Page 77 - 21-工艺气体元件(特气阀)
P. 77
一般气体适用 一段式减压阀 小流量 一般气体适用 一段式减压阀/小流量 膜片阀芯一体结构 AK1500 系列
膜片阀芯一体结构
AK1500 系列
进口侧对应高压 最大24.1MPa
● 接触气体部材质
● 流量范围 <30L/min(nor) 推荐品种
● 阀体材质 可选择不锈钢或黄铜 材质记号 B S SH
● 需抗腐蚀的场合,内部材质也可是赫氏合金规格 阀体 黄铜 SUS316
● 膜片阀芯一体结构 阀芯 SUS316 赫氏合金 ® C-22
膜片 SUS316 赫氏合金 ® C-22
PCTFE PCTFE
阀座 (可选项: Vespel ® (聚酰亚胺树脂)、PEEK) (可选项: PEEK) 减压阀减压阀
型号表示方法 RoHS
外形尺寸图
通口序号
q w e r t AK1500
AK15 02 S 4PL 4 4 0 0 ø53.8 AP
设定压力 SL
记号 设定压力范围 阀盖可选项
02 0.007~0.2MPa 记号 阀盖 AZ
06 0.014~0.4MPa 配管连接方式 无记号 标准
10 0.014~0.7MPa (进口侧q、出口侧w) P 面板安装 注)
AK
15 0.034~1.0MPa 记号 配管连接方式 注)面板安装孔尺寸为ø36.1。 AK
材质 4 NPT1/4 BP
记号 阀体 阀芯 膜片 4T 1/4卡套接头 阀座材质
B 黄铜 6T 3/8卡套接头 记号 材质 ø38.1 (面板安装可选项)
S SUS316 SUS316 无记号 PCTFE(标准) 最大127
SH SUS316 赫氏合金 ® C-22 赫氏合金 ® C-22 VS Vespel ®注) 隔膜阀
PK PEEK ø57.2
通口位置 压力表通口 注) 注)材质记号SH不能选择。 最大142
材质记号 注1)
记号 通口位置 B S、SH (出口侧额外通口e、进口侧r、出口侧t) 压力表表示 注)
2P ● 记号 压力表 记号 内容 OUT IN
3P 参见下图 ● 无记号 无表通口 无记号 不适用
4PL (通口位置) ● ● 0 无压力表 注2) MPA MPa 17.5
5PC ● ● (表通口NPT1/4) 注)选择带压力表的场合加
无压力表
C (NPT1/4堵头组装出货) “MPA”记号。 单向阀
2×M5×0.8 深6.4
通口位置 V3 −0.1~0.2MPa 22.4 (10-32UNF也可使用)
L −0.1~0.4MPa
t ø50.8
1 −0.1~0.7MPa 注1)压力表详见压力表指南(P.115)。
w q w q H −0.1~1.1MPa 压力表请选择比减压阀的设定压力范
2 0~1.5MPa 围大的范围。
10 0~7MPa 注2)仅通口记号4PL及5PC的场合,NPT1/4
2P 3P 40 0~28MPa 堵头同包出厂。
真空发生器
型号记入例
t t r Port q w e r t 流量特性图
AK1510S 2P 4 4
w q w q 3P 4 4 1 MPA 进口侧压力: 10MPa 3MPa 进口侧压力: 1.0MPa 0.7MPa
4PL 4 4 0 1 MPA 1.5MPa 0.5MPa
4PL 4 4 0 0 AK1510 配管连接口径:1/4英寸;流体温度:21℃ AK1510 配管连接口径:1/4英寸;流体温度:21℃
5PC 4 4 0 40 1 MPA
e 4PL e 5PC 0.7 0.7
qIN wOUT eOUT侧额外通口 rIN侧表通口 tOUT侧表通口 0.6 0.6
规格 0.5 0.5 流量开关
型号 AK1502 AK1506 AK1510 AK1515 (MPa) 0.4 (MPa) 0.4
设定压力范围 0.007~0.2MPa 0.014~0.4MPa 0.014~0.7MPa 0.034~1.0MPa
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 设定压力 0.3 设定压力 0.3
进口侧压力范围 真空~24.1MPa
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍
耐压试验压力 0.2 0.2
出口侧 最大设定压力的1.5倍
进口侧 最大进口侧压力的3倍 术语解说 技术资料
破坏压力 0.1 0.1
出口侧 最大设定压力的3倍
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ 注1) 0 0
(但未冻结)
外部泄漏 1×10 −10 Pa · m /s 0 100 200 300 400 500 600 700 800 0 20 40 60 80 100
3
配管连接方式 NPT内螺纹、卡套接头 流量(L/min(nor),N2) 流量(L/min(nor),N2) 共同注意事项
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时,设定压力上升0.0028MPa 注)“L/min(nor), N2”表示流过N2气体时在标准状态(0℃, 1atm)下的体积流量。
安装方式 底面安装(可选项: 面板安装)
内部容积 8cm 3
重量 1.18kg 注2)
注1)阀座材质是Vespel ® (聚酰亚胺树脂)或PEEK的场合为Max.90℃。另外,环境温度及使用流体温度的范围也可变更。详情请与本公司确认。 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。
注2)重量是大致值,随配管连接方式和可选项而不同。 Vespel ® (聚酰亚胺树脂)是Dupont公司的注册商标。
76