Page 43 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 一段式减压阀 大流量 高纯度适用 一段式减压阀/大流量 膜片阀芯一体结构 AP1200 系列
膜片阀芯一体结构
AP1200 系列

可选项规格 流量特性图
● 适用于高纯度工艺气体的供给气路
对应进口侧高压 标准规格 : 最大11.7MPa、HR规格（可选项）: 最大20.7MPa 1.大流量规格 进口侧压力： 10MPa 3MPa 1.5MPa
● AP1210 配管连接口径：1/2英寸；流体温度：21℃ 推荐品种
● 流量范围 标准规格: ＜800L /min（nor） 大流量规格仅产品内部变更，不改变外形尺寸。与标准规格相比，变更点如下。
0.7
HF规格（可选项）: ＜1000L /min（nor） 可选项 型号 AP1202 AP1206 AP1210 AP1215 AP1225 0.7
记号
FC规格（可选项）: ＜1500L /min（nor） HF 压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.029MPa 0.6
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼 （MPa） 0.5
● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金规格 2.流量特性修正规格 0.4
● 膜片阀芯一体结构 RoHS 大流量规格上，追加调压修正机构，因流量特性改善，可实用的流量 0.3 减压阀减压阀
型号表示方法 范围比大流量规格更广。与标准规格相比，变更点如下。 设定压力 0.2
可选项 型号 AP1210 AP1215
通口番号 记号 0.1
q w e r 进口侧压力范围 真空~2.1MPa 0 0 200 400 600 800 1000 1200 1400
AP12 02 S 2PW FV8 FV8 FC 压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.029MPa 流量（L/min（nor）,N2） AP
AP
配管连接方式
1/2、3/4面密封接头；1/2、3/4焊接管
设定压力 3.进口侧高压规格 进口侧压力： 1.0MPa 0.7MPa 0.5MPa SL
记号 设定压力范围 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） 与标准规格相比，变更点如下。 AP1210 配管连接口径：1/2英寸；流体温度：21℃
02 0.007~0.2MPa 记号 配管连接方式 可选项 0.7
06 0.014~0.4MPa FV4 1/4面密封接头（内螺纹） 阀盖可选项 记号 型号 AP1210 AP1215 0.6 AZ
10 0.014~0.7MPa MV4 1/4面密封接头（外螺纹） 记号 阀盖 HR 进口侧压力范围 真空~20.7MPa 0.5
15 0.034~1.0MPa TW4 1/4焊接管 无记号 标准 （MPa） 0.4 AK
25 1.7MPa（预调） P 面板安装 注1）
材质 FV6 3/8面密封接头（内螺纹） SC 短型 注2） 0.3 BP
记号 阀体 阀芯 膜片 孔口 MV6 3/8面密封接头（外螺纹） 注1）面板安装孔尺寸为ø39.6。 外形尺寸图 设定压力 0.2
S SUS316L TW6 3/8焊接管 注2） 阀盖通口为通孔。与FC或HR可选 0.1
SHP SUS316L 赫氏合金 ® 赫氏合金 ® SUS316L FV8 1/2面密封接头（内螺纹） 项不能组合。 AP1200 0
二次熔炼
SH C-22 C-22 赫氏合金 ® C-22 MV8 1/2面密封接头（外螺纹） ø53.8 0 100 200 300 400 500 600 700 隔膜阀
TW8
1/2焊接管
内面粗糙度 FV12 3/4面密封接头（内螺纹） 注） 可选项 流量（L/min（nor）,N2）
记号 表面粗糙度 Ra max 通口数 MV12 3/4面密封接头（外螺纹） 注） 记号 规格
无记号 0.4µm（标准） 记号 通口数 TW12 3/4焊接管 无记号 标准 AP1210*HF 进口侧压力： 10MPa 3MPa 1.5MPa
HF
大流量规格
M 0.25µm 2PW 2通口 FC 流量特性修正规格 注1）注2） 配管连接口径：1/2英寸；流体温度：21℃
V 0.18µm 3PW 3通口 注）请准备一个符合应用的额定电压的配 0.7
接头。
X 0.13µm 4PW 4通口 HR 进口侧对应高压 0.6
压力表表示 注） （最大进口侧压力20.7MPa） 注1）
通口位置 记号 表示 注1）FC可选项及HR可选项不对应 ø38.1 （MPa） 0.5
AP1202、AP1206、AP1225。
注）
r 压力表通口 （进口侧e、出口侧r） 无记号 不适用 注2）FC可选项的场合，配管连接方式 （可选项记号FC时） （可选项记号SC时） 0.4 单向阀
0.3
记号 压力表 MPA MPa 最大152 设定压力
w q w q 无记号 无表通口 注）选择带压力表的场合， 为1/2或3/4英寸。 0.2
0 无压力表 请记入“MPA”记号。 0.1
2PW 3PW （接头: 1/4面密封 外螺纹） ø66.5 最大165 最大142 0 0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800
