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减压阀、阀选定指南

推荐品种（供气系统、气体分配箱） 推荐品种选定表 选定前请务必阅读P.19。

推荐品种推荐品种
本指南是在工艺气体系统中选定阀及减压阀时的参考。选定时，请务必阅读下述内容。有关特定品种的详细信息及规格， 推荐品种的表示型号一览
请参见样本的数据表。
阀 减压阀
AP3650 AP/AZ/AK1200 S VS HF AP/AZ1402T S A
表示例
选定注意事项 q q w e r q w t 减压阀
本指南上记载的推荐品种全部基于一般的用途及条件。选择适合的阀及减压阀，对系统设计、流量持续时间、使用频率、周围状况、
出口侧压力等参数有很大的影响。需要此处记载以外的品种或有不明之处时，请与本公司商谈。即使按照本指南上记载的推荐 q 系列
品种，在特定用途、特定参数下，也可能会引起元件故障，请务必知悉。另外，根据特定用途及系统设计的参数或条件，流量 AP/AZ/AK1200表示AP1200、 AZ1200、AK1200的3个系列为推荐品种。
这些阀是表示代表性的型号，相同规格(使用压力、Cv值)的型号也是推荐产品。
特性可能高于或低于本指南上记载的数值。
例如，AP3650表示AP3600/3625/3657也是推荐品种。 AP
w 材质
S为不锈钢阀体的标准规格。 SL
■一次侧高压阀是安装在气瓶柜或大流量供给系统中减压阀的 ■SHP可选项作为SH可选项的代替项，是面向特定使用场所的 SH为不锈钢阀体，内部零件为赫氏合金规格，比S （标准规格）的耐蚀性提高。
®
上游侧的元件。 产品。SHP阀芯和膜片为赫氏合金 C-22。另一方面，SH可 减压阀AP系列应用SH或SHP、AZ系列应用SHP。 AZ
（SH的阀芯、膜片和孔口是赫氏合金规格。SHP的阀芯和膜片是赫氏合金规格。)
®
选项的孔口也是赫氏合金 C-22。 另外，不锈钢阀体的材质随系列而不同。 AK
■气路阀是安装在气瓶柜或大流量供给系统中减压阀的下游侧
OAP系列（AP9000/9100除外）……SUS316L二次熔炼
的 元 件。另 外，在 分 配 箱（VMB）及 装 置 内部的 使 用场 所 ■若供给侧减压阀推荐q和w2台，则表示需要二段减压。也 OAZ系列和AP9000/91000 ……SUS316L BP
（POU），用于一次侧高压减压阀的下游侧。 就是说，q的品种是第一段减压阀，w的品种是第二段减压 OAK系列……SUS316
e VS的阀密封材质是Vespel。
（仅对应系列）
阀，推荐2台串联使用。
■一次侧高压减压阀是在气瓶柜或大流量供给系统上使用的 无记号的场合为标准（PCTFE）。
隔膜阀
元件。 ■阀的推荐品种是基于一般的钢瓶压和供给气路压的产品。若 r 表示可选项规格。(仅对应系列)
OHF ……大流量规格
低压时的阀的压力降较大，则可能需要选定其它的阀。
■气路减压阀是在分配箱（VMB）及装置内部的使用场所（POU） OFC ……流量特性修正规格
使用的元件。推荐品种是用于半导体工厂一般使用状况下的 ■阀的推荐品种是用于工艺气路切断的产品。这里虽不使用清 OHR……对应进口侧高压
t A表示负压调整规格。 （仅对应系列）
产品。根据特定场所的使用状况，可能需要选定不同的品种。 除阀和排气阀，但一般情况下AP3000、 AP3650、 AP3540阀 详细规格由样本中的产品规格确认。
也拥有充分的流量特性。为简化起见，本选定指南中列出的
■非液化惰性气体钢瓶，假设在压力降至1.7MPa时，需要更换
品种为代表型号。型号的大小和额定压力是特定的。例如， 单向阀
新的储气瓶。因此，一次侧高压减压阀和一次侧高压阀的最 用途 阀 减压阀
表示手动阀AP3650的场合，同等规格的AP3600和AP3625 气体供给系统 气体分配箱 气体供给系统 气体分配箱
大推荐流量是假设这些气体的进口侧压力为1.7MPa时的 （一次侧高压） （气路） （一次侧高压） （气路）
也是推荐品种。
流量。 最大流量 推荐品种 最大流量 推荐品种 最大流量 推荐品种 最大流量 推荐品种
工艺气体 （L/min（nor）） （L/min（nor）） （L/min（nor）） （L/min（nor））
■对于使用一氧化二氮（N 2 O）的减压阀或使用二氧化碳（CO 2 ） AP3000 AP3540 3 AP/AZ/AK1500S 3 AP/AZ/AK1000S
■非液化毒性气体钢瓶，假设在压力达到1.0MPa时，需要更换新 230 25
