Page 47 - 21-工艺气体元件（特气阀）
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高纯度适用 二段式减压阀  小流量                 高纯度适用 二段式减压阀/小流量 膜片阀芯一体结构 AP1700                                      系列
 膜片阀芯一体结构
 AP1700  系列


 ● 适用于高纯度工艺气体的供给气路  接触气体部材质
 对应进口侧高压  最大24.1MPa
 ●                                                                                                                   推荐品种
 ● 阀体材质 SUS316L二次熔炼  材质记号                 S                     SH
 ● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金规格  阀体                    SUS316L 二次熔炼
 ● 由于是二段式减压构造，将进口侧压力变动的影响抑制在最小限度  表面处理         电解抛光＋钝化处理
 ● 膜片阀芯一体结构      阀芯                    SUS316L              赫氏合金 ® C-22
                 膜片                    SUS316L              赫氏合金 ® C-22                                              减压阀减压阀
                                       SUS316L
 型号表示方法  RoHS    孔口            PCTFE（可选项: Vespel ® （聚酰亚胺树脂））  赫氏合金 ® C-22
                                                               PCTFE
                 阀座
 通口序号
 q  w  e  r  外形尺寸图
 AP17 02  S  2PW  FV4 FV4                                                                                          AP
                                                                                                                   AP
         AP1700
                                                           ø53.8
 设定压力                                                                                                              SL
 记号  设定压力范围  配管连接方式（进口侧q、出口侧w）  阀盖可选项
 02  0.007~0.2MPa  记号  阀盖                                                                                          AZ
 06  0.014~0.4MPa  记号  配管连接方式  无记号  标准
 FV4
 10  0.014~0.7MPa  1/4面密封接头（内螺纹）  P  注）                                                                            AK
 MV4  1/4面密封接头（外螺纹）  面板安装
 材质  TW4  1/4焊接管  注）面板安装孔尺寸为ø39.6。
 记号  阀体  阀芯  膜片  孔口  FV6  3/8面密封接头（内螺纹）                                                                            BP
 S  SUS316L  SUS316L  SUS316L  MV6  3/8面密封接头（外螺纹）
 SUS316L  阀座材质
 SH  二次熔炼  赫氏合金 ®  赫氏合金 ®  赫氏合金 ®  TW6  3/8焊接管                     ø38.1
 C-22  C-22  C-22  记号  材质
 无记号 PCTFE（标准）                                                                                                       隔膜阀
 内面粗糙度  压力表通口 （进口侧e、出口侧r）  VS  Vespel ®注）
 注）
 记号  表面粗糙度 Ra max  记号  压力表  注）材质记号SH不能选择。
 无记号  0.4µm（标准）  无记号  无表通口                                                        最大190.5
 M  0.25µm  无压力表
 V  0.18µm  0  （接头：1/4面密封 外螺纹）  压力表表示 注）          出口                    入口
 X  0.13µm  V3  −0.1~0.2MPa  记号  表示
 通口数  L  −0.1~0.4MPa  无记号  不适用
 记号  通口数  1  −0.1~0.7MPa  MPA  MPa
 2PW  2通口  H  −0.1~1.1MPa  注）选择带压力表的场合，                                                                              单向阀
 4PW  4通口  2  0~1.4MPa  请记入“MPA”记号。  （mm）
 通口位置  40  0~28MPa  配管连接方式  A                                                 60
 注）压力表详见压力表指南（P.115）。  FV4
 r  e  压力表请选择比减压阀的设定压力范围  MV4    94.0
 w  q w  q  大的范围。  TW4    75.2
             FV6                                           ø57.2
 型号记入例       MV6     119.4
 Port  q  w  e r  TW6    75.2                               A
 2PW  4PW  AP1702S  2PW FV4 FV4                                                                                      真空发生器
 4PW FV4 FV4  0  0
 qIN wOUT eIN侧表通口 rOUT侧表通口  4PW FV4 FV4 40 V3 MPA
 规格      流量特性图
                                         进口侧压力：   10MPa
 型号  AP1702  AP1706  AP1710                           1.5MPa
 额定压力范围  0.007~0.2MPa  0.014~0.4MPa  0.014~0.7MPa  AP1710  配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃
 使用流体  不腐蚀接触气体部材质的流体
 进口侧压力范围  真空~24.1MPa  0.8
 中间段压力  1.2MPa  0.7                                                                                                  流量开关
 进口侧  最大进口侧压力的1.5倍
 耐压试验压力
 出口侧  最大设定压力的1.5倍  0.6
 进口侧  最大进口侧压力的3倍
 破坏压力        0.5
 出口侧  最大设定压力的3倍  （MPa）
 环境温度及使用流体温度  −40~71℃ 注1）  0.4
 （但未冻结）
 3
   向内泄漏  2×10 −11 Pa · m /s
 外部泄漏      设定压力
 3
   向外泄漏  2×10 −10 Pa · m /s 注2）  0.3
 −9
 内部泄漏  4×10 Pa · m /s 注3）                                                                                           术语解说  技术资料
 3
 内面粗糙度  Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm、0.18µm、0.13µm）  0.2
 配管连接方式  面密封接头、焊接管
 阀盖通口  NPT1/8 注4）  0.1
 压力特性  进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.00035MPa  0                                                                            共同注意事项
 安装方式  可选项: 面板安装  0   10     20     30     40     50     60
 内部容积  15.1cm 3               流量（L/min（nor）,N2）
 重量  2.04kg 注5）  注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
 注1）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。  注4）选择面板安装可选项的场合，为通孔。
 注2）用钟罩法（氦气进口侧压力10.5MPa）测定。  注5）重量是大致值，随配管连接方式和可选项而不同。
 注3）用钟罩法（氦气进口侧压力7MPa）测定。  赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
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