Page 46 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 二段式减压阀 小流量 高纯度适用 二段式减压阀/小流量 膜片阀芯一体结构 AP1700 系列
膜片阀芯一体结构
AP1700 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 接触气体部材质
对应进口侧高压 最大24.1MPa
●
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼 材质记号 S SH
● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金规格 阀体 SUS316L 二次熔炼
● 由于是二段式减压构造，将进口侧压力变动的影响抑制在最小限度 表面处理 电解抛光＋钝化处理
● 膜片阀芯一体结构 阀芯 SUS316L 赫氏合金 ® C-22
膜片 SUS316L 赫氏合金 ® C-22
SUS316L
型号表示方法 RoHS 孔口 PCTFE（可选项: Vespel ® （聚酰亚胺树脂）） 赫氏合金 ® C-22
PCTFE
阀座
通口序号
q w e r 外形尺寸图
AP17 02 S 2PW FV4 FV4
AP1700
ø53.8
设定压力
记号 设定压力范围 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） 阀盖可选项
02 0.007~0.2MPa 记号 阀盖
06 0.014~0.4MPa 记号 配管连接方式 无记号 标准
FV4
10 0.014~0.7MPa 1/4面密封接头（内螺纹） P 注）
MV4 1/4面密封接头（外螺纹） 面板安装
材质 TW4 1/4焊接管 注）面板安装孔尺寸为ø39.6。
记号 阀体 阀芯 膜片 孔口 FV6 3/8面密封接头（内螺纹）
S SUS316L SUS316L SUS316L MV6 3/8面密封接头（外螺纹）
SUS316L 阀座材质
SH 二次熔炼 赫氏合金 ® 赫氏合金 ® 赫氏合金 ® TW6 3/8焊接管 ø38.1
C-22 C-22 C-22 记号 材质
无记号 PCTFE（标准）
内面粗糙度 压力表通口 （进口侧e、出口侧r） VS Vespel ®注）
注）
记号 表面粗糙度 Ra max 记号 压力表 注）材质记号SH不能选择。
无记号 0.4µm（标准） 无记号 无表通口 最大190.5
M 0.25µm 无压力表
V 0.18µm 0 （接头：1/4面密封 外螺纹） 压力表表示 注） 出口 入口
X 0.13µm V3 −0.1~0.2MPa 记号 表示
通口数 L −0.1~0.4MPa 无记号 不适用
记号 通口数 1 −0.1~0.7MPa MPA MPa
2PW 2通口 H −0.1~1.1MPa 注）选择带压力表的场合，
4PW 4通口 2 0~1.4MPa 请记入“MPA”记号。 （mm）
通口位置 40 0~28MPa 配管连接方式 A 60
注）压力表详见压力表指南（P.115）。 FV4
r e 压力表请选择比减压阀的设定压力范围 MV4 94.0
w q w q 大的范围。 TW4 75.2
FV6 ø57.2
型号记入例 MV6 119.4
Port q w e r TW6 75.2 A
2PW 4PW AP1702S 2PW FV4 FV4
4PW FV4 FV4 0 0
qIN wOUT eIN侧表通口 rOUT侧表通口 4PW FV4 FV4 40 V3 MPA
规格 流量特性图
进口侧压力： 10MPa
型号 AP1702 AP1706 AP1710 1.5MPa
额定压力范围 0.007~0.2MPa 0.014~0.4MPa 0.014~0.7MPa AP1710 配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体
进口侧压力范围 真空~24.1MPa 0.8
中间段压力 1.2MPa 0.7
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍
耐压试验压力
出口侧 最大设定压力的1.5倍 0.6
进口侧 最大进口侧压力的3倍
破坏压力 0.5
出口侧 最大设定压力的3倍 （MPa）
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ 注1） 0.4
（但未冻结）
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s
3
外部泄漏 设定压力
向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注2） 0.3
3
−9
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注3）
3
内面粗糙度 Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm、0.18µm、0.13µm） 0.2
配管连接方式 面密封接头、焊接管
阀盖通口 NPT1/8 注4） 0.1
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.00035MPa 0
安装方式 可选项: 面板安装 0 10 20 30 40 50 60
内部容积 15.1cm 3 流量（L/min（nor）,N2）
重量 2.04kg 注5） 注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
注1）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。 注4）选择面板安装可选项的场合，为通孔。
注2）用钟罩法（氦气进口侧压力10.5MPa）测定。 注5）重量是大致值，随配管连接方式和可选项而不同。
注3）用钟罩法（氦气进口侧压力7MPa）测定。 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
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