Page 63 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 一段式减压阀 小流量 高纯度适用 一段式减压阀/小流量 膜片阀芯一体结构 AZ1500 系列
膜片阀芯一体结构
AZ1500 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 接触气体部材质
进口侧对应高压 最大24.1MPa
● 推荐品种
阀体材质 SUS316L
● 材质记号 S SHP
● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金规格 阀体 SUS316L
● 膜片阀芯一体结构 表面处理 电解抛光＋钝化处理
阀芯 SUS316L 赫氏合金 ® C-22
膜片 SUS316L 赫氏合金 ® C-22 减压阀减压阀
SUS316L
型号表示方法 RoHS 孔口 PCTFE（可选项: Vespel ® （聚酰亚胺树脂）） PCTFE
阀座
通口序号
q w e r 外形尺寸图
AZ15 02 S 2PW FV4 FV4 AZ1500 ø53.8 AP

设定压力 SL
记号 设定压力范围 阀盖可选项
02 0.007~0.2MPa 记号 阀盖 AZ
AZ
06 0.014~0.4MPa 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） 无记号 标准
10 0.014~0.7MPa 记号 配管连接方式 P 面板安装 注） AK
15 0.034~1.0MPa FV4 1/4面密封接头（内螺纹）
MV4 1/4面密封接头（外螺纹） BP 阀盖通口
材质 FV6 3/8面密封接头（内螺纹） （NPT1/8） ø38.1 （可选项记号P时） BP
记号 阀体 阀芯 膜片 孔口 MV6 3/8面密封接头（外螺纹） 注）面板安装孔尺寸为ø39.6。 最大127
S SUS316L SUS316L TW6 3/8焊接管
SUS316L 赫氏合金 ® 赫氏合金 ® SUS316L ø57.2
SHP 阀座材质
C-22 C-22 最大142 隔膜阀
压力表通口 （进口侧e、出口侧r） 记号 材质
注）
内面粗糙度 记号 压力表 无记号 PCTFE（标准）
VS
Vespel ®注）
记号 表面粗糙度 Ra 无记号 无表通口
无记号 0.25µm（标准） 0 无压力表 注）材质记号SHP不能 17.5
Q 0.62µm （接头：1/4面密封 外螺纹） 选择。
V3 −0.1~0.2MPa 注） ø50.8
通口数 L −0.1~0.4MPa 压力表表示 表示 A
记号
记号 通口数 1 −0.1~0.7MPa 无记号 不适用
2PW 2通口 H −0.1~1.1MPa MPA MPa 22.4 单向阀
2
3PW 3通口 40 0~1.4MPa （mm） 2×M5×0.8 深6.4
4PW 4通口 0~28MPa 注）选择带压力表的场合， 配管连接方式 A （10-32UNF也可使用）
注）压力表详见压力表指南（P.115）。 请记入“MPA”记号。 FV4
通口位置 压力表请选择比减压阀的设定压力范围 MV4 94.0
r 大的范围。 FV6 119.4
r e MV6
w q w q w q 型号记入例 TW6 75.2
Port q w e r
AZ1510S 2PW FV4 FV4 真空发生器
3PW FV4 FV4 0
2PW 3PW 4PW 3PW FV4 FV4 1 MPA
4PW FV4 FV4 40 1 MPA 流量特性图
qIN wOUT eIN侧表通口 rOUT侧表通口 4PW FV4 FV4 0 0
进口侧压力： 10MPa 3MPa 进口侧压力： 1.0MPa 0.7MPa
1.5MPa 0.5MPa
规格 AZ1510 配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃ AZ1510 配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃
0.7 0.7
型号 AZ1502 AZ1506 AZ1510 AZ1515
设定压力范围 0.007~0.2MPa 0.014~0.4MPa 0.014~0.7MPa 0.034~1.0MPa 0.6 0.6 流量开关
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体
进口侧压力范围 真空~24.1MPa 0.5 0.5
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍
耐压试验压力 （MPa） （MPa）
出口侧 最大设定压力的1.5倍 0.4 0.4
进口侧 最大进口侧压力的3倍
破坏压力
出口侧 最大设定压力的3倍 设定压力 0.3 设定压力 0.3
（但未冻结）
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ 注1）
3
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s 0.2 0.2 术语解说 技术资料
外部泄漏
向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注2）
3
−9
3
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注3） 0.1 0.1
内面粗糙度 Ra 0.25µm（可选项: 0.62µm）
配管连接方式 面密封接头、焊接管 0 0 共同注意事项
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时,设定压力上升0.0028MPa 0 100 200 300 400 500 600 700 800 0 20 40 60 80 100
安装方式 底面安装（可选项: 面板安装） 流量（L/min（nor）,N2） 流量（L/min（nor）,N2）
内部容积 8.4cm 3 注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
重量 1.27kg 注4）
注1）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。 注3）用钟罩法（氦气进口侧压力7MPa）测定。
注2）用钟罩法（氦气进口侧压力10.5MPa）测定。 注4）重量是大致值，随配管连接方式和可选项而不同。 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
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