Page 67 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 一段式减压阀 大流量 高纯度适用 一段式减压阀/大流量 AZ1300 系列

AZ1300 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 接触气体部材质
● 流量范围 ＜1000L /min（nor） 推荐品种
阀体材质 SUS316L
● 材质记号 S
进口侧压力 最大2.1MPa
● 阀体 SUS316L
表面处理 电解抛光＋钝化处理
孔口 SUS316L
阀芯 SUS316L 减压阀减压阀
赫氏合金 ® C-22
型号表示方法 RoHS 膜片 PCTFE（可选项: PTFE）
阀座
通口序号
q w e 外形尺寸图
AZ13 02 S 2PW FV8 FV8 AZ1300 ø53.8 AP

设定压力 SL
记号 设定压力范围 阀盖可选项
AZ
02 0.007~0.2MPa 记号 阀盖 AZ
06 0.014~0.4MPa 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） 无记号 标准
10 0.014~0.7MPa 记号 配管连接方式 P 面板安装 注） AK
15 0.034~1.0MPa FV4 1/4面密封接头（内螺纹） 阀座通口
材质 MV4 1/4面密封接头（外螺纹） BP （NPT1/8） （可选项记号P时） BP
FV6
记号 阀体 阀芯 膜片 MV6 3/8面密封接头（内螺纹） 注）面板安装孔尺寸为ø39.6。 ø38.1 最大142
3/8面密封接头（外螺纹）
S SUS316L SUS316L 赫氏合金 ® TW6 3/8焊接管
C-22
FV8 1/2面密封接头（内螺纹） 阀座材质 ø66.5 隔膜阀
记号
材质
内面粗糙度 MV8 1/2面密封接头（外螺纹） 无记号 PCTFE（标准） 最大152
记号 表面粗糙度 Ra 通口数 TW8 1/2焊接管 TF PTFE 注）
无记号 0.25µm（标准） 记号 通口数
Q 0.62µm 2PW 2通口 注） 注）PTFE阀座推荐用于工艺装
置等气体的末端消耗处。
3PW 3通口 压力表通口 （出口侧e） 17.5
记号 压力表
通口位置 无记号 无表通口 压力表表示 注） （mm） ø63.5
0 无压力表 记号 表示 配管连接方式 A A
e （接头：1/4面密封 外螺纹） 无记号 不适用 单向阀
V3 −0.1~0.2MPa MPA MPa FV4 109.2 22.4
w q w q L −0.1~0.4MPa 注）选择带压力表的场合， MV4 2×M5×0.8 深6.4
1 −0.1~0.7MPa 请记入“MPA”记号。 FV6 132.6 （10-32UNF也可使用）
H −0.1~1.1MPa MV6
2PW 3PW 2 0~1.4MPa TW6 101.6
注）压力表详见压力表指南（P.115）。 FV8 132.6
qIN wOUT eOUT侧表通口 压力表请选择比减压阀的设定压力范围 MV8
大的范围。 TW8 110.2
真空发生器
型号记入例
Port q w e
AZ1302S 2PW FV8 FV8 流量特性图
3PW FV8 FV8 0
3PW FV8 FV8 V3 MPA
进口侧压力： 1.0MPa 0.7MPa 进口侧压力： 0.7MPa 0.5MPa
0.5MPa
0.3MPa
规格 AZ1310 配管连接口径：1/2英寸；流体温度：21℃ AZ1302 配管连接口径：1/2英寸；流体温度：21℃
型号 AZ1302 AZ1306 AZ1310 AZ1315 0.7 0.2
设定压力范围 0.007~0.2MPa 0.014~0.4MPa 0.014~0.7MPa 0.034~1.0MPa 流量开关
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 0.6
进口侧压力范围 真空~2.1MPa 0.15
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍 0.5
耐压试验压力
出口侧 最大设定压力的1.5倍
进口侧 最大进口侧压力的3倍 （MPa） 0.4 （MPa）
破坏压力
出口侧 最大设定压力的3倍 0.1
环境温度及使用流体温度 −40~71℃（但未冻结） 设定压力 0.3 设定压力
3
向外泄漏
向外泄漏 2×10 −11 Pa · m /s 术语解说 技术资料
外部泄漏 −10
3
向内泄漏 1×10 Pa · m /s 注1） 0.2 0.05
−9
内部泄漏 4×10 Pa · m /s
3
内面粗糙度 Ra 0.25µm（可选项 : 0.62µm） 0.1
配管连接方式 面密封接头、焊接管 共同注意事项
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时,设定压力上升0.031MPa 0 0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000 0 0 200 400 600 800 1000 1200 1400
安装方式 底面安装（可选项 : 面板安装）
内部容积 19.6cm 3 流量（L/min（nor）,N2） 流量（L/min（nor）,N2）
重量 2.0kg 注2） 注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
注1）用钟罩法（氦气进口侧压力2.1MPa）测定。
注2）重量是大致值，随配管连接方式和可选项而不同。 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。
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