Page 58 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 一段式减压阀 中流量 高纯度适用 一段式减压阀/中流量 SL5800 系列

SL5800 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 接触气体部材质
● 进口侧压力 最大2.1MPa
● 流量范围 ＜200L /min （nor）
材质记号 S
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼 阀体 SUS316L二次熔炼
● 接触气体部上不存在阀芯弹簧的无弹簧结构 表面处理 电解抛光＋钝化处理
阀芯 SUS316L
膜片 SUS316L
SUS316L
型号表示方法 RoHS 孔口 PCTFE（可选项: Vespel ® （聚酰亚胺树脂））
阀座
通口序号 外形尺寸图
q w e r
SL58 02 S M 2PW FV4 FV4 SL5800 ø53.8

设定压力 阀盖可选项
记号 设定压力范围 记号 阀盖
02 0.007~0.2MPa 无记号 标准
06 0.007~0.4MPa 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） P 面板安装 注）
10 0.014~0.7MPa 记号 配管连接方式 注）面板安装孔尺寸为
FV4 1/4面密封接头（内螺纹） ø39.6。
材质 MV4 1/4面密封接头（外螺纹） ø38.1
记号 阀体 阀芯 膜片 TW4 1/4焊接管 阀座材质
S SUS316L SUS316L SUS316L FV6 3/8面密封接头（内螺纹） 记号 材质 最大150
二次熔炼 MV6 3/8面密封接头（外螺纹） 无记号 PCTFE（标准） ø63.5
TW6 3/8焊接管 VS Vespel ®
内面粗糙度 FV8 1/2面密封接头（内螺纹）
记号 表面粗糙度 Ra max MV8 1/2面密封接头（外螺纹） 压力表表示 注）
M 0.25µm（标准） TW8 1/2焊接管 记号 表示 出口 进口
V 0.18µm 无记号 不适用
X 0.13µm MPA MPa 17.5
通口数 注）选择带压力表的场合，
请记入“MPA”记号。
注）
记号 通口数 压力表通口 （进口侧e、出口侧r） ø63.5
2PW 2通口 记号 压力表 （mm） A
3PW 3通口 无记号 无表通口 配管连接方式 A
4PW 4通口 0 无压力表 FV4 109.2 22.4
2×M5×0.8 深6.4
MV4
通口位置 V3 （接头：1/4面密封 外螺纹） TW4 87.9 （10-32UNF也可使用）
−0.1~0.2MPa
FV6
Port
r r e L −0.1~0.4MPa 型号记入例 2PW ＊＊ er MV6 132.6
1
−0.1~0.7MPa
SL58
＊＊＊
w q w q w q H −0.1~1.1MPa 3PW ＊＊ 0 TW6 101.6
2 0~1.4MPa 3PW ＊＊ 1 MPA FV8
4 0~3MPa 4PW ＊＊ 0 0 MV8 132.6
2PW 3PW 4PW 注）上述范围以外也可选择。详见压力表指南（P.115）。 TW8 110.2
压力表请选择比减压阀的设定压力范围大的范围。
qIN wOUT eIN侧表通口 rOUT侧表通口
流量特性图
规格
进口侧压力： 1.0MPa 0.7MPa
型号 SL5802 SL5806 SL5810 0.5MPa 进口侧压力： 2MPa 1.5MPa
设定压力范围 0.007~0.2MPa 0.007~0.4MPa 0.014~0.7MPa SL5810 配管连接口径：1/2英寸；流体温度：21℃ SL5800 配管连接口径：1/2英寸；流体温度：21℃
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 0.7 0.7
进口侧压力范围 真空~2.1MPa
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍
耐压试验压力 0.6 0.6
出口侧 最大设定压力的1.5倍
进口侧 最大进口侧压力的3倍 0.5 0.5
破坏压力
出口侧 最大设定压力的3倍
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ 注1） （MPa） 0.4 （MPa） 0.4
（但未冻结）
3
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s
外部泄漏
向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注2） 设定压力 0.3 设定压力 0.3
3
−9
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注3）
3
内面粗糙度 Ra max 0.25µm（可选项: 0.18µm、0.13µm） 0.2 0.2
配管连接方式 面密封接头、焊接管
阀盖通口 NPT1/8 注4） 0.1 0.1
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.035MPa
安装方式 底面安装（可选项: 面板安装） 0 0
内部容积 19.7cm 3 0 20 40 60 80 100 0 50 100 150 200 250 300
重量 1.91kg 注5） 流量（L/min（nor）,N2） 流量（L/min（nor）,N2）
注1）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。 注4）选择面板安装可选项的场合，为通孔。 注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
注2）用钟罩法（氦气进口侧压力2.1MPa）测定。 注5）重量是大致值，随配管连接方式和可选项而不同。
注3）用钟罩法（氦气进口侧压力0.7MPa）测定。 Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
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