Page 93 - 21-工艺气体元件（特气阀）

VFN2120N-X23/-X36

外形尺寸图
电气配线方向／垂直 VFN2120N-X23C 功能板
(AXT842-30-10-C)
2 4 3/2

3 1 5
156.5
JIS记号 53.5 37
2×UNF#10-32、M5×0.8安装螺钉
24
针No.
1 1:空
VFN2120N-5-02N-X23C 5
0.15~0.9MPa 4 2 41 2 4 2:空
MADE IN JAPAN
3 1 5
3
3:COM.
M12接头 4:SOL.A
23.5 5:空
2×单向阀(3/5通)
1(P)通口 5(R1)通口 M12接口针排列
需工具形锁定式手动操作钮 手动操作钮 14
1 1 14.5 (47)
25 33
0
AXT842-30-10C
3(R2)通口
23.5 23.5 9.4
79 NPT,G1/4"1(P)通口
2(B)通口 4(A)通口

2 4 32
24
37

电气配线方向／垂直 VFN2120N-X23D 功能板
(AXT842-30-10-D)

4 2 5/2

156.5
5 1 3
53.5 37 2×UNF#10-32、M5×0.8安装螺钉
JIS记号 24
针No.
1 1:空
VFN2120N-5-02N-X23D 5
0.15~0.9MPa 2 4 41 2 4 2:空
MADE IN JAPAN
5 1 3
3 3:COM.
M12接头 4:SOL.A
23.5 5:空
2×单向阀(3/5通) M12接口针排列
1(P)通口 3(R2)通口
需工具形锁定式手动操作钮 手动操作钮 14
1 1 14.5 (47)
25 33
0
AXT842-30-10D
5(R1)通口
9.4
23.5 23.5
79 NPT,G1/4"1(P)通口
4(A)通口 2(B)通口

4 2 32

24
37
93