Page 23 - 21-工艺气体元件（特气阀）

推荐品种选定表

选定前请务必阅读P.19。

用途 阀 减压阀
气体供给系统 气体分配箱 气体供给系统 气体分配箱
（一次侧高压） （气路） （一次侧高压） （气路）
最大流量 最大流量 最大流量 最大流量 推荐品种推荐品种
工艺气体 （L/min （nor）） 推荐品种 （L/min （nor）） 推荐品种 （L/min （nor）） 推荐品种 （L/min （nor）） 推荐品种
AP3000 AP3540 3 AP/AZ1500S 3 AP/AZ1000S
70 35
二乙基碲 AP3650 AP3650 5 AP1900S 5 AP/AZ1000S HF
（Te （C2H5） 2） AP3002 AP4540 25 AP/AZ1400TS 25 AP/AZ1400TS
85 60
AP3650 AP4650
AP3000 AP3540 3 AP/AZ/AK1500S 3 AP/AZ/AK1000S 减压阀
140 55
1,1-二氟乙烯 AP3625 AP3625 50 AP/AZ/AK1400TS 6 AP/AZ/AK1000S HF
（C2H2F2） 200 AP3625 AP4540 75 AP/AZ/AK1200S 50 AP/AZ/AK1400TS
100
AP4625 75 AP/AZ/AK1200S
AP4540 AP4540 3 AP/AZ1500S 3 AP/AZ1000S
14 7
二甲基硅烷 AP4650 AP4650 50 AP/AZ1400TS 50 AP/AZ1400TS AP
（C2SiH8） AP3700 AP3700 75 AP/AZ1200S 75 AP/AZ1200S
150 75
AP3800 AP3800 SL
乙硅烷 AP4540 AP4540 1 AP/AZ1000S 1 AP/AZ1000S
（Si2H6） 14 AP4650 7 AP4650 7 AP/AZ1402TSA 7 AP/AZ1402TSA
AP3000 AP3540 3 AP/AZ1500S 3 AP/AZ1000S AZ
380 90
乙烯 AP3650 AP3650 50 AP/AZ1400TS 5 AP/AZ1000S HF
（C2H4） AP3002 AP4540 75 AP/AZ1200S 50 AP/AZ1400TS AK
485 160
AP3650 AP4650 75 AP/AZ1200S
氟（F2） 10 AP3200 10 AP3200 没有合适品。 没有合适品。 BP
AP3000 AP3540 5 AP/AZ1500SH 5 AP/AZ1000SH
氟混合气体 185 AP3650 90 AP3650 25 AP/AZ1400TS 10 AP/AZ1000SH HF
（10%, 3.4MPa）
（N2平衡） 225 AP3002 160 AP4540 25 AP/AZ1400TS
AP3650 AP4650 隔膜阀
AP3540 AP3540 1 AP/AZ1000S 1 AP/AZ1000S
10 4
锗烷 AP3650 AP3650 7 AP/AZ1402TSA 7 AP/AZ1402TSA
（GeH4） AP4540 AP4540
18 7
AP4650 AP4650
AP3000 AP3540 10 AP/AZ1500S 10 AP/AZ1000S
185 90
锗烷混合气体 AP3650 AP3650 20 AP1900S 20 AP/AZ1000S HF
（N2平衡） AP3002 AP4540 50 AP/AZ1400TS 50 AP/AZ1400TS
225 160
AP3650 AP4650
AP4540 AP4540 3 AP/AZ/AK1500S 3 AP/AZ/AK1000S
氟利昂12 55 AP4650 40 AP4650 50 AP/AZ/AK1400TS 5 AP/AZ/AK1000S HF 单向阀
（CCl2F2）
50 AP/AZ/AK1400TS
二氟二溴甲烷12B2 15 AP4540 15 AP4540 5 AP/AZ1400TSA 0.5 AP/AZ1101S
（CBr2F2） AP4650 AP4650 5 AP/AZ1402TSA
AP3000 AP3540 3 AP/AZ/AK1500S 3 AP/AZ/AK1000S
140 40
一氯三氟甲烷 AP3650 AP3650 50 AP/AZ/AK1400TS 5 AP/AZ/AK1000S HF
（CClF3） AP3002 AP4540 50 AP/AZ/AK1400TS
170 70
AP3650 AP4650
AP3540 AP3540 3 AP/AZ/AK1500S 3 AP/AZ/AK1000S 真空发生器
110 35
三氟溴甲烷 AP3650 AP3650 50 AP/AZ/AK1400TS 5 AP/AZ/AK1000S HF
（CBrF3） AP4540 AP4540 50 AP/AZ/AK1400TS
190 65
AP4650 AP4650
AP3000 AP3540 10 AP/AZ/AK1500S 5 AP/AZ/AK1000S
10 50
AP3650 AP3650 40 AP1900S 15 AP/AZ/AK1000S HF
AP3002 AP4540 80 AP1900S HF 30 AP/AZ/AK1400TS
200 100
四氟化碳 AP3650 AP4650 500 AP/AZ/AK1200S HR 60 AP/AZ/AK1200S
（CF4） AP3130 AP3700 AP/AZ/AK1200S HF
600 500 100
AP3125 AP3800 AZ/AK1300
250 AP/AZ/AK1200S FC 流量开关
500 AP9100S
AP4540 AP4540 5 AP/AZ1402TSA AP/AZ1101S
二氯一氟甲烷21 25 AP4650 15 AP4650 0.5 AP1001S
（CHCl2F）
5 AP/AZ1402TSA
AP3000 AP3540 10 AP/AZ/AK1500S 10 AP/AZ/AK1000S
115 145
三氟甲烷 AP3650 AP3650 50 AP/AZ/AK1400TS 20 AP/AZ/AK1000S HF
（CHF3） AP3002 AP4540 50 AP/AZ/AK1400TS 术语解说 技术资料
140 250
AP3650 AP4650
AP3000 AP3540 3 AP/AZ/AK1500S 3 AP/AZ/AK1000S
140 55
二氟甲烷 AP3650 AP3650 50 AP/AZ/AK1400TS 6 AP/AZ/AK1000S HF
（CH2F2） AP3002 AP4540 75 AP/AZ/AK1200S 50 AP/AZ/AK1400TS
175 100 共同注意事项
AP3650 AP4650 75 AP/AZ/AK1200S
※ 的品种，为了达到所定流量，需要加热。 型号前面的q、w表示需二段减压。q是第一段减压阀，w是第二段减压阀，推荐2台串
※推荐品种的表示型号一览，请参见P.20。 联使用。
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