Page 45 - 21-工艺气体元件（特气阀）
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高纯度适用 一段式减压阀  负压调整适用                          高纯度适用 一段式减压阀/负压调整适用 AP1100                                系列


 AP1100  系列


 ● 适用于高纯度工艺气体的供给气路  接触气体部材质
 ● 可负压调节，下流侧供给负压气体                                                                                                   推荐品种
 ● 流量范围 ＜0.5L /min（nor）  材质记号          S               SHP              SH                H
 ● 阀体材质 SUS316L二次熔炼  阀体                            SUS316L 二次熔炼                      赫氏合金 ® C-22
 ● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金规格  表面处理                     电解抛光＋钝化处理                          电解抛光处理
                 阀芯                 SUS316L                         赫氏合金 ® C-22
                 膜片                 SUS316L                         赫氏合金 ® C-22                                      减压阀减压阀
 型号表示方法  RoHS    孔口                          SUS316L      PCTFE（可选项: PTFE）   赫氏合金 ® C-22
                 阀座
 通口序号
 q  w  e  r  外形尺寸图
 AP11 01  S  2PW  FV4 FV4  AP1100                                                                                  AP
                                                                                                                   AP
                                                           ø53.8
 设定压力                                                                                                              SL
 记号  设定压力范围
 01  −88kPa~0.07MPa                                                                                                AZ
 通口数  阀盖可选项
 材质  记号  通口数  记号  阀盖                                                                                               AK
 记号  阀体  阀芯  膜片  孔口  2PW  2通口  无记号  标准
 S  SUS316L  SUS316L  3PW  3通口  P  面板安装 注）
 SHP  SUS316L  SUS316L  4PW  4通口  注）面板安装孔尺寸为ø39.6。                                                                 BP
 二次熔炼
 SH  赫氏合金 ®  赫氏合金 ®  赫氏合金 ®                                        ø38.1
 H  赫氏合金 ®  C-22  C-22  C-22  阀座材质                                                 最大142
 C-22  配管连接方式（进口侧q、出口侧w）  记号  材质
 内面粗糙度  记号  配管连接方式  无记号  PCTFE（标准）                                                                                   隔膜阀
 记号  表面粗糙度 Ra max  FV4  1/4面密封接头（内螺纹）  TF  PTFE 注）                   ø57.2
 无记号  0.4µm（标准）  MV4  1/4面密封接头（外螺纹）  注）PTFE阀座推荐用于工艺装置
 M  0.25µm  TW4  1/4焊接管  等气体的末端消耗处。
 V  0.18µm  FV6  3/8面密封接头（内螺纹）
 X  0.13µm  MV6  3/8面密封接头（外螺纹）
 通口位置  TW6  3/8焊接管  压力表表示 注）                                                   17.5
 记号  表示                                                    ø50.8
 r  注）  无记号  不适用
 压力表通口 （进口侧e、出口侧r）  MPA  MPa                                A                                                        单向阀
 w  q  w  q  记号  压力表  注）选择带压力表的场合，  （mm）
 无记号  无表通口  请记入“MPA”记号。  配管连接方式  A                         22.4        2×M5×0.8 深6.4
 0  无压力表     FV4                                                      （10-32UNF也可使用）
 2PW  3PW  （接头：1/4面密封 外螺纹）  MV4    94.0
 V3  −0.1~0.2MPa
 r  e  L  −0.1~0.4MPa  型号记入例  q  w  e r  TW4    75.2
 1  −0.1~0.7MPa  Port  FV6  119.4
 w  q  AP1101S  2PW FV4 FV4  MV6
 H  −0.1~1.1MPa  3PW FV4 FV4  0                                                                                      真空发生器
 2  0~1.4MPa  3PW FV4 FV4  V3 MPA  TW6    75.2
 4  0~3MPa  4PW FV4 FV4 V3 V3 MPA
 4PW  4PW FV4 FV4  0  0
 注）压力表详见压力表指南（P.115）。
 压力表请选择比减压阀的设定压力范围
 qIN wOUT eIN侧表通口   流量特性图
 rOUT侧表通口  大的范围。
 规格      AP1100                               进口侧压力：14kPa
               0
 型号  AP1101   -10
 设定压力范围  −88kPa~0.07MPa                                                                                              流量开关
 使用流体  不腐蚀接触气体部材质的流体  -20
 进口侧压力范围  真空~2.1MPa  -30
 进口侧  最大进口侧压力的1.5倍
 耐压试验压力
 出口侧  最大设定压力的1.5倍  （kPa）  -40
 进口侧  最大进口侧压力的3倍  -50
 破坏压力
 出口侧  最大设定压力的3倍  设定压力
 环境温度及使用流体温度  −40~71℃（但未冻结）  -60
   向内泄漏  2×10 −11 Pa · m /s  -70                                                                                    术语解说  技术资料
 3
 外部泄漏    向外泄漏  2×10 −10 Pa · m /s 注1）
 3
 −9
 3
 内部泄漏  4×10 Pa · m /s 注1）  -80
 内面粗糙度  Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm、0.18µm、0.13µm）  -90
 配管连接方式  面密封接头、焊接管  -100                                                                                             共同注意事项
 阀盖通口  NPT1/8 注2）  0          1             2             3
 安装方式  底面安装（可选项: 面板安装）        流量（L/min（nor）,N2）
 内部容积  8cm 3  注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
 重量  1.25kg 注3）
 注1）用钟罩法（氦气进口侧压力2.1MPa）测定。                          注3）重量是大致值，随配管连接方式和可选项而不同。
 注2）选择面板安装可选项的场合，为通孔。  赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。
                                                                                                              44
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