Page 69 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 一段式减压阀 大流量 高纯度适用 一段式减压阀/大流量 膜片阀芯一体结构 AZ1200 系列
膜片阀芯一体结构
AZ1200 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 可选项规格 流量特性图
对应进口侧高压 标准规格：最大11.7MPa；HR规格（可选项）：最大20.7MPa
● 进口侧压力： 10MPa 3MPa 1.5MPa 推荐品种
● 流量范围 标准规格：＜800L /min（nor） 1.大流量规格 AZ1210 配管连接口径：1/2英寸；流体温度：21℃
HF规格（可选项）：＜1000L /min（nor） 大流量规格仅产品内部变更，不改变外形尺寸。与标准规格相比， 0.7
变更如下。
0.7
FC规格（可选项）：＜1500L /min（nor） 可选项
阀体材质 SUS316L 型号 AZ1202 AZ1206 AZ1210 AZ1215 AZ1225 0.6
● 记号
● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金规格 HF 压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.029MPa （MPa） 0.5
型号表示方法 RoHS 2.流量特性修正规格 0.4 减压阀减压阀
在大流量规格上，追加调压修正机构，因流量特性改善，可实用的流 设定压力 0.3
通口序号 量范围比大流量规格更广。与标准规格相比，变更点如下。 0.2
q w e r 可选项 型号 AZ1210 AZ1215 0.1
AZ12 02 S 2PW FV8 FV8 记号 进口侧压力范围 真空~2.1MPa 0 0 200 400 600 800 1000 1200 1400
FC 压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.029MPa 流量（L/min（nor）,N2） AP
设定压力 配管连接方式 1/2面密封接头、1/2焊接管 SL
记号 设定压力范围 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） 阀盖可选项 3.进口侧高压规格 AZ1210 进口侧压力： 1.0MPa 0.7MPa 0.5MPa
02 0.007~0.2MPa 记号 配管连接方式 记号 阀盖 与标准规格相比，变更点如下。 配管连接口径：1/2英寸；流体温度：21℃ AZ
AZ
06 0.014~0.4MPa FV4 1/4面密封接头（内螺纹） 无记号 标准 0.7
10 0.014~0.7MPa MV4 1/4面密封接头（外螺纹） P 面板安装 注） 可选项 型号 AZ1210 AZ1215 0.6
记号
15 0.034~1.0MPa FV6 3/8面密封接头（内螺纹） 阀盖通口 HR 进口侧压力范围 真空~20.7MPa 0.5 AK
25 1.7MPa（预调） MV6 3/8面密封接头（外螺纹） BP （NPT1/8） （MPa） 0.4
材质 TW6 3/8焊接管 注）面板安装孔尺寸为ø39.6。 外形尺寸图 BP
记号 阀体 阀芯 膜片 FV8 1/2面密封接头（内螺纹） 设定压力 0.3
S SUS316L 赫氏合金 ® MV8 1/2面密封接头（外螺纹） 可选项 AZ1200 ø53.8 0.2
SHP SUS316L 赫氏合金 ® C-22 C-22 TW8 1/2焊接管 记号 规格 0.1
无记号 标准 0 隔膜阀
内面粗糙度 压力表通口 （进口侧e、出口侧r） HF 大流量规格 0 100 200 300 400 500 600 700
注）
记号 表面粗糙度 Ra 通口数 记号 压力表 FC 流量特性修正规格 注1）注2） 流量（L/min（nor）,N2）
无记号 0.25µm（标准） 记号 通口数 无记号 无表通口 进口侧对应高压
Q 0.62µm 2PW 2通口 无压力表 HR （最大进口侧压力20.7MPa） 注1） AZ1210*HF 进口侧压力： 10MPa 3MPa 1.5MPa
3PW 3通口 0 （接头：1/4面密封 外螺纹） 注1）FC可选项及HR可选项不对应 配管连接口径：1/2英寸；流体温度：21℃
4PW 4通口 V3 0.7
通口位置 −0.1~0.2MPa AZ1202、AZ1206、AZ1225。 ø38.1
L −0.1~0.4MPa 注2）FC可选项的场合，配管连接方 0.6
r 1 −0.1~0.7MPa 式为1/2面密封或1/2焊接管。 （可选项记号P或HR时） （可选项记号FC时） （MPa） 0.5
H −0.1~1.1MPa 最大142 0.4 单向阀
w q w q 2 0~1.4MPa 阀座材质 0.3
4 0~3MPa 记号 材质 ø66.5 设定压力
40 0~28MPa 无记号 PCTFE（标准） 0.2
2PW 3PW 注）压力表详见压力表指南（P.115）。 VS Vespel ®注） 最大152 最大165 0.1
