Page 52 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 一段式小型减压阀 高纯度适用 一段式小型减压阀 SL5200 系列

SL5200 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 接触气体部材质
● 流量范围 标准规格：＜30L /min（nor）
HF规格（可选项）：＜130L /min（nor）
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼 材质记号 S SH
● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金规格 阀体 SUS316L二次熔炼
表面处理
● 有负压调整规格，低蒸气压气体的供给也可对应 阀芯 SUS316L 电解抛光＋钝化处理 赫氏合金 ® C-22
● 接触气体部上不存在阀芯弹簧的无弹簧结构 膜片 SUS316L
型号表示方法 RoHS 阀座 PCTFE（可选项: Vespel ® （聚酰亚胺树脂）） PCTFE

通口序号 外形尺寸图
q w e
SL52 02 S M 2PW FV4 FV4 SL5200

ø24.6
设定压力 通口数
记号 设定压力范围 阀盖可选项
0.0034~0.07MPa 记号 通口数 记号 阀盖
01 2PW 2通口
负压调整规格（A）： −88kPa~0.07MPa 3PW 无记号 标准 ø30
02 0.0034~0.2MPa 3通口 P 面板安装
06 0.007~0.4MPa 注）面板安装尺寸为ø31.8。
10 0.007~0.7MPa
材质 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） 阀座材质
记号 配管连接方式 记号 材质 最大100.3
记号 阀体 阀芯 膜片
S SUS316L SUS316L FV4 1/4面密封接头（内螺纹） 无记号 PCTFE（标准） （mm） ø36.1 2×M5×0.8 深6.4
SH 二次熔炼 赫氏合金 ® C-22 SUS316L MV4 1/4面密封接头（外螺纹） VS Vespel ®注） 配管连接方式 A （10-32UNF也可使用）
TW4 1/4焊接管 注）材质记号SH不能选择。 FV4
内面粗糙度 FV6 3/8面密封接头（内螺纹） MV4 70.6 11.2
记号 表面粗糙度 Ra max MV6 3/8面密封接头（外螺纹） TW4 53.8
无记号 0.4µm（标准） TW6 3/8焊接管 压力表表示 注） FV6
M 0.25µm 记号 表示 MV6 98.0 ø31.8 25.4 45°
V 0.18µm 无记号 不适用 TW6 67.3 A
X 0.13µm 压力表通口（出口侧e）
通口位置 记号 配管连接方式或压力表 注） MPA MPa
无记号 无表通口 注）选择带压力表的场合，
e 注） 请记入“MPA”记号。 流量特性图
负压调整 0 无压力表 1/4面密封接头（外螺纹）
w q w q 记号 规格 FV4 1/4面密封接头（内螺纹） 进口侧压力： 1.0MPa 0.7MPa 0.5MPa 进口侧压力： 0.01MPa
无记号 标准 V3 −0.1~0.2MPa SL5210 配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃ SL5201*A 配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃
A 负压调整规格 L 带压力表 −0.1~0.4MPa 0.7 0
2PW 3PW 注）SL5201以外不对应。 1 −0.1~0.7MPa −10
注）压力表详见压力表指南（P.115）。 0.6 −20
qIN wOUT eOUT侧表通口 压力表请选择比减压阀的设定压力范围大的范围。 0.5 −30
规格 （MPa） 0.4 （kPa） −40
−50
型号 SL5201mmA SL5201 SL5202 SL5206 SL5210 0.3 −60
设定压力范围 −88kPa~0.07MPa 0.0034~0.07MPa 0.0034~0.2MPa 0.007~0.4MPa 0.007~0.7MPa 设定压力 0.2 设定压力 −70
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 0.1 −80
进口侧压力范围 真空~1.0MPa −90
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍 0 −100
耐压试验压力 0 20 40 60 80 100 120 140 0 1 2 3 4 5
出口侧 最大设定压力的1.5倍 流量（L/min（nor）,N2） 流量（L/min（nor）,N2）
进口侧 最大进口侧压力的3倍
破坏压力
出口侧 最大设定压力的3倍
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ 注1） SL5210*HF 进口侧压力： 1.0MPa 0.7MPa 0.5MPa SL5201*A*HF 进口侧压力： 0.01MPa
（但未冻结）
3
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s 配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃ 配管连接口径：3/4英寸；流体温度：21℃
外部泄漏
向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注2） 0.7 0
3
−9
3
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注2） 0.6 −10
内面粗糙度 Ra max 0.25µm（可选项: 0.18µm、0.13µm） −20
配管连接方式 面密封接头、焊接管 0.5 −30
压力特性 进口侧压力下降0.14MPa时,设定压力上升0.0014MPa 0.4 −40
安装方式 底面安装 （MPa） （kPa） −50
内部容积 3.1cm 3 0.3 −60
重量 0.45kg 注3） 0.2 −70
注1）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。 注3）重量是大致值，随配管连接方式和可选项而不同。 设定压力 0.1 设定压力 −80
注2）用钟罩法（氦气进口侧压力0.7MPa）测定。 −90
0 −100
可选项规格 0 20 40 60 80 100 120 140 0 2 4 6 8 10
流量（L/min（nor）,N2） 流量（L/min（nor）,N2）
大流量规格 注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
大流量规格仅产品内部变更，不改变外形尺寸。与标准规格相比，变更如下。
可选项记号 型号 SL5201mmA SL5201 SL5202 SL5206 SL5210
HF 压力特性 进口侧压力下降0.14MPa时，设定压力上升0.0035MPa 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
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