 进口
记号 表面粗糙度 Ra max 无压力表 注）
无记号 0.4µm（标准） 通口数 0 （接头：1/4面密封 外螺纹） 压力表表示
M 0.25µm 记号 通口数 V3 −0.1~0.2MPa 记号 表示 17.5
V 0.18µm 2PW 2通口 L −0.1~0.4MPa 无记号 不适用
X 0.13µm 3PW 3通口 1 −0.1~0.7MPa MPA MPa ø63.5
4PW 4通口 H −0.1~1.1MPa 注）选择带压力表的场合， A
2 0~1.4MPa 请记入“MPA”记号。 22.4
通口位置 40 0~28MPa （mm） 2×M5×0.8 深6.4
注）压力表详见压力表指南（P.115）。 配管连接方式 A （10-32UNF也可使用）
r r e 压力表请选择比减压阀的设定压力范围 FV4
大的范围。 MV4 109.2
w q w q w q TW4 87.9
型号记入例 FV6 132.6
Port q w e r MV6
2PW 3PW 4PW AP1601S 2PW FV4 FV4 TW6 101.6
3PW FV4 FV4 0
qIN wOUT eIN侧表通口 rOUT侧表通口 3PW FV4 FV4 V3 MPA
4PW FV4 FV4 1 V3 MPA
4PW FV4 FV4 0 0 流量特性图
规格 进口侧压力： 10MPa 3MPa 进口侧压力： 1.0MPa 0.7MPa
1.5MPa 0.5MPa
型号 AP1601 AP1602 AP1606 AP1610 AP1610 配管连接口径：3/8英寸；流体温度：21℃ AP1610 配管连接口径：3/8英寸；流体温度：21℃
设定压力范围 0.007~0.07MPa 0.007~0.2MPa 0.014~0.4MPa 0.014~0.7MPa 0.8 0.7
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体
进口侧压力范围 真空~0.7MPa 真空~24.1MPa 0.7 0.6
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍
耐压试验压力
出口侧 最大设定压力的1.5倍 0.6 0.5
进口侧 最大进口侧压力的3倍
破坏压力 0.5
出口侧 最大设定压力的3倍 （MPa） （MPa） 0.4
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ 注1） 0.4
（但未冻结）
3
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s
外部泄漏 设定压力 设定压力 0.3
3
向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注2） 0.3
−9
3
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注3） 0.2
内面粗糙度 Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm、0.18µm、0.13µm） 0.2
配管连接方式 面密封接头、焊接管 0.1 0.1
阀盖通口 NPT1/8 注4）
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时, 设定压力上升0.0017MPa 0 0
安装方式 底面安装（可选项: 面板安装） 0 100 200 300 400 500 600 0 20 40 60 80 100 120 140 160
内部容积 13.5cm 3 流量（L/min（nor）,N2） 流量（L/min（nor）,N2）
重量 1.54kg 注5） 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。
注1）阀座材质是Vespel®（聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。 注4）选择面板安装可选项的场合，为通孔。 Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
注2）用钟罩法（氦气进口侧压力10.5MPa）测定。 注5）重量是大致值，随配管连接方式和可选项等而不同。
注3）用钟罩法（氦气进口侧压力3.5MPa）测定。
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