Page 178 - 21-工艺气体元件（特气阀）

锁定阀 IL201/211/220 系列

定位器
外形尺寸图
IL201

ø14.5
板孔加工尺寸
减压阀
58 35
45 MAX.4 板
2×ø6.6
2
10
继动器／阀
105 62 ø2 52

SIG OUT
IN OUT SIG
21
3×Rc1/4 电
5 ø60 - 气
变换器
IL211

ø14.5
板孔加工尺寸
执行器
58 35
45 MAX.4 板
2×6.6
2
10
检测变换器
62 52

SIG 137 OUT
IN1 OUT1 SIG
ø2
31
IN2 OUT2
21 OUT 电磁阀
5×RC1/4
5 ø60

IL220
净化元件
ø14.5
板孔加工尺寸
MAX.4
58 35
45 板
2×ø6.6 2
18 工业用过滤器
10

57
�130
ø2
IN1 OUT SIG
配管元件
30
IN2 4×Rc1/4
15
ø60

58