压力表请选择比减压阀的设定压力范围 注）材质记号SHP不能选择。 0
r e 大的范围。 0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800
压力表表示 注） 流量（L/min（nor）,N2）
w q 型号记入例
Port q w e r 记号 表示 17.5 进口侧压力： 1.0MPa 0.7MPa 0.5MPa
AZ1210S 2PW FV8 FV8 无记号 不适用 AZ1210*HF 配管连接口径：1/2英寸；流体温度：21℃ 真空发生器
4PW 3PW FV8 FV8 0 MPA MPa ø63.5 0.7
3PW FV8 FV8 1 MPA 注）选择带压力表的场合，
4PW FV8 FV8 40 1 MPA 请记入“MPA”记号。 A 0.6
qIN wOUT eIN侧表通口 rOUT侧表通口 4PW FV8 FV8 0 0 0.5
规格 配管 （mm） 22.4 2×M5×0.8 深6.4 （MPa） 0.4
连接方式 A （10-32UNF也可使用）
型号 AZ1202 AZ1206 AZ1210 AZ1215 AZ1225 设定压力 0.3
0.034~1.0MPa 1.7MPa FV4 0.2
设定压力范围 0.007~0.2MPa 0.014~0.4MPa 0.014~0.7MPa （进口侧压力6.9MPa以下的场合） 注1） （预调） 注2） MV4 109.2
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 FV6 0.1
进口侧压力范围 真空~11.7MPa MV6 132.6 0 0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 流量开关
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍 TW6
耐压试验压力 101.6 流量（L/min（nor）,N2）
出口侧 最大设定压力的1.5倍 FV8
破坏压力 进口侧 最大进口侧压力的3倍 MV8 132.6 进口侧压力： 1.0MPa 0.7MPa 0.5MPa
出口侧 最大设定压力的3倍 AZ1210*FC
（但未冻结）
环境温度及使用流体温度外 −40~71℃ 注3） TW8 110.2 配管连接口径：1/2英寸；流体温度：21℃
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s 0.7
3
外部泄漏
3
向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注4） 接触气体部材质 0.6
−9
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注5） 术语解说 技术资料
3
内面粗糙度 Ra 0.25µm（可选项: 0.62µm） S SH （MPa） 0.5
配管连接方式 面密封接头、焊接管 材质记号 0.4
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时设定压力上升0.024MPa 阀体 SUS316L 0.3
安装方式 底面安装（可选项: 面板安装） 表面处理 电解抛光＋钝化处理 设定压力
内部容积 17.6cm 3 阀芯 SUS316L 赫氏合金 ® C-22 0.2 共同注意事项
重量 2.0kg 注6） 膜片 赫氏合金 ® C-22 0.1
注1）进口侧压力可用至最大11.7MPa。但超过6.9MPa，由于受压力特性的影响，最大设定压力会变得比1MPa低。最大设定压力与进口侧压力成比例变化，但进口 孔口 SUS316L 0
侧压力11.7MPa时，最大设定压力约为0.86MPa（HF、FC可选项为0.83MPa）。 阀座 PCTFE（可选项: Vespel ® （聚酰亚胺树脂）） PCTFE 0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800
注2）进口侧压力5.5MPa时的值。进口/出口侧压力条件也可变更。详情请与本公司确认。 流量（L/min（nor）,N2）
注3）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。 注5）用钟罩法（氦气进口侧压力7MPa）测定。 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。 注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
注4）用钟罩法（氦气进口侧压力10.5MPa）测定。 注6）重量是大致值，随配管连接方式和可选项而不同。 Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
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