Page 112 - 21-工艺气体元件（特气阀）

IW 系列

流量特性(代表值)

IW212流量特性 IW213流量特性
供给压力:0.5MPa 供给压力:0.5MPa
0.25 0.35
0.3
0.2 0.25
设定压力[MPa] 0.15 设定压力[MPa] 0.15
0.2
0.1

0.05 0.1
0.05
0 0
0 100 200 300 400 500 0 100 200 300 400 500
流量[L/min(ANR)] 流量[L/min(ANR)]

IW215流量特性 IW222流量特性
供给压力:0.7MPa 供给压力:0.5MPa
0.5 0.25
0.45
0.4 0.2
设定压力[MPa] 0.25 设定压力[MPa] 0.15
0.35
0.3
0.1
0.2
0.15
0.1 0.05
0.05
0 0
0 100 200 300 400 500 600 0 100 200 300 400 500
流量[L/min(ANR)] 流量[L/min(ANR)]

压力特性(代表值)

IW212压力特性 IW213压力特性
供给压力:0.5MPa, 流量:10L/min(ANR)、设定压力为0.14MPa 供给压力:0.5MPa, 流量:10L/min(ANR)、设定压力为0.24MPa
0.004 0.004
0.003 设定点 0.003 设定点
输出压力偏差 [MPa] -0.001 0 输出压力偏差 [MPa] -0.001 0
0.002
0.002
0.001
0.001

-0.002
-0.003 -0.002
-0.003
-0.004 -0.004
0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1
供给压力[MPa] 供给压力[MPa]

IW215压力特性 IW222压力特性
供给压力:0.5MPa, 流量:10L/min(ANR)、设定压力为0.35MPa 供给压力:0.5MPa, 流量:10L/min(ANR)、设定压力为0.14MPa
0.004 0.004
0.003 0.003
输出压力偏差 [MPa] -0.001 0 设定点 输出压力偏差 [MPa] -0.001 0 设定点
0.002
0.002
0.001
0.001

-0.002
-0.003 -0.002
-0.003
-0.004 -0.004
0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1
供给压力[MPa] 供给压力[MPa]
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