Page 34 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 一段式减压阀 小流量 高纯度适用 一段式减压阀/小流量 膜片阀芯一体结构 AP1500 系列
膜片阀芯一体结构
AP1500 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 接触气体部材质
对应进口侧高压 最大24.1MPa
●
● 流量范围 ＜30L /min（nor） 材质记号 S SHP SH H
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼 阀体 SUS316L二次熔炼 赫氏合金 ® C-22
● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金规格 表面处理 电解抛光＋钝化处理 电解抛光处理
● 膜片阀芯一体结构 阀芯 SUS316L 赫氏合金 ® C-22
膜片 SUS316L 赫氏合金 ® C-22
SUS316L
型号表示方法 RoHS 孔口 PCTFE（可选项: Vespel ® （聚酰亚胺树脂）） PCTFE 赫氏合金 ® C-22
阀座
通口序号
q w e r 外形尺寸图
AP15 02 S 2PW FV4 FV4 AP1500 ø53.8

设定压力 阀盖可选项
记号 设定压力范围 记号 阀盖
02 0.007~0.2MPa 无记号 标准
06 0.014~0.4MPa 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） P 面板安装 注）
10 0.014~0.7MPa 记号 配管连接方式
15 0.034~1.0MPa FV4 1/4面密封接头（内螺纹） 注）面板安装孔尺寸
为ø39.6。
MV4 1/4面密封接头（外螺纹）
材质 TW4 1/4焊接管 ø38.1
记号 阀体 阀芯 膜片 孔口 FV6 3/8面密封接头（内螺纹） 阀座材质
S SUS316L SUS316L MV6 3/8面密封接头（外螺纹） 记号 材质 最大142
SHP SUS316L SUS316L TW6 3/8焊接管 无记号 PCTFE（标准）
二次熔炼
SH 赫氏合金 ® 赫氏合金 ® VS Vespel ®注） ø57.2
赫氏合金 ® C-22 C-22 赫氏合金 ® 注）材质记号SHP、SH、
H C-22 C-22 H不能选择。
出口 进口
内面粗糙度 压力表表示 注）
记号 表面粗糙度 Ra max 17.5
无记号 0.4µm（标准） 通口数 记号 表示
M 0.25µm 记号 通口数 无记号 不适用 ø50.8
MPA
MPa
V 0.18µm 2PW 2通口 压力表通口 （进口侧e、出口侧r） A
注)
X 0.13µm 3PW 3通口 记号 压力表 注）选择带压力表的场合，
4PW 4通口 无记号 无表通口 请记入“MPA”记号。 （mm） 22.4 2×M5×0.8 深6.4
无压力表
通口位置 0 （接头：1/4面密封 外螺纹） 配管连接方式 A （10-32UNF也可使用）
FV4
V3 −0.1~0.2MPa 型号记入例 MV4 94.0
r Port q w e r
r e L −0.1~0.4MPa AP1510S 2PW FV4 FV4 TW4 75.2
w q w q w q 1 −0.1~0.7MPa 3PW FV4 FV4 0 FV6 119.4
H −0.1~1.1MPa 3PW FV4 FV4 1 MPA MV6
2 0~1.4MPa 4PW FV4 FV4 40 1 MPA TW6 75.2
40 0~28MPa 4PW FV4 FV4 0 0
2PW 3PW 4PW
注）压力表详见压力表指南（P.115）。
qIN wOUT eIN侧表通口 rOUT侧表通口 压力表请选择比减压阀的设定压力范围大的范围。 流量特性图
规格 进口侧压力： 10MPa 3MPa 进口侧压力： 1.0MPa 0.7MPa
1.5MPa 0.5MPa
型号 AP1502 AP1506 AP1510 AP1515 AP1510 配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃ AP1510 配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃
设定压力范围 0.007~0.2MPa 0.014~0.4MPa 0.014~0.7MPa 0.034~1.0MPa 0.7 0.7
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体
进口侧压力范围 真空~24.1MPa 0.6 0.6
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍
耐压试验压力
出口侧 最大设定压力的1.5倍 0.5 0.5
进口侧 最大进口侧压力的3倍
破坏压力
出口侧 最大设定压力的3倍 （MPa） 0.4 （MPa） 0.4
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ 注1）
（但未冻结）
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s
3
外部泄漏 −10 设定压力 0.3 设定压力 0.3
3
向外泄漏 2×10 Pa · m /s 注2）
−9
3
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注3） 0.2 0.2
内面粗糙度 Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm、0.18µm、0.13µm）
配管连接方式 面密封接头、焊接管 0.1 0.1
阀盖通口 NPT1/8 注4）
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.0028MPa 0 0
安装方式 底面安装（可选项: 面板安装） 0 100 200 300 400 500 600 700 800 0 20 40 60 80 100
内部容积 8.4cm 3 流量（L/min（nor）,N2） 流量（L/min（nor）,N2）
重量 1.27kg 注5） 注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
注1）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。 注4）选择面板安装可选项的场合，为通孔。
注2）用钟罩法（氦气进口侧压力10.5MPa）测定。 注5）重量是大致值，随配管连接方式和可选项等而不同。
注3）用钟罩法（氦气进口侧压力7MPa）测定。 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
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