Page 175 - 21-工艺气体元件（特气阀）
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IL100 系列
外形尺寸图
IL100
76 2×ø9
50
57
2
Rc1/4
IN
70
EXH EXH 103.5
80
SUP OUT
23
2×Rc1/4, 3/8
82
ø86
55
