Page 38 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 一段式减压阀 小~中流量 高纯度适用 一段式减压阀／小~中流量 膜片 阀芯一体结构 AP1900 系列
膜片阀芯一体结构
AP1900 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 可选项规格
● 对应进口侧高压 最大24.1MPa
大流量规格
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼
大流量规格仅产品内部变更，不改变外形尺寸。与标准规格相比，变更如下。
● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金规格 可选项记号 型号 AP1901 AP1902 AP1906 AP1910 AP1915
● 膜片阀芯一体结构 HF 压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.0042MPa
型号表示方法 RoHS
接触气体部材质 流量特性图
通口番号
q w e r 进口侧压力： 10MPa 3MPa
AP19 01 S 2PW FV4 FV4 阀体 S SUS316L二次熔炼 SH AP1910 配管连接口径：3/8英寸；流体温度：21℃
材质记号
1.5MPa
表面处理 电解抛光＋钝化处理 0.8
设定压力 阀芯 SUS316L 赫氏合金 ® C-22
记号 设定压力范围 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） 膜片 SUS316L 赫氏合金 ® C-22 0.7
01 0.007~0.07MPa 记号 配管连接方式 阀盖可选项 孔口 SUS316L 赫氏合金 ® C-22
02 0.007~0.2MPa FV4 1/4面密封接头（内螺纹） 记号 阀盖 阀座 PCTFE（可选项: Vespel ® 0.6
06 0.014~0.4MPa MV4 1/4面密封接头（外螺纹） 无记号 标准 （聚酰亚胺树脂）) PCTFE 0.5
10 0.014~0.7MPa TW4 1/4焊接管 P 面板安装 注） （MPa）
15 0.034~1.0MPa FV6 3/8面密封接头（内螺纹） 注）面板安装孔尺寸ø36.3。 外形尺寸图 0.4
MV6 3/8面密封接头（外螺纹）
材质 TW6 3/8焊接管 设定压力 0.3
记号 阀体 阀芯 膜片 孔口 FV8 1/2面密封接头（内螺纹） 可选项 AP1900
S SUS316L SUS316L SUS316L MV8 记号 规格 ø53.8 0.2
SUS316L 1/2面密封接头（外螺纹）
标准
SH 二次熔炼 赫氏合金 ® 赫氏合金 ® 赫氏合金 ® TW8 1/2焊接管 无记号 大流量规格 0.1
C-22
C-22
C-22
HF
注）
压力表通口 （进口侧e、出口侧r） 0
内面粗糙度 记号 压力表 阀座材质 0 100 200 300 400 500 600 700 800
记号 表面粗糙度 Ra max 无记号 无表通口 记号 材质 流量（L/min（nor）,N2）
无记号 0.4µm（标准） 通口数 无压力表 无记号 PCTFE（标准） 进口侧压力： 1.0MPa 0.7MPa
M 0.25µm 记号 通口数 0 （接头：1/4面密封 外螺纹） VS Vespel ®注） 0.5MPa
V 0.18µm 2PW 2通口 V3 −0.1~0.2MPa 注）材质记号SH不能选择。 AP1910 配管连接口径：3/8英寸；流体温度：21℃
X 0.13µm 3PW 3通口 L −0.1~0.4MPa ø38.1
4PW 4通口 1 −0.1~0.7MPa 最大142 0.7
H −0.1~1.1MPa 压力表表示 注） 0.6
通口位置 2 0~1.4MPa 记号 表示 ø66.5
40 0~28MPa 无记号 不适用 0.5
r r e 注）压力表详见压力表指南P.115。 MPA MPa 出口 进口
压力表请选择比减压阀的设定压力范围 注）选择带压力表的场合， （MPa） 0.4
w q w q w q 大的范围。 请记入“MPA”记号。
17.5 设定压力 0.3
型号记入例
2PW 3PW 4PW Port q w e r 0.2
AP1901S 2PW FV4 FV4 ø63.5
3PW FV4 FV4 0
qIN wOUT eIN侧表通口 rOUT侧表通口 A
3PW FV4 FV4 V3 MPA 0.1
4PW FV4 FV4 40 V3 MPA
4PW FV4 FV4 0 0 22.4 0
2×M5×0.8 深6.4
规格 （10-32UNF也可使用） 0 50 100 150 200 250
流量（L/min（nor）,N2）
型号 AP1901 AP1902 AP1906 AP1910 AP1915
设定压力范围 0.007~0.07MPa 0.007~0.2MPa 0.014~0.4MPa 0.014~0.7MPa 0.034~1.0MPa 进口侧压力： 10MPa 1.5MPa
0.7MPa
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 AP1910*HF 配管连接口径：3/8英寸；流体温度：21℃
进口侧压力范围 真空~24.1MPa
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍 0.7
耐压试验压力
出口侧 最大设定压力的1.5倍
进口侧 最大进口侧压力的3倍 0.6
破坏压力
出口侧 最大设定压力的3倍 （mm）
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ 注1） 配管连接方式 A 0.5
（但未冻结）
向内泄漏 2×10 −11 Pa·m /s FV4 （MPa）
3
外部泄漏 −10 109.2 0.4
3
向外泄漏 2×10 Pa·m /s 注2） MV4
−9
内部泄漏 4×10 Pa·m /s 注3） TW4 87.9
3
内面粗糙度 Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm、 0.18µm、 0.13µm） FV6 设定压力 0.3
配管连接方式 面密封接头、焊接管 MV6 132.6
阀盖通口 NPT1/8 注4） TW6 101.6 0.2
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时,设定压力上升0.0017MPa FV8
安装方式 底面安装（可选项: 面板安装） MV8 132.6 0.1
内部容积 13.5cm 3 TW8 110.2
重量 1.54kg 注5） 0 0 100 200 300 400 500 600 700 800
注1）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。 注4）选择面板安装可选项的场合，为通孔。 流量（L/min（nor）,N2）
注2）用钟罩法（氦气进口侧压力10.5MPa）测定。 注5）重量是大致值，随配管连接方式和可选项等而不同。 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。
注3）用钟罩法（氦气进口侧压力7MPa）测定。 注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
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