Page 24 - 21-工艺气体元件（特气阀）

推荐品种选定表

选定前请务必阅读P.19。

用途 阀 减压阀
气体供给系统 气体分配箱 气体供给系统 气体分配箱
（一次侧高压） （气路） （一次侧高压） （气路）
最大流量 最大流量 最大流量 最大流量
工艺气体 （L/min （nor）） 推荐品种 （L/min （nor）） 推荐品种 （L/min （nor）） 推荐品种 （L/min （nor）） 推荐品种
AP4540 AP4540 7 AP/AZ/AK1402TSA 0.5 AP/AZ/AK1101S
二氯四氟乙烷114 30 AP4650 25 AP4650 AP/AZ/AK1000S
（C2Cl2F4） 1
7 AP/AZ/AK1402TSA
AP4540 AP4540 3 AP/AZ/AK1500S 3 AP/AZ/AK1000S
60 40
一氯五氟乙烷115 AP4650 AP4650 50 AP/AZ/AK1400TS 5 AP/AZ/AK1000S HF
（C2ClF5） 75 AP/AZ/AK1200S 50 AP/AZ/AK1400TS
75 AP/AZ/AK1200S
AP3000 AP3540 3 AP/AZ/AK1500S 3 AP/AZ/AK1000S
60 40
AP3650 AP3650 50 AP/AZ/AK1400TS 10 AP/AZ/AK1000S HF
AP3002 AP4540 75 AP/AZ/AK1200S 25 AP/AZ/AK1400TS
100 80
六氟乙烷116 AP3650 AP4650 125 AP/AZ/AK1200S HF 50 AP/AZ/AK1200S
（C2F6） AP3113 AP3700 AP/AZ/AK1200S HF
275 400 90
AP3125 AP3800 AZ/AK1300
175 AP/AZ/AK1200S FC
450 AP9100S
AP4540 AP4540 3 AP/AZ/AK1500S 3 AP/AZ/AK1000S
180 70
五氟乙烷 AP4650 AP4650 25 AP/AZ/AK1400TS 5 AP/AZ/AK1000S HF
（C2HF5） 75 AP/AZ/AK1200S 25 AP/AZ/AK1400TS
75 AP/AZ/AK1200S
AP4540 AP4540 3 AP/AZ/AK1500S 3 AP/AZ/AK1000S
55 AP4650 40 AP4650 50 AP/AZ/AK1400TS 5 AP/AZ/AK1000S HF
四氟乙烷134A AP3100 AP3800 75 AP/AZ/AK1200S 50 AP/AZ/AK1400TS
（C2H2F4） AP3700 AP3700 75 AP/AZ/AK1200S
350 230
AP3800 AP3800
AP3540 AP3540 3 AP/AZ/AK1500S 3 AP/AZ/AK1000S
35 20
八氟丙烷R218 AP3650 AP3650 50 AP/AZ/AK1400TS 5 AP/AZ/AK1000S HF
（C3F8） AP4540 AP4540 75 AP/AZ/AK1200S 50 AP/AZ/AK1400TS
60 40
AP4650 AP4650 75 AP/AZ/AK1200S
八氟环丁烷 AP4540 AP4540 6 AP/AZ/AK1402TSA 1 AP/AZ/AK1101S
（C4F8） 25 AP4650 20 AP4650 6 AP/AZ/AK1402TSA
AP3000 AP3540 125 AP/AZ/AK1500S 65 AP/AZ/AK1000S
750 250
AP3650 AP3650 500 AP1900S 125 AP/AZ/AK1000S HF
AP3002 AP4540 625 AP1900S HF 275 AP/AZ/AK1400TS
1000 450
氦 AP3650 AP4650 2000 AP/AZ/AK1200S HR 625 AP/AZ/AK1200S
（He） AP3130 AP3700 AP/AZ/AK1200S HF
2500 2500 900
AP3125 AP3800 AZ/AK1300
1200 AP/AZ/AK1200S FC
2500 AP9100S
1,1,2,2,3,3-六氟丙烷 20 AP4540 15 AP4540 6 AP/AZ/AK1402TSA 6 AP/AZ/AK1402TSA
（C3H2F6） AP4625 AP4625
AP4540 AP4540 3 AP/AZ/AK1500S 3 AP/AZ/AK1000S
60 40
六氟丙烯 AP4625 AP4625 50 AP/AZ/AK1400TS 5 AP/AZ/AK1000S HF
（C3F6） 75 AP/AZ/AK1200S 50 AP/AZ/AK1400TS
75 AP/AZ/AK1200S
AP3000 AP3540 125 AP/AZ/AK1500S 65 AP/AZ/AK1000S
800 300
AP3650 AP3650 500 AP1900S 125 AP/AZ/AK1000S HF
AP3002 AP4540 625 AP1900S HF 275 AP/AZ/AK1400TS
1600 600
氢 AP3650 AP4650 900 AP2700S 625 AP/AZ/AK1200S
（H2） AP3130 AP3700 1200 AP/AZ/AK1200S HR AP/AZ/AK1200S HF
3000 3000 900
AP3125 AP3800 AZ/AK1300S
1200 AP/AZ/AK1200S FC
3000 AP9100S
AP3000 AP3540 1 AP/AZ1500SH 1 AP/AZ1000SH
155 55
溴化氢 AP3650 AP3650 30 AP/AZ1400TS 2 AP/AZ1000SH HF
（HBr） AP3002 AP4540 50 AP/AZ1200SH 30 AP/AZ1400TS
190 95
AP3650 AP4650 50 AP/AZ1200SH
AP3000 AP3540 2 AP/AZ1500SH 8 AP/AZ1000SH
350 75
AP3650 AP3650 90 AP/AZ1400TS 20 AP/AZ1000SH HF
AP3002 AP4540 150 AP/AZ1200SH 40 AP/AZ1400TS
500 150
氯化氢 AP3650 AP4650 600 qAP1225SH 85 AP/AZ1200SH
（HCl） AP3113 AP3700 wAP1210SH HF AP/AZ1200SH HF
2000 850 160
AP3125 AP3800 qAP9030S AZ1300S
2000
wAP9110S 300 AP/AZ1200SH FC
800 AP9100S
※ 的品种，为了达到所定流量，需要加热。 型号前面的q、w表示需二段减压。q是第一段减压阀、w是第二段减压阀，推荐2台串
※推荐品种的表示型号一览，请参见P.20。 联使用。
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