Page 27 - 21-工艺气体元件（特气阀）

推荐品种选定表

选定前请务必阅读P.19。

用途 阀 减压阀
气体供给系统 气体分配箱 气体供给系统 气体分配箱
（一次侧高压） （气路） （一次侧高压） （气路）
最大流量 最大流量 最大流量 最大流量 推荐品种推荐品种
工艺气体 （L/min （nor）） 推荐品种 （L/min （nor）） 推荐品种 （L/min （nor）） 推荐品种 （L/min （nor）） 推荐品种
二氧化硫 AP4540 AP4540 1 AP/AZ1000S 6 AP/AZ1402TSA
（亚硫酸酐）（SO2） 80 AP4650 30 AP4650 6 AP/AZ1402TSA
5 AP/AZ1000S
AP3000 AP3540 3 AP/AZ/AK1500S 12 AP/AZ/AK1000S HF
125 35 减压阀
AP3650 AP3650 40 AP/AZ/AK1400TS 25 AP/AZ/AK1400TS
六氟化硫 200 AP3000 75 AP4540 60 AP/AZ/AK1200S 60 AP/AZ/AK1200S
（SF6） AP3650 AP4650 150 AP/AZ/AK1200S HF 90 AP/AZ/AK1200S HF
AP3113 AP3700 500 AP9100S AZ/AK1300S
500 400
AP3125 AP3800 180 AP/AZ/AK1200S FC
400 AP9100S AP
AP4540 AP4540 3 AP/AZ1500S 3 AP/AZ1000S
四氟化硫 200 80
（SF4） AP4650 AP4650 15 AP/AZ1400TS 5 AP/AZ1000S HF SL
15 AP/AZ1400TS
三氯氢硅 AP4540 AP4540 10 AP/AZ1402TSA 0.5 AP/AZ1101S
（SiHCl3） 35 AP4650 30 AP4650 10 AP/AZ1402TSA AZ
三甲基硅烷 AP4540 AP4540 7 AP/AZ1402TSA 0.5 AP/AZ1101S
（（CH3） 3SiH） 30 AP4650 25 AP4650 7 AP/AZ1402TSA AK
六氟化钨 10 AP4540 10 AP4540 5 AP/AZ1402TSA 0.3 AP/AZ1101SH
（WF6） AP4650 AP4650 5 AP/AZ1402TSA BP
AP3000 AP3540 5 AP/AZ/AK1500S 5 AP/AZ/AK1000S
85 40
氙 AP3650 AP3650 25 AP/AZ/AK1400TS 10 AP/AZ/AK1000S HF
（Xe） AP3002 AP4540 25 AP/AZ/AK1400TS
100 70
AP3650 AP4650 隔膜阀
※ 的品种，为了达到所定流量，需要加热。 型号前面的q、w表示需二段减压。q是第一段减压阀、w是第二段减压阀，推荐2台串
※推荐品种的表示型号一览，请参见P.20。 联使用。

单向阀

真空发生器

流量开关

术语解说 技术资料

共同注意事项

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