Page 41 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 一段式减压阀 中流量 高纯度适用 一段式减压阀／中流量 膜片阀芯一体结构 AP1400T 系列
膜片阀芯一体结构
AP1400T 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 可选项规格
对应进口侧高压 标准规格：最大15.9MPa、HR规格（可选项）: 最大20.7MPa
● 进口侧高压规格 推荐品种
● 流量范围 ＜400L/min（nor） 与标准规格相比，变更点如下。
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼 可选项记号 型号 AP1410T AP1415T
● 内部材质标准规格为赫氏合金 HR 进口侧压力范围 真空~20.7MPa
● 选择负压调整规格（可选项），下流侧供给负压气体
● 膜片阀芯一体结构 减压阀减压阀
型号表示方法 RoHS 接触气体部材质 流量特性图

通口序号 进口侧压力： 1.0MPa 0.7MPa 0.5MPa
q w e r 材质记号 S SH AP1410T 配管连接口径：1/2英寸；流体温度：21℃
AP14 02 T S 2PW FV4 FV4 阀体 电解抛光＋钝化处理 0.7 AP
SUS316L二次熔炼
AP
表面处理
阀芯 赫氏合金 ® C-22 0.6
设定压力 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） 膜片 赫氏合金 ® C-22 SL
记号 设定压力范围 记号 配管连接方式 孔口 SUS316L 赫氏合金 ® C-22 0.5
0.007~0.2MPa 盖可选项 阀座 PCTFE（可选项: Vespel ® （聚酰亚胺树脂）） PCTFE AZ
02 FV4 1/4面密封接头（内螺纹） 记号 阀盖
负压调整规格（A）: −88kPa~0.2MPa MV4 1/4面密封接头（外螺纹） （MPa） 0.4
06 0.014~0.4MPa TW4 1/4焊接管 无记号 标准 外形尺寸图 AK
10 0.014~0.7MPa FV6 3/8面密封接头（内螺纹） P 面板安装 注1） 设定压力 0.3
15 0.034~1.0MPa MV6 SC 短型 注2） AP1400T BP
材质 3/8面密封接头（外螺纹） 注1）面板安装孔尺寸为ø39.6。 ø53.8 0.2
记号 阀体 阀芯 膜片 孔口 TW6 3/8焊接管 注2）阀盖通口为通孔。
S SUS316L 赫氏合金 ® 赫氏合金 ® SUS316L FV8 1/2面密封接头（内螺纹） 1402TA不对应。 0.1
SH 二次熔炼 C-22 C-22 赫氏合金 ® C-22 MV8 1/2面密封接头（外螺纹）
TW8 1/2焊接管 隔膜阀
内面粗糙度 0 0 100 200 300 400 500 600 700 800
注）
记号 表面粗糙度 Ra max 负压调整 注） 压力表通口 （进口侧e、出口侧r） 可选项
无记号 0.4µm（标准） 记号 规格 记号 压力表 记号 规格 流量（L/min（nor）,N2）
M 0.25µm 无记号 标准 无记号 无表通口 无记号 标准
V 0.18µm A 负压调整规格 0 无压力表（接头: 1/4面密封 外螺纹） 对应进口侧高压 ø38.1 AP1410T 进口侧压力： 10MPa 3MPa 1.5MPa
X 0.13µm 注）AP1402T以外不对应。 V3 −0.1~0.2MPa HR （最大进口侧压力20.7MPa） 注） （可选项记号SC时） 配管连接口径：1/2英寸；流体温度：21℃
通口数 L −0.1~0.4MPa 注）AP1402T和AP1406T不对应。 最大152 0.7
1
记号 通口数 H −0.1~0.7MPa 0.6
2PW 2通口 2 −0.1~1.1MPa 单向阀
3PW 3通口 0~1.4MPa 阀座材质 ø66.5 最大142 0.5
4PW 4通口 4 0~3MPa 记号 材质
通口位置 40 0~28MPa 无记号 PCTFE（标准） （MPa）
注）压力表详见压力表指南（P.115）。 VS Vespel ®注） 0.4
r r e 压力表请选择比减压阀的设定压力范围
大的范围。 注）材质记号SH不能选择。 设定压力 0.3
w q w q w q 17.5
型号记入例 压力表表示 注） 0.2
Port q w e r øA
AP1410T 2PW FV4 FV4 记号 表示 真空发生器
2PW 3PW 4PW 3PW FV4 FV4 0 无记号 不适用 B 0.1
3PW FV4 FV4 1 MPA MPA MPa
qIN wOUT eIN侧表通口 rOUT侧表通口 4PW FV4 FV4 40 1 MPA 注）选择带压力表的场合， 22.4 0
4PW FV4 FV4 0 0 请记入“MPA”记号。 2×M5×0.8 深6.4 0 200 400 600 800 1000 1200 1400
规格 （10-32UNF也可使用） 流量（L/min（nor）,N2）
型号 AP1402TmmA AP1402T AP1406T AP1410T AP1415T 进口侧压力： 0.01MPa
0.034~1.0MPa AP1402T*A 配管连接口径：1/2英寸；流体温度：21℃
设定压力范围 −88kPa~0.2MPa 0.007~0.2MPa 0.014~0.4MPa 0.014~0.7MPa
（进口侧压力6.9MPa以下的场合） 注1）
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 0
进口侧压力范围 真空~2.1MPa 真空~15.9MPa -10 流量开关
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍
耐压试验压力 -20
出口侧 最大设定压力的1.5倍
进口侧 最大进口侧压力的3倍 -30
破坏压力
出口侧 最大设定压力的3倍 （mm） （kPa） -40
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ 注2） 配管连接方式 A B
（但未冻结）
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s FV4 94.0 -50
3
外部泄漏 向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注3） MV4 50.8 101.6 设定压力 -60 术语解说 技术资料
3
−9
3
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注4） TW4 87.9
内面粗糙度 Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm、0.18µm、0.13µm） FV6 -70
配管连接方式 面密封接头、焊接管 MV6 132.6 -80
阀盖通口 NPT1/8 注5）
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时， 设定压力上升0.011MPa TW6 63.5 101.6 -90
安装方式 底面安装（可选项: 面板安装） FV8 共同注意事项
内部容积 17.4cm 3 MV8 132.6 -100 0 2 4 6 8 10 12 14 16
重量 2.04kg 注6） TW8 110.2
注1）进口侧压力最大可至15.9MPa。但超过6.9MPa，由于受压力特性的影响， 注3）用钟罩法（氦气进口侧压力10.5MPa）测定。 流量（L/min（nor）,N2）
最大设定压力会变得比1MPa低。最大设定压力随进口侧压力成比例变化， 注4）用钟罩法（氦气进口侧压力7MPa）测定。 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。 注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
但进口侧压力在15.9MPa时，最大设定压力大概为0.89MPa。 注5）选择面板安装可选项的场合，为通孔。 Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
注2）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。 注6）重量是大致值，随配管连接方式和可选项等而不同。
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