Page 50 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 一段式减压阀 大宗气体适用 高纯度适用 一段式减压阀／大宗气体适用 AP9000 & AP9100 系列

AP9000 & AP9100 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 接触气体部材质 流量特性图
● 进口侧压力 AP9000：最大11.7MPa
AP9100：最大5.5MPa 材质记号 S 进口侧压力： 10MPa 1.5MPa
0.7MPa
● 流量范围 AP9000：＜2000L/min（nor） 阀体 SUS316L AP9010 配管连接口径：1英寸；流体温度：21℃
AP9100：＜5000L/min（nor） 表面处理 电解抛光＋钝化处理 0.7
阀体材质 SUS316L 阀芯 赫氏合金 ® C-22
● 波纹管 赫氏合金 ® C-22
● 膜片阀芯一体结构 孔口 SUS316L 0.6
型号表示方法 RoHS 阀座 PCTFE（可选项: Vespel ® （聚酰亚胺树脂）） 0.5
阀芯弹簧 Elgiloy ® （钴－铬－镍合金）
通口序号 阀盖密封 镍200 （镀银） （MPa）
注）
q w e 注） AP9030的场合为 SUS316 （镀银）。 0.4
AP9 0 10 S 2PW FV16 FV16 设定压力 0.3

外形尺寸图 0.2
大小 阀座材质
记号 Cv值 记号 材质 AP9000/9100 0.1
0 3 无记号 PCTFE（标准） 89
1 4 VS Vespel ® 0
0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000
设定压力 压力表表示 注） ø19 流量（L/min（nor）,N2）
大小 记号 表示
记号 设定压力范围 进口侧压力： 10MPa 3MPa
0 1 通口数 无记号 不适用 AP9030
10 0.034~0.7MPa ● ● 记号 通口数 MPA MPa 配管连接口径：1英寸；流体温度：21℃
15 0.034~1.0MPa ● 2PW 2通口 注）选择带压力表的场合， 2.5
30 2.1MPa（预调） ● 3PW 3通口 请记入“MPA”记号。
材质 2
注）
压力表通口 （出口侧e）
记号 材质 配管连接方式（进口侧q、出口侧w）
S SUS316L 记号 压力表
记号 配管连接方式 无记号 无表通口 最大284.5 （MPa） 1.5
内面粗糙度 FV8 1/2面密封接头（内螺纹） 0 无压力表 ø101.6
记号 表面粗糙度 Ra max MV8 1/2面密封接头（外螺纹） （接头：1/4面密封 外螺纹） 设定压力 1
无记号 0.4µm TW8 1/2焊接管 V3 −0.1~0.2MPa
M 0.25µm FV12 3/4面密封接头（内螺纹） L −0.1~0.4MPa
通口位置 MV12 3/4面密封接头（外螺纹） 1 −0.1~0.7MPa 0.5
TW12 3/4焊接管 H −0.1~1.1MPa 146.3
e FV16 1面密封接头（内螺纹） 4 0~3MPa LP HP
MV16 1面密封接头（外螺纹）
w q w q TW16 1焊接管 注）压力表详见压力表指南（P.115）。 0 0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000
压力表请选择比减压阀的设定压力范围
大的范围。 28.7 流量（L/min（nor）,N2）
型号记入例
2PW 3PW Port q w e ø88.9 进口侧压力： 5MPa 1.5MPa
AP9010S 2PW FV16 FV16 0.7MPa
3PW FV16 FV16 H MPA
qIN wOUT eOUT侧表通口 A A AP9110 配管连接口径：1英寸；流体温度：21℃
规格 0.8
38.1
型式 AP9010 AP9030 AP9110 AP9115 0.7
0.034~1.0MPa 2×1/4-20 UNC 深8.9
设定压力范围 0.034~0.7MPa 2.1MPa（预调） 注1） 0.034~0.7MPa 0.6
（进口侧压力1.7MPa以下时） 注5） （安装孔）
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 （MPa） 0.5
进口侧压力范围 真空~11.7MPa 真空~5.5MPa
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍 0.4
耐压试验压力
出口侧 最大设定压力的1.5倍 设定压力
进口侧 最大进口侧压力的3倍 0.3
破坏压力 （mm）
出口侧 最大设定压力的3倍 A 0.2
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ 注2） 配管连接方式
（但未冻结）
FV8
3
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s 79.0 0.1
外部泄漏 MV8
3
向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注3） TW8
−9
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注3） FV12 120.7 0 0 1000 2000 3000 4000 5000
3
内面粗糙度 Ra max 0.4µm或0.25µm MV12 92.5
配管连接方式 面密封接头、焊接管 TW12 120.7 流量（L/min（nor）,N2）
阀盖通口 NPT1/8 FV16 注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时,设定压力上升0.026MPa 进口侧压力下降0.7MPa时,设定压力上升0.038MPa MV16 99.6
内部容积 197cm 3 TW16 120.7
重量 5.9kg 注4）
注1）进口侧压力5.5MPa时的值。进口/出口侧压力条件也可能变更。 详情请与本公司确认。
注2）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。
注3）用钟罩法（氦气进口侧压力2.1MPa）测定。
注4）重量是大致值，随配管连接方式和可选项而不同。 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。
注5）进口侧压力超过1.7MPa时，由于受压力特性的影响，最大设定压力会变得比1MPa低。最大设定压力随进口侧压力成比例变化，但在进口侧压力5.5MPa时， Elgiloy ® （钴－铬－镍合金）是Elgiloy Specialty Metals公司的注册商标。
最大设定压力约为0.82MPa。 Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
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