Page 35 - 21-工艺气体元件（特气阀）
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高纯度适用 一段式减压阀  小流量                 高纯度适用 一段式减压阀/小流量 膜片阀芯一体结构 AP1500                                      系列
 膜片阀芯一体结构
 AP1500  系列


 ● 适用于高纯度工艺气体的供给气路  接触气体部材质
 对应进口侧高压  最大24.1MPa
 ●                                                                                                                   推荐品种
 ● 流量范围 ＜30L /min（nor）  材质记号           S               SHP              SH                H
 ● 阀体材质 SUS316L二次熔炼  阀体                             SUS316L二次熔炼                      赫氏合金 ® C-22
 ● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金规格  表面处理                     电解抛光＋钝化处理                          电解抛光处理
 ● 膜片阀芯一体结构   阀芯                    SUS316L                         赫氏合金 ® C-22
              膜片                    SUS316L                         赫氏合金 ® C-22                                      减压阀减压阀
                                             SUS316L
 型号表示方法  RoHS  孔口         PCTFE（可选项: Vespel ® （聚酰亚胺树脂））                PCTFE  赫氏合金 ® C-22
              阀座
 通口序号
 q  w  e  r  外形尺寸图
 AP15 02  S  2PW  FV4 FV4  AP1500                          ø53.8                                                   AP
                                                                                                                   AP

 设定压力  阀盖可选项                                                                                                       SL
 记号  设定压力范围  记号  阀盖
 02  0.007~0.2MPa  无记号  标准                                                                                         AZ
 06  0.014~0.4MPa  配管连接方式（进口侧q、出口侧w）  P  面板安装 注）
 10  0.014~0.7MPa  记号  配管连接方式                                                                                      AK
 15  0.034~1.0MPa  FV4  1/4面密封接头（内螺纹）  注）面板安装孔尺寸
 为ø39.6。
 MV4  1/4面密封接头（外螺纹）                                                                                                BP
 材质  TW4  1/4焊接管                                                   ø38.1
 记号  阀体  阀芯  膜片  孔口  FV6  3/8面密封接头（内螺纹）  阀座材质
 S  SUS316L  SUS316L  MV6  3/8面密封接头（外螺纹）  记号  材质                                    最大142
 SHP  SUS316L  SUS316L  TW6  3/8焊接管  无记号 PCTFE（标准）
 二次熔炼
 SH  赫氏合金 ®  赫氏合金 ®  VS  Vespel ®注）                                  ø57.2                                           隔膜阀
 赫氏合金 ®  C-22  C-22  赫氏合金 ®  注）材质记号SHP、SH、
 H  C-22  C-22  H不能选择。
                                                  出口                    进口
 内面粗糙度  压力表表示 注）
 记号  表面粗糙度 Ra max                                                               17.5
 无记号  0.4µm（标准）  通口数  记号  表示
 M  0.25µm  记号  通口数  无记号  不适用                              ø50.8
 MPA
 MPa
 V  0.18µm  2PW  2通口  压力表通口 （进口侧e、出口侧r）                     A
 注)
 X  0.13µm  3PW  3通口  记号  压力表  注）选择带压力表的场合，                                                                          单向阀
 4PW  4通口  无记号  无表通口  请记入“MPA”记号。  （mm）                    22.4        2×M5×0.8 深6.4
 无压力表
 通口位置  0  （接头：1/4面密封 外螺纹）  配管连接方式  A                                  （10-32UNF也可使用）
             FV4
 V3  −0.1~0.2MPa  型号记入例  MV4    94.0
 r  Port  q  w  e r
 r  e  L  −0.1~0.4MPa  AP1510S  2PW FV4 FV4  TW4    75.2
 w  q  w  q w  q  1  −0.1~0.7MPa  3PW FV4 FV4  0  FV6  119.4
 H  −0.1~1.1MPa  3PW FV4 FV4  1 MPA  MV6
 2  0~1.4MPa  4PW FV4 FV4 40 1 MPA  TW6    75.2                                                                      真空发生器
 40  0~28MPa  4PW FV4 FV4 0 0
 2PW  3PW  4PW
 注）压力表详见压力表指南（P.115）。
 qIN wOUT eIN侧表通口 rOUT侧表通口  压力表请选择比减压阀的设定压力范围大的范围。  流量特性图
 规格                            进口侧压力：   10MPa           3MPa                      进口侧压力：   1.0MPa          0.7MPa
                                             1.5MPa                                             0.5MPa
 型号  AP1502  AP1506  AP1510  AP1515  AP1510  配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃  AP1510          配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃
 设定压力范围  0.007~0.2MPa  0.014~0.4MPa  0.014~0.7MPa  0.034~1.0MPa  0.7  0.7
 使用流体  不腐蚀接触气体部材质的流体
 进口侧压力范围  真空~24.1MPa  0.6                                         0.6                                                流量开关
 进口侧  最大进口侧压力的1.5倍
 耐压试验压力
 出口侧  最大设定压力的1.5倍  0.5                                            0.5
 进口侧  最大进口侧压力的3倍
 破坏压力
 出口侧  最大设定压力的3倍  （MPa）  0.4                                     （MPa）  0.4
 （但未冻结）
 环境温度及使用流体温度  −40~71℃ 注1）
 3
   向内泄漏  2×10 −11 Pa · m /s
 外部泄漏  −10  设定压力  0.3                                           设定压力  0.3
 3
   向外泄漏  2×10  Pa · m /s 注2）
 −9
 内部泄漏  4×10 Pa · m /s 注3）  0.2                                    0.2                                               术语解说  技术资料
 3
 内面粗糙度  Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm、0.18µm、0.13µm）
 配管连接方式  面密封接头、焊接管  0.1                                           0.1
 阀盖通口  NPT1/8 注4）
 压力特性  进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.0028MPa  0                            0                                                共同注意事项
 安装方式  底面安装（可选项: 面板安装）  0  100  200  300  400  500  600  700  800    0      20       40      60      80      100
 内部容积  8.4cm 3                流量（L/min（nor）,N2）                                    流量（L/min（nor）,N2）
 重量  1.27kg 注5）  注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
 注1）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。  注4）选择面板安装可选项的场合，为通孔。
 注2）用钟罩法（氦气进口侧压力10.5MPa）测定。  注5）重量是大致值，随配管连接方式和可选项等而不同。
 注3）用钟罩法（氦气进口侧压力7MPa）测定。  赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
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