Page 37 - 21-工艺气体元件（特气阀）
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高纯度适用 一段式减压阀  小~中流量                                高纯度适用 一段式减压阀/小~中流量 AP1600                            系列


 AP1600  系列


 ● 适用于高纯度工艺气体的供给气路  接触气体部材质
 ● 对应进口侧高压  最大24.1MPa                                                                                                推荐品种
 ● 流量范围 ＜100L /min （nor）
               材质记号                       S                     SH
 ● 阀体材质 SUS316L二次熔炼  阀体                         SUS316L二次熔炼
 ● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金规格  表面处理                 电解抛光＋钝化处理
               阀芯                    SUS316L                赫氏合金 ® C-22
               膜片                    SUS316L                赫氏合金 ® C-22                                              减压阀减压阀
                                                            赫氏合金 ® C-22
                                     SUS316L
 型号表示方法  RoHS  孔口          PCTFE （可选项: Vespel ® （聚酰亚胺树脂））      PCTFE
               阀座
 通口番号
 q  w  e  r  外形尺寸图
 AP16 01  S  2PW  FV4 FV4  AP1600                          ø53.8                                                   AP
                                                                                                                   AP
 设定压力  阀盖可选项                                                                                                       SL
 记号  设定压力范围  配管连接方式（进口侧q、出口侧w）  记号  阀盖
 01  0.007~0.07MPa  记号  配管连接方式  无记号  标准                                                                            AZ
 02  0.007~0.2MPa  FV4  1/4面密封接头（内螺纹）  P  面板安装 注）
 06  0.014~0.4MPa  MV4  1/4面密封接头（外螺纹）                                                                              AK
 10  0.014~0.7MPa  TW4  1/4焊接管  注）面板安装孔尺寸ø36.3。
 材质  FV6  3/8面密封接头（内螺纹）                                            ø38.1                                           BP
 记号  阀体  阀芯  膜片  孔口  MV6  3/8面密封接头（外螺纹）  阀座材质                                       最大139.7
 S  SUS316L  SUS316L  SUS316L  TW6  3/8焊接管  记号  材质
 SUS316L  无记号 PCTFE（标准）
 SH  二次熔炼  赫氏合金®  赫氏合金®  赫氏合金®  VS  Vespel® 注）
 C-22  C-22  C-22  压力表通口 （进口侧e、出口侧r）                                 ø66.5                                           隔膜阀
 注）
 注）材质记号SH不能选择。
 记号  压力表
 内面粗糙度  无记号  无表通口                                 出口                    进口
 记号  表面粗糙度 Ra max  无压力表  注）
 无记号  0.4µm（标准）  通口数  0  （接头：1/4面密封 外螺纹）  压力表表示
 M  0.25µm  记号  通口数  V3  −0.1~0.2MPa  记号  表示                                    17.5
 V  0.18µm  2PW  2通口  L  −0.1~0.4MPa  无记号  不适用
 X  0.13µm  3PW  3通口  1  −0.1~0.7MPa  MPA  MPa             ø63.5
 4PW  4通口  H  −0.1~1.1MPa  注）选择带压力表的场合，                     A
 2  0~1.4MPa   请记入“MPA”记号。                                 22.4                                                      单向阀
 通口位置  40  0~28MPa   （mm）                                           2×M5×0.8 深6.4
 注）压力表详见压力表指南（P.115）。  配管连接方式  A                                   （10-32UNF也可使用）
 r  r  e  压力表请选择比减压阀的设定压力范围  FV4
 大的范围。       MV4     109.2
 w  q  w  q w  q  TW4    87.9
 型号记入例       FV6     132.6
 Port  q  w  e r  MV6
 2PW  3PW  4PW  AP1601S  2PW FV4 FV4  TW6  101.6                                                                     真空发生器
 3PW FV4 FV4  0
 qIN wOUT eIN侧表通口 rOUT侧表通口  3PW FV4 FV4  V3 MPA
 4PW FV4 FV4  1 V3 MPA
 4PW FV4 FV4  0  0  流量特性图
 规格                            进口侧压力：   10MPa           3MPa                      进口侧压力：   1.0MPa          0.7MPa
                                             1.5MPa                                             0.5MPa
 型号  AP1601  AP1602  AP1606  AP1610  AP1610  配管连接口径：3/8英寸；流体温度：21℃  AP1610          配管连接口径：3/8英寸；流体温度：21℃
 设定压力范围  0.007~0.07MPa  0.007~0.2MPa  0.014~0.4MPa  0.014~0.7MPa  0.8  0.7
 使用流体  不腐蚀接触气体部材质的流体
 进口侧压力范围  真空~0.7MPa  真空~24.1MPa  0.7                              0.6                                                流量开关
 进口侧  最大进口侧压力的1.5倍
 耐压试验压力
 出口侧  最大设定压力的1.5倍  0.6                                            0.5
 进口侧  最大进口侧压力的3倍
 破坏压力         0.5
 出口侧  最大设定压力的3倍  （MPa）                                          （MPa）  0.4
 环境温度及使用流体温度  −40~71℃ 注1）  0.4
 （但未冻结）
 3
   向内泄漏  2×10 −11 Pa · m /s
 外部泄漏      设定压力                                                 设定压力  0.3
   向外泄漏  2×10 −10  Pa · m /s 注2）  0.3
 3
 −9
 内部泄漏  4×10  Pa · m /s 注3）                                        0.2                                               术语解说  技术资料
 3
 内面粗糙度  Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm、0.18µm、0.13µm）  0.2
 配管连接方式  面密封接头、焊接管  0.1                                           0.1
 阀盖通口  NPT1/8 注4）
 压力特性  进口侧压力下降0.7MPa时, 设定压力上升0.0017MPa  0                           0                                                共同注意事项
 安装方式  底面安装（可选项: 面板安装）  0  100  200  300   400    500   600          0   20    40   60   80   100  120  140  160
 内部容积  13.5cm 3               流量（L/min（nor）,N2）                                    流量（L/min（nor）,N2）
 重量  1.54kg 注5）  赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。
 注1）阀座材质是Vespel®（聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。  注4）选择面板安装可选项的场合，为通孔。  Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
 注2）用钟罩法（氦气进口侧压力10.5MPa）测定。  注5）重量是大致值，随配管连接方式和可选项等而不同。
 注3）用钟罩法（氦气进口侧压力3.5MPa）测定。
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