Page 65 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 一段式减压阀 中流量 高纯度适用 一段式减压阀/中流量 膜片阀芯一体结构 AZ1400T 系列
膜片阀芯一体结构
AZ1400T 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 可选项规格
进口侧对应高压 标准规格：最大15.9MPa；HR规格（可选项）: 最大20.7MPa
● 进口侧高压规格 推荐品种
● 流量范围 ＜400L /min（nor） 与标准规格相比，变更点如下。
阀体材质 SUS316L
● 可选项记号 型号 AZ1410T AZ1415T
● 内部材质赫氏合金标准规格 HR 进口侧压力范围 真空~20.7MPa
● 有负压调整规格（可选项），可供给下游侧负压气体
● 膜片阀芯一体结构 减压阀减压阀
型号表示方法 RoHS
接触气体部材质 流量特性图
通口序号
q w e r S AZ1410T 进口侧压力： 1.0MPa 0.7MPa 0.5MPa
AZ14 02 T S 2PW FV4 FV4 材质记号 SUS316L 配管连接口径：1/2英寸；流体温度：21℃ AP
阀体
表面处理 电解抛光＋钝化处理 0.7
设定压力 阀芯 赫氏合金 ® C-22 0.6 SL
记号 设定压力范围 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） 膜片 赫氏合金 ® C-22
AZ
0.007~0.2MPa 记号 配管连接方式 孔口 SUS316L AZ
02 阀盖可选项 阀座 0.5
负压调整规格（A）： −88kPa~0.2MPa FV4 1/4面密封接头（内螺纹） PCTFE（可选项: Vespel ® （聚酰亚胺树脂））
06 0.014~0.4MPa MV4 1/4面密封接头（外螺纹） 记号 阀盖 （MPa） 0.4 AK
10 0.014~0.7MPa FV6 3/8面密封接头（内螺纹） 无记号 标准
15 0.034~1.0MPa MV6 3/8面密封接头（外螺纹） P 面板安装 注） 外形尺寸图 设定压力 0.3 BP
TW6 3/8焊接管 BP 阀盖通口
材质 FV8 （NPT1/8） AZ1400T ø53.8
记号 阀体 阀芯 膜片 MV8 1/2面密封接头（内螺纹） 注）面板安装孔尺寸为ø39.6。 0.2
S SUS316L 赫氏合金 ® C-22 赫氏合金 ® C-22 1/2面密封接头（外螺纹）
TW8 1/2焊接管 0.1
内面粗糙度 可选项 隔膜阀
记号 表面粗糙度 Ra 负压调整 注） 压力表通口 （进口侧e、出口侧r） 记号 规格 0
注）
无记号 0.25µm（标准） 记号 规格 记号 压力表 无记号 标准 0 100 200 300 400 500 600 700 800
Q 0.62µm 无记号 标准 无记号 无表通口 进口侧对应高压 流量（L/min（nor）,N2）
A 负压调整规格 无压力表 HR （最大进口侧压力20.7MPa） 注）
0 ø38.1 进口侧压力： 10MPa 3MPa 1.5MPa
注）AZ1402T以外不对应。 （接头：1/4面密封 外螺纹） 注）AZ1402T和AZ1406T不对应。 AZ1410T 配管连接口径：1/2英寸；流体温度：21℃
V3 −0.1~0.2MPa
通口数 L −0.1~0.4MPa 0.7
记号 通口数 1 −0.1~0.7MPa 阀座材质 最大142 最大152 （AZ1402TA或可选项记号P或HR时）
2PW 2通口 H −0.1~1.1MPa 记号 材质 0.6 单向阀
3PW 3通口 2 0~1.4MPa 无记号 PCTFE（标准） ø66.5
4PW 4通口 4 0~3MPa VS Vespel ® 0.5
通口位置 40 0~28MPa 注） （MPa） 0.4
注）压力表详见压力表指南（P.115）。 压力表表示
r r e 压力表请选择比减压阀的设定压力范围 记号 表示 0.3
大的范围。 无记号 不适用 设定压力
w q w q w q MPA MPa 17.5
型号记入例 0.2 真空发生器
Port q w e r 注）选择带压力表的场合，
AZ1402TS 2PW FV4 FV4 请记入“MPA”记号。 ø63.5 0.1
2PW 3PW 4PW 3PW FV4 FV4 0
3PW FV4 FV4 1 MPA A
qIN wOUT eIN侧表通 rOUT侧表通 4PW FV4 FV4 40 1 MPA 0 0 200 400 600 800 1000 1200 1400
4PW FV4 FV4 0 0 22.4
2×M5×0.8 深6.4 流量（L/min（nor）,N2）
规格 （10-32UNF也可使用）
进口侧压力： 0.01MPa
型号 AZ1402T□□A AZ1402T AZ1406T AZ1410T AZ1415T AZ1402T*A 配管连接口径：1/2英寸；流体温度：21℃
0.034~1.0MPa
设定压力范围 −88kPa~0.2MPa 0.007~0.2MPa 0.014~0.4MPa 0.014~0.7MPa 注1） 0 流量开关
（进口侧压力6.9MPa以下的场合）
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 −10
进口侧压力范围 真空~2.1MPa 真空~15.9MPa
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍 −20
耐压试验压力
出口侧 最大设定压力的1.5倍
进口侧 最大进口侧压力的3倍 −30
破坏压力
出口侧 最大设定压力的3倍 （kPa） −40
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ 注2 ） （但未冻结） （mm）
3
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s 配管连接方式 A −50
外部泄漏 术语解说 技术资料
向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注3 ） FV4 设定压力 −60
3
−9
3
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注4 ） MV4 109.2
内面粗糙度 Ra 0.25µm（可选项: 0.62µm） FV6 −70
配管连接方式 面密封接头、焊接管 MV6 132.6
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.011MPa −80
安装方式 底面安装（可选项: 面板安装） TW6 101.6 −90 共同注意事项
内部容积 17.4cm 3 FV8 132.6
重量 2.04kg 注5 ） MV8 −100 0 2 4 6 8 10 12 14 16
注1）进口侧压力可使用至最大15.9MPa。但超过6.9MPa，由于受压力特性的影响，最大设定压力会变得比1MPa低。最大设定压力与进口侧压力成比例变化， TW8 110.2
但进口侧压力15.9MPa时，最大设定压力约为0.89MPa。 流量（L/min（nor）,N2）
注2）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。 注4）用钟罩法（氦气进口侧压力7MPa）测定。 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。 注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
注3）用钟罩法（氦气进口侧压力10.5MPa）测定。 注5）重量是大致值，随配管连接方式和可选项而不同。 Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
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