Page 57 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 一段式减压阀 中流量 高纯度适用 一段式减压阀/中流量 SL5400 系列

SL5400 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 接触气体部材质
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼 推荐品种
● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金规格 材质记号 S SH
● 接触气体部上不存在阀芯弹簧的无弹簧结构 阀体 SUS316L二次熔炼
表面处理 电解抛光＋钝化处理
阀芯 SUS316L 赫氏合金 ® C-22
膜片 SUS316L 减压阀减压阀
SUS316L
型号表示方法 RoHS 孔口 PCTFE（可选项: Vespel ® （聚酰亚胺树脂）） PCTFE
阀座
通口序号
q w e r 外形尺寸图
SL54 02 S M 2PW FV4 FV4 SL5400 ø53.8 AP

SL
设定压力 阀盖可选项 SL
记号 设定压力范围 记号 阀盖
02 0.007~0.2MPa 无记号 标准 AZ
06 0.007~0.4MPa P 面板安装 注）
10 0.014~0.7MPa 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） AK
记号 配管连接方式 注）面板安装孔尺寸为
材质 FV4 1/4面密封接头（内螺纹） ø39.6。 BP
记号 阀体 阀芯 膜片 MV4 1/4面密封接头（外螺纹） ø38.1
S SUS316L SUS316L TW4 1/4焊接管 阀座材质 最大150
SH 二次熔炼 赫氏合金 ® C-22 SUS316L FV6 3/8面密封接头（内螺纹） 记号 材质 ø63.5
MV6 3/8面密封接头（外螺纹） 无记号 PCTFE（标准）
VS
内面粗糙度 TW6 3/8焊接管 Vespel ®注） 隔膜阀
记号 表面粗糙度 Ra max FV8 1/2面密封接头（内螺纹） 注）材质记号SH不能选择。
M 0.25µm（标准） MV8 1/2面密封接头（外螺纹） 出口 进口
V 0.18µm TW8 1/2焊接管
X 0.13µm 压力表表示 注）
记号 表示 17.5
通口数 压力表通口 （进口侧e、出口侧r） 无记号 不适用
注）
记号 通口数 MPA MPa ø63.5
2PW 2通口 记号 压力表 注）选择带压力表的场合， （mm） A
3PW 3通口 无记号 无表通口 请记入“MPA”记号。 配管连接方式 A 22.4 单向阀
FV4
4PW 4通口 0 无压力表 MV4 109.2 2×M5×0.8 深6.4
通口位置 V3 （接头：1/4面密封 外螺纹） TW4 87.9 （10-32UNF也可使用）
−0.1~0.2MPa
FV6
Port
r r e L −0.1~0.4MPa 型号记入例 2PW ＊＊ er MV6 132.6
1
−0.1~0.7MPa
SL54
＊＊＊
w q w q w q H −0.1~1.1MPa 3PW ＊＊ 0 TW6 101.6
2 0~1.4MPa 3PW ＊＊ 1 MPA FV8
10 0~7MPa 4PW ＊＊ 0 0 MV8 132.6
2PW 3PW 4PW 注）上述范围以外也可选择。详见压力表指南（P.115）。 TW8 110.2 真空发生器
压力表请选择比减压阀的设定压力范围大的范围。
qIN wOUT eIN侧表通口 rOUT侧表通口
流量特性图
规格
进口侧压力： 1.0MPa 0.7MPa 进口侧压力： 6.9MPa 3MPa
0.5MPa 1.5MPa
型号 SL5402 SL5406 SL5410 SL5410 配管连接口径：1/2英寸；流体温度：21℃ SL5410 配管连接口径：1/2英寸；流体温度：21℃
设定压力范围 0.007~0.2MPa 0.007~0.4MPa 0.014~0.7MPa 0.7 0.8
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 流量开关
进口侧压力范围 真空~6.9MPa 0.6 0.7
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍
耐压试验压力
出口侧 最大设定压力的1.5倍 0.5 0.6
进口侧 最大进口侧压力的3倍
破坏压力 （MPa） （MPa） 0.5
出口侧 最大设定压力的3倍 0.4
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ 注1） 0.4
（但未冻结）
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s 0.3
3
外部泄漏 设定压力 设定压力 术语解说 技术资料
向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注2） 0.3
3
−9
3
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注2） 0.2
内面粗糙度 Ra max 0.25µm（可选项: 0.18µm、0.13µm） 0.2
配管连接方式 面密封接头、焊接管 0.1 0.1
阀盖通口 NPT1/8 注3） 共同注意事项
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.011MPa 0 0
安装方式 底面安装（可选项: 面板安装） 0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 0 20 40 60 80 100 120
内部容积 19.7cm 3 流量（L/min（nor）,N2） 流量（L/min（nor）,N2）
重量 1.91kg 注4） 注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
注1）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。 注3）选择面板安装可选项的场合，为通孔。
注2）用钟罩法（氦气进口侧压力7MPa）测定。 注4）重量是大致值，随配管连接方式和可选项而不同。 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
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