Page 25 - 21-工艺气体元件（特气阀）

推荐品种选定表

选定前请务必阅读P.19。

用途 阀 减压阀
气体供给系统 气体分配箱 气体供给系统 气体分配箱
（一次侧高压） （气路） （一次侧高压） （气路）
最大流量 最大流量 最大流量 最大流量 推荐品种推荐品种
工艺气体 （L/min （nor）） 推荐品种 （L/min （nor）） 推荐品种 （L/min （nor）） 推荐品种 （L/min （nor）） 推荐品种
AP3000 AP3540 10 AP/AZ1500SH 10 AP/AZ1000SH
210 105
氯化氢混合气体 AP3650 AP3650 20 AP1900SH 20 AP/AZ1000SH HF
（N2平衡） AP3002 AP4540 40 AP/AZ1400TS 40 AP/AZ1400TS
265 190
AP3650 AP4650
氟化氢 20 AP4540 20 AP4540 5 AP/AZ1402TSA 5 AP/AZ1402TSA 减压阀
（HF） AP4650 AP4650
AP3540 AP3540 5 AP/AZ1500S 5 AP/AZ1000S
125 55
硒化氢 AP3650 AP3650 40 AP/AZ1400TS 20 AP/AZ1000S HF
（H2Se） AP4540 AP4540 40 AP/AZ1400TS
215 95
AP4650 AP4650 AP
AP3000 AP3540 10 AP/AZ1500S 10 AP/AZ1000S
185 90
硒化氢混合气体 AP3650 AP3650 20 AP1900S 20 AP/AZ1000S HF SL
（N2平衡） AP3002 AP4540 50 AP/AZ1400TS 50 AP/AZ1400TS
225 160
AP3650 AP4650
AP3000 AP3540 5 AP/AZ1500S 5 AP/AZ1000S AZ
210 80
硫化氢 AP3650 AP3650 40 AP/AZ1400TS 10 AP/AZ1000S HF
（H2S） AP3002 AP4540 40 AP/AZ1400TS AK
260 140
AP3650 AP4650
AP3000 AP3540 20 AP/AZ/AK1500S 20 AP/AZ/AK1000S BP
105 50
氪 AP3650 AP3650 60 AP/AZ/AK1400TS 30 AP/AZ/AK1000S HF
（Kr） AP3002 AP4540 60 AP/AZ/AK1400TS
130 90
AP3650 AP4650
AP3000 AP3540 10 AP/AZ/AK1500S 10 AP/AZ/AK1000S 隔膜阀
245 120
甲烷 AP3650 AP3650 20 AP1900S 20 AP/AZ/AK1000S HF
（CH4） AP3002 AP4540 40 AP/AZ/AK1400TS 40 AP/AZ/AK1400TS
295 210
AP3650 AP4650
AP3540 AP3540 3 AP/AZ1500S 3 AP/AZ1000S
40 25
甲醇 AP3650 AP3650 50 AP/AZ1400TS 5 AP/AZ1000S HF
（CH3OH） AP4540 AP4540
70 40
AP4650 AP4650
溴甲烷 25 AP4540 15 AP4540 5 AP/AZ1402TSA 5 AP/AZ1402TSA
（CH3Br） AP4625 AP4625 单向阀
氯甲烷 60 AP4540 45 AP4540 1 AP/AZ1000S 10 AP/AZ1402TSA
（CH3Cl） AP4650 AP4650 10 AP/AZ1402TSA
AP3540 AP3540 3 AP/AZ1500S 3 AP/AZ1000S
200 70
甲基硅甲烷 AP3650 AP3650 50 AP/AZ1400TS 5 AP/AZ1000S HF
（CH3SiH3） AP4540 AP4540 75 AP/AZ1200S 50 AP/AZ1400TS
350 120
AP4650 AP4650 75 AP/AZ1200S
AP3000 AP3540 5 AP/AZ1500S 5 AP/AZ1000S
400 120
一氟甲烷 AP3650 AP3650 50 AP/AZ1400TS 10 AP/AZ1000S HF
（CH3F） AP3002 AP4540 50 AP/AZ1400TS 真空发生器
490 200
AP3650 AP4650
AP3000 AP3540 20 AP/AZ/AK1500S 20 AP/AZ/AK1000S
215 110
氖 AP3650 AP3650 40 AP1900S 40 AP/AZ/AK1000S HF
（Ne） AP3002 AP4540 300 AP/AZ/AK1200S HF 100 AP/AZ/AK1400TS
260 190
AP3650 AP4650
AP3000 AP3540 50 AP/AZ/AK1500S 25 AP/AZ/AK1000S
250 100
AP3650 AP3650 200 AP1900S 50 AP/AZ/AK1000S HF
AP3002 AP4540 250 AP1900S HF 150 AP/AZ/AK1400TS
400 200
氮 AP3650 AP4650 350 AP2700 250 AP/AZ/AK1200S
（N2） AP3130 AP3700 1000 AP/AZ/AK1200S HR AP/AZ/AK1200S HF 流量开关
1000 1000 300
AP3125 AP3800 AZ/AK1300S
400 AP/AZ/AK1200S FC
1000 AP9100S
AP3000 AP3540 5 AP/AZ1500S 6 AP/AZ1000S
75 60
AP3650 AP3650 60 AP/AZ1400TS 15 AP/AZ1000S HF
AP3002 AP4540 AP/AZ1400TS 30 AP/AZ1400TS
100 110 150
三氟化氮 AP3650 AP4650 AP2700S 75 AP/AZ1200S 术语解说 技术资料
（NF3） AP3130 AP3700 400 AP/AZ1200S HR AP/AZ1200 S HF
350 500 125
AP3125 AP3800 qAP9030 AZ1300S
1000
wAP9110 250 AP/AZ1200S FC
600 AP9100S
※ 的品种，为了达到所定流量，需要加热。 型号前面的q、w表示需二段减压。q是第一段减压阀、w是第二段减压阀，推荐2台串 共同注意事项
※推荐品种的表示型号一览，请参见P.20。 联使用。
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