Page 73 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 一段式减压阀 负压调整适用 高纯度适用 一段式减压阀/负压调整适用 AZ1100 系列

AZ1100 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 接触气体部材质
● 可负压调整，下游侧对应负压气体的供给 推荐品种
● 流量范围 ＜0.5L /min（nor） 材质记号 S SHP
阀体材质 SUS316L
● 阀体 SUS316L
● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金规格 表面处理 电解抛光＋钝化处理
阀芯 SUS316L 赫氏合金 ® C-22
膜片 SUS316L 赫氏合金 ® C-22 减压阀减压阀
SUS316L
型号表示方法 RoHS 孔口 PCTFE（可选项: PTFE）
阀座
通口序号
q w e r 外形尺寸图
AZ11 01 S 2PW FV4 FV4 AP
AZ1100
设定压力 ø53.8 SL
记号 设定压力范围
AZ
01 −88kPa~0.07MPa 阀盖可选项 AZ
记号 阀盖
无记号 标准
材质 P 面板安装 注） AK
记号 阀体 阀芯 膜片 孔口 阀盖通口
S SUS316L SUS316L BP （NPT1/8） BP
SUS316L 赫氏合金 ® 赫氏合金 ® SUS316L （可选项记号P时）
SHP C-22 C-22 注）面板安装孔尺寸为ø39.6。 ø38.1 最大127

内面粗糙度 阀座材质 ø57.2 隔膜阀
记号 表面粗糙度 Ra 记号 材质 最大142
无记号 0.25µm（标准） 通口数 无记号 PCTFE（标准）
Q 0.62µm 记号 通口数 TF PTFE 注）
2PW 2通口 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） 注）PTFE阀座推荐用于工艺装置
3PW 3通口 记号 配管连接方式 等气体的末端消耗处。 17.5
4PW 4通口 FV4 1/4面密封接头（内螺纹）
通口位置 MV4 1/4面密封接头（外螺纹） ø50.8
FV6 3/8面密封接头（内螺纹） 压力表表示 注）
r MV6 3/8面密封接头（外螺纹） 记号 表示
TW6 3/8焊接管 无记号 不适用 A 单向阀
w q w q
MPA MPa （mm） 22.4
注）
压力表通口 （进口侧e、出口侧r） 注）选择带压力表的场合， 配管连接方式 A 2×M5×0.8 深6.4
2PW 3PW 记号 压力表 请记入“MPA”记号。 FV4 94.0 （10-32UNF也可使用）
无记号 无表通口 MV4
r e 无压力表 FV6
0 MV6 119.4
w q （接头：1/4面密封 外螺纹）
V3 −0.1~0.2MPa 型号记入例 q w e r TW6 75.2
Port
L −0.1~0.4MPa AZ1101S 2PW FV4 FV4 真空发生器
1 −0.1~0.7MPa
0
4PW H −0.1~1.1MPa 3PW FV4 FV4 V3 MPA
3PW FV4 FV4
2 0~1.4MPa 4PW FV4 FV4 V3 V3 MPA 流量特性图
qIN wOUT eIN侧表通口 4PW FV4 FV4 0 0
rOUT侧表通口 4 0~3MPa
注）压力表详见压力表指南（P.115）。 AZ1100 进口侧压力：14kPa
压力表请选择比减压阀的设定压力范围大的范围。 0
规格 −10
−20 流量开关
型号 AZ1101
设定压力范围 −88KPa~0.07MPa −30
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 （kPa） −40
进口侧压力范围 真空~2.1MPa −50
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍
耐压试验压力 设定压力
出口侧 最大设定压力的1.5倍 −60
进口侧 最大进口侧压力的3倍
破坏压力 −70
出口侧 最大设定压力的3倍 术语解说 技术资料
环境温度及使用流体温度 −40~71℃（但未冻结） −80
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s −90
3
外部泄漏
向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注1）
3
−9
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注1） −100 0 1 2 3 共同注意事项
3
内面粗糙度 Ra 0.25µm（可选项: 0.62µm） 流量（L/min（nor）,N2）
配管连接方式 面密封接头、焊接管
安装方式 底面安装（可选项: 面板安装） 注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
内部容积 8cm 3
重量 1.25kg 注2）
注1）用钟罩法（氦气进口侧压力2.1MPa）测定。 注2）重量是大致值，随配管连接方式和可选项而不同。 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。
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