的一次侧高压减压阀，气体连续流动或流量超过100L/min AP3650 AP3650 50 AP/AZ/AK1400TS 6 AP/AZ/AK1000S HF
的钢瓶。因此，一次侧高压减压阀的最大推荐流量是假定这些 乙炔 注） 280 AP3002 45 AP4540 75 AP/AZ/AK1200S 50 AP/AZ/AK1400TS
®
（nor）时，推荐Vespel 阀座。 （C2H2） AP3650 AP4650 75 AP/AZ/AK1200S 真空发生器
气体的进口侧压力为1.0MPa时的流量。 AP3700 AP/AZ/AK1200S HF
400 95
■根据气体的种类，受周围环境影响或连续气体流动时，由于 AP3800 AZ/AK1300S
■液化气体系统的钢瓶压是假定在16℃环境中，维持在蒸气压 AP3000 AP3540 30 AP/AZ/AK1500S 30 AP/AZ/AK1000S
有冻结和再液化的可能，因此可能需要对供给侧加热。推荐 185 AP3650 90 AP3650 AP1900S AP/AZ/AK1000S HF
以上。另外，设想液体在完全气化之前，会更换钢瓶。因此， 100 50
加热时，请在理解气体性质的基础上，使用合适的加热手段。 AP3002 AP4540 200 AP/AZ/AK1400TS 150 AP/AZ/AK1400TS
一次侧高压减压阀的最大推荐流量是设想这些气体使用的减 空气 225 AP3650 160 AP4650 800 AP/AZ/AK1200S HR 400 AP/AZ/AK1200S
通常情况下，气体在减压阀的上游侧加热。 AP3100 AP3800 AP/AZ/AK1200S HF
压阀的进口侧为16℃蒸气压时的流量。 600
550 AP3130 890 AP3700 AZ/AK1300S
■气路压假定为最低0.4MPa，或一般钢瓶压的较小值。如果实 475 AP3125 AP3800
■调节负压或非常低的正压的压力时，需要精密的调查。 AP3540 AP3540 5 AP/AZ1500S 5 AP/AZ1000S 流量开关
际的气路压较高，则流量也需高于该指南列出的流量。 250 100
AP1402TA可 从负 压调 节至正 压（0.2MPa）。另 一方 面， AP3650 AP3650 50 AP/AZ1400TS 30 AP/AZ1000S HF
AP4540 AP4540 75 AP/AZ1200S 60 AP/AZ1400TS
AP1101的调整压力范围，几乎在大气压以下（0.07MPa以 450 AP4650 225 AP4650 AP/AZ1200S AP/AZ1200S
氨 400 125
下）。调节非常低的正压的气体压力时，不选AP1101，请选 （NH3） 1000 AP3113 1000 AP3700 600 AP/AZ1200S HF 250 AP/AZ1200S HF
AP3125 AP3800 1100 AP9100S AZ1300S
择AP1001。作为它的代替品种，选择拥有更高流量特性的 500 AP/AZ1200S FC
1000 AP9100S 术语解说 技术资料
AP1402TA，也可进行从负压调节至正压的压力。 AP3000 AP3540 10 AP/AZ/AK1500S 10 AP/AZ/AK1000S
200 80
AP3650 AP3650 100 AP1900S 25 AP/AZ/AK1000S HF
AP3002 AP4540 300 AP1900S HF 50 AP/AZ/AK1400TS
350 150
氩 AP3650 AP4650 1500 AP/AZ/AK1200S HR 100 AP/AZ/AK1200S
（Ar） AP3130 AP3700 AP/AZ/AK1200S HF 共同注意事项
1000 AP3125 800 AP3800 200 AZ/AK1300S
注意 400 AP/AZ/AK1200S FC
这里列出的产品，因其使用条件多种多样，所以系统的适合性，应由系统的设计者或决定规格的人，根据需要做出分析和试验后决定。系 1000 AP9100S
统预期的性能、安全性保证应由决定系统适合性的人负责。为确保安全，无问题的运转，请进行适当的安装、动作及维护。 注） 一次侧高压减压阀的出口侧压力最大为0.1MPa
※ 的品种，为了达到所定流量，需要加热。
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