Page 33 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 一段式减压阀 小~中流量 高纯度适用 一段式减压阀/小~中流量 AP1000 系列

AP1000 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 可选项规
● 对应进口侧高压 最大24.1MPa 推荐品种
大流量规格
● 流量范围 标准规格: ＜30L /min （nor）
大流量规格仅产品内部变更，不改变外形尺寸。与标准规格相比，变更如下。
HF格（可选项） : ＜120L /min （nor） 可选项记号 型号 AP1001 AP1002 AP1006 AP1010 AP1015
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼 HF 压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.0052MPa
● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金规格
型号表示方法 RoHS 接触气体部材质 流量特性图 减压阀减压阀

通口序号 进口侧压力： 10MPa 3MPa
H
SHP
q w e r 材质记号 S SUS316L 二次熔炼 SH 赫氏合金 ® C-22 AP1010 1.5MPa
AP10 01 S 2PW FV4 FV4 阀体 电解抛光＋钝化处理 电解抛光处理 配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃
表面处理
AP
阀芯 SUS316L 赫氏合金 ® C-22 0.7 AP
设定压力 膜片 SUS316L 赫氏合金 ® C-22 0.6
记号 设定压力范围 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） 孔口 SUS316L 赫氏合金 ® C-22 SL
01 0.007~0.07MPa 记号 配管连接方式 阀盖可选项 阀座 PCTFE（可选项: Vespel ® PCTFE（可选项: PTFE） 0.5
02 0.007~0.2MPa FV4 1/4面密封接头（内螺纹） 记号 阀盖 （聚酰亚胺树脂）、PTFE） AZ
06 0.014~0.4MPa MV4 1/4面密封接头（外螺纹） 无记号 标准 （MPa） 0.4
10 0.014~0.7MPa TW4 1/4焊接管 P 面板安装 注） 外形尺寸图 AK
15 0.034~1.0MPa FV6 3/8面密封接头（内螺纹） 注）面板安装孔尺寸为ø39.6。 设定压力 0.3
材质 MV6 3/8面密封接头（外螺纹） AP1000 ø53.8 0.2 BP
记号 阀体 阀芯 膜片 孔口 TW6 3/8焊接管 可选项
S SUS316L SUS316L 0.1
记号
SHP SUS316L SUS316L 压力表通口 （进口侧e、出口侧r） 无记号 规格
注）
二次熔炼
标准
SH 赫氏合金 ® 赫氏合金 ® ® 记号 压力表 HF 大流量规格 0 隔膜阀
500
400
300
H 赫氏合金 ® C-22 C-22 赫氏合金 无记号 无表通口 0 100 200 流量（L/min（nor）,N2） 600 700 800
C-22
C-22
0 无压力表 阀座材质
（接头：1/4面密封 外螺纹） 记号 材质
内面粗糙度 V3 −0.1~0.2MPa 无记号 PCTFE（标准） 进口侧压力： 1.0MPa 0.7MPa
0.5MPa
记号 表面粗糙度 Ra max L −0.1~0.4MPa VS Vespel ®注1） ø38.1 AP1010 配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃
无记号 0.4µm（标准） 通口数 1 −0.1~0.7MPa TF PTFE 注2）注3） 最大142
M 0.25µm 记号 通口数 H −0.1~1.1MPa 0.7
V 0.18µm 2PW 2通口 2 0~1.4MPa 注1）材质记 号SHP、SH、H不
能选择。
X 0.13µm 3PW 3通口 4 0~3MPa 注2）PTFE阀座推荐用于工艺装 ø57.2 0.6 单向阀
4PW 4通口 40 0~28MPa 置等气体的末端消耗处。
通口位置 注）压力表详见压力表指南（P.115）。 注3）进口侧压力范围为2.1MPa 0.5
压力表请选择比减压阀的设定压力 以下。 （MPa）
r r e 范围大的范围。 17.5 0.4
压力表表示 注） 0.3
w q w q w q 设定压力
型号记入例 记号 表示 ø50.8
Port q w e r
AP1001S 2PW FV4 FV4 无记号 不适用 A 0.2 真空发生器
2PW 3PW 4PW 3PW FV4 FV4 0 MPA MPa
3PW FV4 FV4 V3 MPA 注）选择带压力表的场合， 0.1
4PW FV4 FV4 1 V3 MPA 请记入“MPA”记号。
qIN wOUT eIN侧表通口 rOUT侧表通口
4PW FV4 FV4 0 0 22.4 2×M5×0.8 深6.4 0
规格 （10-32UNF也可使用） 0 50 100 150 200
流量（L/min（nor）,N2）
型号 AP1001 AP1002 AP1006 AP1010 AP1015 进口侧压力： 1.0MPa 0.7MPa
设定压力范围 0.007~0.07MPa 0.007~0.2MPa 0.014~0.4MPa 0.014~0.7MPa 0.034~1.0MPa 0.5MPa
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 AP1010*HF 配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃
进口侧压力范围 真空~2.1MPa 真空~24.1MPa 注1） 流量开关
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍 0.7
耐压试验压力
出口侧 最大设定压力的1.5倍 0.6
进口侧 最大进口侧压力的3倍
破坏压力
出口侧 最大设定压力的3倍 （mm） 0.5
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ 注1） 注2） 配管连接方式 A
（但未冻结）
3
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s FV4 （MPa）
外部泄漏 94.0 0.4
3
向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注3） MV4
−9
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注4） TW4 75.2 0.3 术语解说 技术资料
3
内面粗糙度 Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm、0.18µm、0.13µm） FV6 119.4 设定压力
配管连接方式 面密封接头、焊接管 MV6 0.2
阀盖通口 NPT1/8 注5） TW6 75.2
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.0026MPa 0.1 共同注意事项
安装方式 底面安装（可选项: 面板安装）
内部容积 8cm 3 0
重量 1.25kg 注6） 0 50 100 150 200
注1）阀座材质是PTFE的场合，进口侧压力最大为2.1MPa。 注4）用钟罩法（氦气进口侧压力7MPa）测定。 流量（L/min（nor）,N2）
注2）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。 注5）选择面板安装可选项的场合，为通孔。 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。 注）L/min（nor）, N2表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
注3）用钟罩法（氦气进口侧压力10.5MPa）测定。 注6）重量是大致值，随配管连接方式和可选项等而不同。 Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
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