Page 70 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 一段式减压阀 大流量 高纯度适用 一段式减压阀/大流量型 膜片阀芯一体结构 AZ9200 系列
膜片阀芯一体结构
AZ9200 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 接触气体部材质
进口侧压力 最大2.1MPa
●
● 流量范围 ＜2000L /min（nor） 材质记号 S
阀体材质 SUS316L
● 阀体 SUS316L
表面处理 电解抛光＋钝化处理
孔口 SUS316L
阀芯 SUS316L
型号表示方法 RoHS 膜片 赫氏合金 ® C-22
PFA
阀座
通口序号
q w e 外形尺寸图
AZ92 02 S 2PW FV12 FV12
AZ9200
设定压力
记号 设定压力范围 阀盖可选项
02 0.007~0.2MPa 记号 阀盖
06 0.014~0.4MPa 无记号 —
10 0.014~0.7MPa P 面板安装 注）
15 0.034~1.0MPa BP 阀盖通口 ø38.1 （可选项记号BP, P时）
注）面板安装孔尺寸为ø39.6。 最大163
材质 ø66.5
记号 阀体 阀芯 膜片
S SUS316L SUS316L 赫氏合金 ® C-22
压力表表示 注） 最大175
通口数 记号 表示
记号 通口数 无记号 不适用 28.6
2PW 2通口 MPA MPa
3PW 3通口 注）选择带压力表的场合， ø76.2
请记入“MPA”记号。
配管连接方式（进口侧q、出口侧w） A A
记号 配管连接方式
FV12 3/4 面密封接头（内螺纹） 注）
MV12 3/4 面密封接头（外螺纹） 压力表通口 （出口侧e） 38.1
TW12 3/4 焊接管 记号 压力表 （mm） 2×1/4-20 UNC 深8.9
FV16 1 面密封接头（内螺纹） 无记号 表通口 A （安装孔）
MV16 1 面密封接头（外螺纹） 0 无压力表 配管连接方式
FV12
TW16 1 焊接管 （接头：1/4面密封接头、外螺纹） 86.1
V3 −0.1~0~0.2MPa MV12
通口位置 L −0.1~0~0.4MPa TW12 76.2
e 1 −0.1~0~0.7MPa FV16 93.2
H −0.1~0~1.1MPa MV16
w q w q 注）压力表详见压力表指南（P.115）。 TW16 76.2

2PW 3PW 流量特性图
qIN wOUT eOUT表通口
进口侧压力： 1.0MPa 0.7MPa
0.5MPa
规格 AZ9210 配管连接口径：3/4英寸；流体温度：21℃
0.7
型号 AZ9202 AZ9206 AZ9210 AZ9215
设定压力范围 0.007~0.2MPa 0.014~0.4MPa 0.014~0.7MPa 0.034~1.0MPa 0.6
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体
进口侧压力范围 真空~2.1MPa 0.5
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍
耐压试验压力 （MPa） 0.4
出口侧 最大设定压力的1.5倍
进口侧 最大进口侧压力的3倍
破坏压力 0.3
出口侧 最大设定压力的3倍 设定压力
环境温度及使用流体温度 −40~71℃（但未冻结）
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m 3 /s 0.2
外部泄漏
3
向外泄漏 1×10 −10 Pa · m /s 注1）
−9
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注2） 0.1
3
内面粗糙度 Ra 0.25µm 0
配管连接方式 面密封接头、焊接管 0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.048MPa 流量（L/min（nor）,N2）
安装方法 底面安装（可选项: 面板安装）
内部容积 36cm 3 注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
注1）用钟罩法（氦气进口侧压力10.5MPa）测定。 注2）用钟罩法（氦气进口侧压力7MPa）测定。
赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。
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