V3 −0.1~0.2MPa 型号记入例 q w e r 阀座材质
Port
r e L −0.1~0.4MPa AP1210S 2PW FV8 FV8 记号 材质 流量（L/min（nor）,N2）
w q 1 −0.1~0.7MPa 3PW FV8 FV8 0 无记号 PCTFE（标准） 进口侧压力： 1.0MPa 0.7MPa 0.5MPa
H −0.1~1.1MPa 3PW FV8 FV8 1 MPA VS Vespel ®注） AP1210*HF 配管连接口径：1/2英寸；流体温度：21℃
2 0~1.4MPa 4PW FV8 FV8 40 1 MPA 真空发生器
4PW 40 0~28MPa 4PW FV8 FV8 0 0 注）材质记号SHP、SH 17.5 0.7
不能选择。 0.6
注）压力表详见压力表指南（P.115）。 øA （mm）
qIN wOUT eIN侧表通口 rOUT侧表通口 压力表请选择比减压阀的设定压力范围大的范围。 0.5
配管
规格 B 连接方式 A B （MPa） 0.4
型号 AP1202 AP1206 AP1210 AP1215 AP1225 22.4 FV4 94.0 设定压力 0.3
0.034~1.0MPa 2×M5×0.8 深6.4 MV4 50.8 101.6 0.2
设定压力范围 0.007~0.2MPa 0.014~0.4MPa 0.014~0.7MPa （进口侧压力6.9MPa以下的场合） 注1） 1.7MPa（预调） 注2） （10-32UNF也可使用） TW4 87.9
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 FV6 0.1
进口侧压力范围 真空~11.7MPa MV6 132.6 0
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍 TW6 0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 流量开关
耐压试验压力 101.6 流量（L/min（nor）,N2）
出口侧 最大设定压力的1.5倍 FV8
进口侧 最大进口侧压力的3倍 MV8 63.5 132.6
破坏压力 进口侧压力： 1.0MPa 0.7MPa 0.5MPa
出口侧 最大设定压力的3倍 TW8 110.2 AP1210*FC 配管连接口径：1/2英寸；流体温度：21℃
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ 注3） FV12 0.7
（但未冻结）
3
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s MV12 159.0
外部泄漏 向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注4） 0.6
3
−9
3
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注5） 接触气体部材质 TW12 127.0 0.5 术语解说 技术资料
内面粗糙度 Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm、 0.18µm、 0.13µm） （MPa）
配管连接方式 面密封接头、焊接管 0.4
阀盖通口 NPT1/8 注6） 材质记号 S SHP SH 0.3
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.024MPa 阀体 设定压力 0.2
安装方式 底面安装（可选项: 面板安装） SUS316L二次熔炼
内部容积 17.6cm 3 表面处理 电解抛光＋钝化处理 0.1 共同注意事项
重量 2.0kg 注7） 阀芯 SUS316L 赫氏合金 ® C-22 0
注1）进口侧压力超过6.9MPa时，由于受压力特性的影响，最大设定压力会变得比1MPa低。最大设定压力随进口侧压力成比例变化，但在进口侧压力11.7MPa时， 膜片 赫氏合金 ® C-22 0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800
流量（L/min（nor）,N2）
最大设定压力约为0.86MPa（HF、FC可选项为0.83MPa）。 孔口 SUS316L 赫氏合金 ® C-22
注2）是进口侧压力5.5MP时的值。也可变更进口/出口侧压力条件。详情请咨询本公司。 注5）用钟罩法（氦气进口侧压力7MPa）测定。 阀座 PCTFE（可选项: Vespel ® （聚酰亚胺树脂）） PCTFE 注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
注3）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。 注6）选择面板安装可选项的场合，为通孔。
注4）用钟罩法（氦气进口力10.5MPa）测定。 注7）重量是大致值，随配管连接方式和可选项等而不同。 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
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