Page 55 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 一段式减压阀 小流量 高纯度适用 一段式减压阀/小流量 SL5500 系列

SL5500 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 接触气体部材质
● 进口侧对应高压 最大24.1MPa 推荐品种
● 流量范围 ＜30L /min （nor）
材质记号 S SH
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼
阀体 SUS316L二次熔炼
● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金规格 表面处理 电解抛光＋钝化处理
● 有负压调整规格 阀芯 SUS316L 赫氏合金 ® C-22
● 接触气体部上不存在阀芯弹簧的无弹簧结构 膜片 SUS316L 赫氏合金 ® C-22 减压阀减压阀
SUS316L
型号表示方法 RoHS 孔口 PCTFE（可选项: Vespel ® （聚酰亚胺树脂）） 赫氏合金 ® C-22
PCTFE
阀座
通口序号
q w e r 外形尺寸图
SL55 02 S M 2PW FV4 FV4 SL5500 ø53.8 AP

设定压力 SL
SL
记号 设定压力范围 阀盖可选项
0.007~0.2MPa 配管连接方式（进口侧q、出口侧w）
02 记号 阀盖 AZ
负压调整规格（A）： −88kPa~0.2MPa 记号 配管连接方式 无记号 标准
06 0.007~0.4MPa FV4 1/4面密封接头（内螺纹） P 面板安装 注） AK
10 0.014~0.7MPa MV4 1/4面密封接头（外螺纹） 注）面板安装孔尺寸为
材质 TW4 1/4焊接管 ø39.6。 BP
记号 阀体 阀芯 膜片 FV6 3/8面密封接头（内螺纹） ø38.1
S SUS316L SUS316L MV6 3/8面密封接头（外螺纹）
SUS316L TW6 3/8焊接管 阀座材质 最大142
SH 二次熔炼 赫氏合金 ® 赫氏合金 ® 记号 材质
C-22 C-22 ø57.2
无记号 PCTFE（标准） 隔膜阀
注）
内面粗糙度 压力表通口 （进口侧e、出口侧r） VS Vespel ®注）
记号 表面粗糙度 Ra max 负压调整 注） 记号 压力表 注）材质记号SH不能选择。
M 0.25µm（标准） 记号 规格 无记号 无表通口 出口 进口
V 0.18µm 无记号 标准 0 无压力表
X 0.13µm A 负压调整规格 （接头：1/4面密封 外螺纹） 压力表表示 注）
V3 −0.1~0.2MPa 17.5
注）SL5502以外不对应。 记号 表示
L −0.1~0.4MPa 无记号 不适用
通口数 1 −0.1~0.7MPa MPA MPa ø50.8
记号 通口数 H −0.1~1.1MPa A 单向阀
2PW 2通口 2 0~1.4MPa 注）选择带压力表的场合，
请记入“MPA”记号。
3PW 3通口 40 0~28MPa （mm） 22.4
4PW 4通口 注）详见压力表指南（P.115）。 配管连接方式 A 2×M5×0.8 深6.4
通口位置 压力表请选择比减压阀的设定压力范围 FV4 （10-32UNF也可使用）
大的范围。 MV4 94.0
r r e 型号记入例 TW4 75.2
Port er FV6
w q w q w q SL55 ＊＊＊＊ 2PW ＊＊ MV6 119.4
3PW ＊＊ 0 TW6 75.2 真空发生器
3PW ＊＊ 1 MPA
2PW 3PW 4PW 4PW ＊＊ 0 0
4PW ＊＊ 40 1 MPA 流量特性图
qIN wOUT eIN侧表通口 rOUT侧表通口
规格 进口侧压力： 1.0MPa 0.7MPa 进口侧压力： 10MPa 3MPa
0.5MPa
1.5MPa
SL5510 配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃ SL5510 配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃
型号 SL5502mmA SL5502 SL5506 SL5510
设定压力范围 −88kPa~0.2MPa 0.007~0.2MPa 0.007~0.4MPa 0.014~0.7MPa 0.7 0.8
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 0.7 流量开关
进口侧压力范围 真空~24.1MPa 0.6
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍
耐压试验压力 0.5 0.6
出口侧 最大设定压力的1.5倍
进口侧 最大进口侧压力的3倍 （MPa） （MPa） 0.5
破坏压力 0.4
出口侧 最大设定压力的3倍
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ 注1） 0.4
（但未冻结）
3
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s 设定压力 0.3 设定压力
外部泄漏 0.3 术语解说 技术资料
向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注2） 0.2
3
−9
3
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注3） 0.2
内面粗糙度 Ra max 0.25µm（可选项: 0.18µm、0.13µm） 0.1
阀盖通口 NPT1/8 注4） 0.1
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.0017MPa 0 0 共同注意事项
安装方式 底面安装（可选项: 面板安装） 0 5 10 15 20 25 30 0 20 40 60 80 100 120
内部容积 9cm 3 流量（L/min（nor）,N2） 流量（L/min（nor）,N2）
重量 1.63kg 注5）
注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
注1）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。 注4）选择面板安装可选项的场合，为通孔。
注2）用钟罩法（氦气进口侧压力10.5MPa）测定。 注5）重量是大致值，随配管连接方式和可选项而不同。
注3）用钟罩法（氦气进口侧压力7MPa）测定。 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
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