Page 48 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 二段式减压阀 中流量 高纯度适用 二段式减压阀/中流量 膜片阀芯一体结构 AP2700 系列
膜片阀芯一体结构
AP2700 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 接触气体部材质
对应进口侧高压 最大24.1MPa
●
● 流量范围 ＜150L /min（nor）（NF3） 材质记号 S SH
＜900L /min（nor）（H2） 阀体 SUS316L二次熔炼
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼 表面处理 电解抛光＋钝化处理
● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金规格 阀芯 SUS316L 赫氏合金 ® C-22
● 由于是二段式减压构造，将进口侧压力变动的影响抑制在最小限度 膜片 SUS316L/赫氏合金 ® C-22 赫氏合金 ® C-22
● 膜片阀芯一体结构 RoHS 孔口 SUS316L 赫氏合金 ® C-22
型号表示方法 阀座 PCTFE（可选项: Vespel ® （聚酰亚胺树脂）） PCTFE
通口序号
q w e r 外形尺寸图
AP27 02 S 2PW FV4 FV4 AP2700

设定压力 ø53.8
记号 设定压力范围 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） 阀盖可选项
02 0.007~0.2MPa 记号 阀盖
06 0.014~0.4MPa 记号 配管连接方式 无记号 标准
FV4
10 0.014~0.7MPa MV4 1/4面密封接头（内螺纹） P 面板安装 注）
12 0.021~0.8MPa 1/4面密封接头（外螺纹） 注）面板安装孔尺寸为
材质 TW4 1/4焊接管 ø39.6。 ø38.1
记号 阀体 阀芯 膜片 孔口 FV6 3/8面密封接头（内螺纹）
SUS316L/ MV6 3/8面密封接头（外螺纹） 阀座材质 ø47.5
S SUS316L SUS316L SUS316L TW6 3/8焊接管
二次熔炼 赫氏合金 ® C-22 记号 材质
SH 赫氏合金 ® C-22 赫氏合金 ® C-22 赫氏合金 ® C-22 通口数 无记号 PCTFE（标准） ø66.5
内面粗糙度 记号 通口数 VS Vespel ®注） 74.2±1
记号 表面粗糙度 Ra max 2PW 2通口 注）材质记号SH不能选择。 65.0±1
无记号 0.4µm（标准） 3PWQ 3通口 LP HP 最大278.1
M 0.25µm （中间段压力监视用（MP）通口带1个） 压力表表示 注）
V 0.18µm 4PW 4通口 记号 表示
X 0.13µm 5PWQ 5通口 无记号 不适用
通口位置 （中间段压力监视用（MP）通口带1个） MPA MPa 39.1±1
w q w q 压力表通口 （进口侧e、出口侧r） 注）选择带压力表的场合，
注）
请记入“MPA”记号。
记号 压力表
无记号 无表通口 （mm） 125.2±1.3
2PW MP 3PWQ 0 无压力表 配管连接方式 A
（接头：1/4面密封 外螺纹） FV4
r e r e V3 −0.1~0.2MPa MV4 109.2
L −0.1~0.4MPa 型号记入例 Port e r TW4 87.9
1 −0.1~0.7MPa AP2702S 2PW FV4 FV4 FV6
w q w q H −0.1~1.1MPa 3PWQ FV4 FV4 MV6 132.6 A
FV4 FV4 40 V3 MPA
2
4PW
4PW MP 5PWQ 40 0~1.4MPa 5PWQ FV4 FV4 40 V3 MPA TW6 101.6
0~28MPa
qIN wOUT eIN侧表通口 rOUT侧表通口 注）压力表详见压力表指南（P.115）。
MP＝中间段压力监视通口 压力表请选择比减压阀的设定压力范围大的范围。 流量特性图
规格
进口侧压力： 10MPa 1.5MPa
型号 AP2702 AP2706 AP2710 AP2712 AP2710 配管连接口径：3/8英寸；流体温度：21℃
设定压力范围 0.007~0.2MPa 0.014~0.4MPa 0.014~0.7MPa 0.021~0.8MPa 0.7
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体
进口侧压力范围 真空~24.1MPa 0.6
中间段压力范围 1.4MPa
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍
耐压试验压力 0.5
出口侧 最大设定压力的1.5倍
进口侧 最大进口侧压力的3倍 （MPa） 0.4
破坏压力
出口侧 最大设定压力的3倍
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ 注1） 设定压力 0.3
（但未冻结）
3
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s
外部泄漏
3
向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注2） 0.2
−9
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注3）
3
内面粗糙度 Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm、0.18µm、0.13µm） 0.1
配管连接方式 面密封接头、焊接管
阀盖通口 NPT1/8 注4） 0
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时， 设定压力上升0.00007MPa 0 50 100 150 200 250 300 350
安装方式 可选项: 面板安装 流量（L/min（nor）,N2）
内部容积 30.6cm 3 注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
重量 2.27kg 注5）
注1）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。 注4）选择面板安装可选项的场合，为通孔。
注2）用钟罩法（氦气进口侧压力10.5MPa）测定。 注5）重量是大致值，随配管连接方式和可选项而不同。 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。
注3）用钟罩法（氦气进口侧压力7MPa）测定。 Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
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