Page 60 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 一段式减压阀 小~中流量 高纯度适用 一段式减压阀/小~中流量 AZ1000 系列

AZ1000 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 可选项规格
进口侧对应高压 最大24.1MPa
● 大流量规格
● 流量范围 标准规格：＜30L /min（nor） 大流量规格仅产品内部变更，不改变外形尺寸。与标准规格相比，变更如下。
HF规格（可选项）：＜120L /min（nor） 可选项记号 型号 AZ1001 AZ1002 AZ1006 AZ1010 AZ1015
阀体材质 SUS316L
● HF 压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.0052MPa
● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金规格
接触气体部材质 流量特性图
型号表示方法 RoHS
进口侧压力： 10MPa 3MPa
通口序号 材质记号 S SHP 1.5MPa
q w e r 阀体 SUS316L AZ1010 配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃
AZ10 01 S 2PW FV4 FV4 阀芯 SUS316L 赫氏合金 ® C-22 0.7
表面处理
电解抛光＋钝化处理
膜片 SUS316L 赫氏合金 ® C-22 0.6
设定压力 孔口 SUS316L
记号 设定压力范围 阀盖可选项 阀座 PCTFE（可选项: Vespel ® （聚酰亚胺树脂），PTFE） PCTFE（可选项: PTFE） 0.5
01 0.007~0.07MPa 配管连接方式（进口侧q、出口侧w）
02 0.007~0.2MPa 记号 配管连接方式 记号 阀盖 外形尺寸图 （MPa） 0.4
06 0.014~0.4MPa FV4 1/4面密封接头（内螺纹） 无记号 标准 注）
P
10 0.014~0.7MPa MV4 1/4面密封接头（外螺纹） 面板安装 AZ1000 设定压力 0.3
阀盖通口
15 0.034~1.0MPa FV6 3/8面密封接头（内螺纹） BP （NPT1/8） ø53.8
材质 MV6 3/8面密封接头（外螺纹） 注）面板安装孔尺寸为ø39.6。 0.2
记号 阀体 阀芯 膜片 孔口 TW6 3/8焊接管 0.1
S SUS316L SUS316L
SUS316L 赫氏合金 ® 赫氏合金 ® SUS316L 可选项
注）
SHP 压力表通口 （进口侧e、出口侧r） 0
C-22 C-22 记号 规格 0 100 200 300 400 500 600 700 800
记号 压力表 无记号 标准 流量（L/min（nor）,N2）
内面粗糙度 无记号 无表通口 HF 大流量规格
记号 表面粗糙度 Ra 0 无压力表 ø38.1 （可选项记号P时） 进口侧压力： 1.0MPa 0.7MPa
无记号 0.25µm（标准） （接头：1/4面密封 外螺纹） 阀座材质 0.5MPa
Q 0.62µm V3 −0.1~0.2MPa 记号 材质 最大127 AZ1010 配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃
L −0.1~0.4MPa 无记号 PCTFE（标准）
通口数 1 −0.1~0.7MPa VS Vespel ®注1） ø57.2 0.7
记号 通口数 H −0.1~1.1MPa TF PTFE 注2）注3） 最大142 0.6
2PW 2通口 2 0~1.4MPa
3PW 3通口 4 0~3MPa 注1）材质记号SHP不能选择。 0.5
注2）PTFE阀座推荐用于工艺装
4PW 4通口 40 0~28MPa 置等气体的末端消耗处。 17.5
通口位置 注）压力表详见压力表指南（P.115）。 注3）进口侧压力范围为2.1MPa （MPa） 0.4
压力表请选择比减压阀的设定压力范围 以下。
r 大的范围。 ø50.8 0.3
r e 设定压力
w q w q w q 型号记入例 注） A 0.2
Port q w e r 压力表表示
AZ1001S 2PW FV4 FV4 记号 表示 22.4 0.1
V3 MPA
2×M5×0.8 深6.4
2PW 3PW 4PW 3PW FV4 FV4 1 V3 MPA 无记号 不适用 （10-32UNF也可使用）
4PW FV4 FV4
MPA
4PW FV4 FV4 0 0 MPa 0
qIN wOUT eIN侧表通口 rOUT侧表通口 注）选择带压力表的场合， 0 50 100 150 200
请记入“MPA”记号。 流量（L/min（nor）,N2）
规格
进口侧压力： 1.0MPa 0.7MPa
型号 AZ1001 AZ1002 AZ1006 AZ1010 AZ1015 0.5MPa
设定压力范围 0.007~0.07MPa 0.007~0.2MPa 0.014~0.4MPa 0.014~0.7MPa 0.034~1.0MPa AZ1010*HF 配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 0.7
进口侧压力范围 真空~2.1MPa 真空~24.1MPa 注1）
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍 （mm）
耐压试验压力 0.6
出口侧 最大设定压力的1.5倍 配管连接方式 A
进口侧 最大进口侧压力的3倍 FV4 0.5
破坏压力 94.0
出口侧 最大设定压力的3倍 MV4
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ 注2） FV6 （MPa） 0.4
（但未冻结）
3
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s MV6 119.4
外部泄漏
向外泄漏 2×10 −10 Pa · m 3 /s 注3） TW6 75.2 设定压力 0.3
−9
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注4）
3
内面粗糙度 Ra 0.25µm（可选项: 0.62µm） 0.2
配管连接方式 面密封接头、焊接管
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.0026MPa 0.1
安装方式 底面安装（可选项: 面板安装）
内部容积 8cm 3 0
重量 1.25kg 注5） 0 50 100 150 200
流量（L/min（nor）,N2）
注1）阀座材质为PTFE的场合，进口侧压力最大为2.1MPa。 注4）用钟罩法（氦气进口侧压力7MPa）测定。
注2）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。 注5）重量是大致值，随配管连接方式和可选项而不同。 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。 注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
注3）用钟罩法（氦气进口侧压力10.5MPa）测定。 Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
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