Page 44 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 一段式减压阀 负压调整适用 高纯度适用 一段式减压阀/负压调整适用 AP1100 系列

AP1100 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 接触气体部材质
● 可负压调节，下流侧供给负压气体
● 流量范围 ＜0.5L /min（nor） 材质记号 S SHP SH H
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼 阀体 SUS316L 二次熔炼 赫氏合金 ® C-22
● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金规格 表面处理 电解抛光＋钝化处理 电解抛光处理
阀芯 SUS316L 赫氏合金 ® C-22
膜片 SUS316L 赫氏合金 ® C-22
型号表示方法 RoHS 孔口 SUS316L PCTFE（可选项: PTFE） 赫氏合金 ® C-22
阀座
通口序号
q w e r 外形尺寸图
AP11 01 S 2PW FV4 FV4 AP1100

ø53.8
设定压力
记号 设定压力范围
01 −88kPa~0.07MPa
通口数 阀盖可选项
材质 记号 通口数 记号 阀盖
记号 阀体 阀芯 膜片 孔口 2PW 2通口 无记号 标准
S SUS316L SUS316L 3PW 3通口 P 面板安装 注）
SHP SUS316L SUS316L 4PW 4通口 注）面板安装孔尺寸为ø39.6。
二次熔炼
SH 赫氏合金 ® 赫氏合金 ® 赫氏合金 ® ø38.1
H 赫氏合金 ® C-22 C-22 C-22 阀座材质 最大142
C-22 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） 记号 材质
内面粗糙度 记号 配管连接方式 无记号 PCTFE（标准）
记号 表面粗糙度 Ra max FV4 1/4面密封接头（内螺纹） TF PTFE 注） ø57.2
无记号 0.4µm（标准） MV4 1/4面密封接头（外螺纹） 注）PTFE阀座推荐用于工艺装置
M 0.25µm TW4 1/4焊接管 等气体的末端消耗处。
V 0.18µm FV6 3/8面密封接头（内螺纹）
X 0.13µm MV6 3/8面密封接头（外螺纹）
通口位置 TW6 3/8焊接管 压力表表示 注） 17.5
记号 表示 ø50.8
r 注） 无记号 不适用
压力表通口 （进口侧e、出口侧r） MPA MPa A
w q w q 记号 压力表 注）选择带压力表的场合， （mm）
无记号 无表通口 请记入“MPA”记号。 配管连接方式 A 22.4 2×M5×0.8 深6.4
0 无压力表 FV4 （10-32UNF也可使用）
2PW 3PW （接头：1/4面密封 外螺纹） MV4 94.0
V3 −0.1~0.2MPa
r e L −0.1~0.4MPa 型号记入例 q w e r TW4 75.2
1 −0.1~0.7MPa Port FV6 119.4
w q AP1101S 2PW FV4 FV4 MV6
H −0.1~1.1MPa 3PW FV4 FV4 0
2 0~1.4MPa 3PW FV4 FV4 V3 MPA TW6 75.2
4 0~3MPa 4PW FV4 FV4 V3 V3 MPA
4PW 4PW FV4 FV4 0 0
注）压力表详见压力表指南（P.115）。
压力表请选择比减压阀的设定压力范围
qIN wOUT eIN侧表通口 流量特性图
rOUT侧表通口 大的范围。
规格 AP1100 进口侧压力：14kPa
0
型号 AP1101 -10
设定压力范围 −88kPa~0.07MPa
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 -20
进口侧压力范围 真空~2.1MPa -30
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍
耐压试验压力
出口侧 最大设定压力的1.5倍 （kPa） -40
进口侧 最大进口侧压力的3倍 -50
破坏压力
出口侧 最大设定压力的3倍 设定压力
环境温度及使用流体温度 −40~71℃（但未冻结） -60
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s -70
3
外部泄漏 向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注1）
3
−9
3
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注1） -80
内面粗糙度 Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm、0.18µm、0.13µm） -90
配管连接方式 面密封接头、焊接管 -100
阀盖通口 NPT1/8 注2） 0 1 2 3
安装方式 底面安装（可选项: 面板安装） 流量（L/min（nor）,N2）
内部容积 8cm 3 注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
重量 1.25kg 注3）
注1）用钟罩法（氦气进口侧压力2.1MPa）测定。 注3）重量是大致值，随配管连接方式和可选项而不同。
注2）选择面板安装可选项的场合，为通孔。 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。
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