Page 53 - 21-工艺气体元件（特气阀）
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高纯度适用 一段式小型减压阀                                            高纯度适用 一段式小型减压阀 SL5200                         系列


 SL5200  系列



 ● 适用于高纯度工艺气体的供给气路  接触气体部材质
 ● 流量范围 标准规格：＜30L /min（nor）                                                                                          推荐品种
    HF规格（可选项）：＜130L /min（nor）
 ● 阀体材质 SUS316L二次熔炼  材质记号                  S                        SH
 ● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金规格  阀体                      SUS316L二次熔炼
               表面处理
 ● 有负压调整规格，低蒸气压气体的供给也可对应  阀芯           SUS316L    电解抛光＋钝化处理     赫氏合金 ® C-22
 ● 接触气体部上不存在阀芯弹簧的无弹簧结构  膜片                           SUS316L
 型号表示方法  RoHS  阀座           PCTFE（可选项: Vespel ® （聚酰亚胺树脂））          PCTFE                                             减压阀减压阀

 通口序号    外形尺寸图
 q  w  e
 SL52 02  S M  2PW  FV4 FV4  SL5200                                                                                AP

                                             ø24.6
 设定压力  通口数                                                                                                         SL
                                                                                                                   SL
 记号  设定压力范围  阀盖可选项
 0.0034~0.07MPa  记号  通口数  记号  阀盖
 01  2PW  2通口                                                                                                      AZ
 负压调整规格（A）： −88kPa~0.07MPa  3PW  无记号  标准  ø30
 02  0.0034~0.2MPa  3通口  P  面板安装                                                                                   AK
 06  0.007~0.4MPa  注）面板安装尺寸为ø31.8。
 10  0.007~0.7MPa
 材质  配管连接方式（进口侧q、出口侧w）  阀座材质                                                                                       BP
 记号  配管连接方式  记号  材质                                              最大100.3
 记号  阀体  阀芯  膜片
 S  SUS316L  SUS316L  FV4  1/4面密封接头（内螺纹）  无记号 PCTFE（标准）  （mm）  ø36.1     2×M5×0.8 深6.4
 SH  二次熔炼  赫氏合金 ® C-22  SUS316L  MV4  1/4面密封接头（外螺纹）  VS  Vespel ®注）  配管连接方式  A  （10-32UNF也可使用）
 TW4  1/4焊接管  注）材质记号SH不能选择。  FV4                                                                                     隔膜阀
 内面粗糙度  FV6  3/8面密封接头（内螺纹）  MV4  70.6                        11.2
 记号  表面粗糙度 Ra max  MV6  3/8面密封接头（外螺纹）  TW4  53.8
 无记号  0.4µm（标准）  TW6  3/8焊接管  压力表表示 注）  FV6
 M  0.25µm  记号  表示  MV6  98.0                ø31.8                                        25.4          45°
 V  0.18µm  无记号  不适用  TW6  67.3                A
 X  0.13µm  压力表通口（出口侧e）
 通口位置  记号  配管连接方式或压力表 注）  MPA  MPa
 无记号  无表通口  注）选择带压力表的场合，
 e  注）  请记入“MPA”记号。  流量特性图
 负压调整  0  无压力表  1/4面密封接头（外螺纹）                                                                                        单向阀
 w  q w  q  记号  规格  FV4  1/4面密封接头（内螺纹）  进口侧压力：   1.0MPa  0.7MPa  0.5MPa                      进口侧压力：   0.01MPa
 无记号  标准  V3  −0.1~0.2MPa  SL5210  配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃      SL5201*A              配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃
 A  负压调整规格  L  带压力表  −0.1~0.4MPa  0.7                               0
 2PW  3PW  注）SL5201以外不对应。  1  −0.1~0.7MPa                         −10
 注）压力表详见压力表指南（P.115）。  0.6                                        −20
 qIN wOUT eOUT侧表通口  压力表请选择比减压阀的设定压力范围大的范围。  0.5                   −30
 规格        （MPa）  0.4                                           （kPa）  −40                                           真空发生器
                                                                  −50
 型号  SL5201mmA  SL5201  SL5202  SL5206  SL5210  0.3               −60
 设定压力范围  −88kPa~0.07MPa  0.0034~0.07MPa  0.0034~0.2MPa  0.007~0.4MPa  0.007~0.7MPa  设定压力  0.2  设定压力  −70
 使用流体  不腐蚀接触气体部材质的流体  0.1                                         −80
 进口侧压力范围  真空~1.0MPa                                               −90
 进口侧  最大进口侧压力的1.5倍  0                                            −100
 耐压试验压力         0    20    40    60    80    100   120  140          0       1       2       3        4       5
 出口侧  最大设定压力的1.5倍             流量（L/min（nor）,N2）                                    流量（L/min（nor）,N2）
 进口侧  最大进口侧压力的3倍
 破坏压力
 出口侧  最大设定压力的3倍
 （但未冻结）
 环境温度及使用流体温度  −40~71℃ 注1）  SL5210*HF  进口侧压力：   1.0MPa  0.7MPa  0.5MPa  SL5201*A*HF           进口侧压力：   0.01MPa        流量开关
 向内泄漏  2×10 −11 Pa · m /s       配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃                               配管连接口径：3/4英寸；流体温度：21℃
 3
 外部泄漏
           向外泄漏  2×10 −10 Pa · m /s 注2）  0.7                        0
 3
 −9
 内部泄漏  4×10 Pa · m /s 注2）  0.6                                    −10
 3
 内面粗糙度  Ra max 0.25µm（可选项: 0.18µm、0.13µm）                         −20
 配管连接方式  面密封接头、焊接管  0.5                                           −30
 压力特性  进口侧压力下降0.14MPa时,设定压力上升0.0014MPa  0.4                       −40
 安装方式  底面安装  （MPa）                                              （kPa）  −50
 内部容积  3.1cm 3  0.3                                               −60                                               术语解说  技术资料
 重量  0.45kg 注3）  0.2                                              −70
 注1）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。            注3）重量是大致值，随配管连接方式和可选项而不同。  设定压力  0.1  设定压力  −80
 注2）用钟罩法（氦气进口侧压力0.7MPa）测定。                                        −90
               0                                                 −100                                                共同注意事项
 可选项规格          0    20    40    60    80    100   120  140          0       2       4       6        8       10
                              流量（L/min（nor）,N2）                                    流量（L/min（nor）,N2）
 大流量规格   注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
 大流量规格仅产品内部变更，不改变外形尺寸。与标准规格相比，变更如下。
 可选项记号  型号  SL5201mmA  SL5201  SL5202  SL5206  SL5210
 HF  压力特性  进口侧压力下降0.14MPa时，设定压力上升0.0035MPa  赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
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