Page 91 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 背压阀 高纯度适用 背压阀 BP1000 系列

BP1000 Welded 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 接触气体部材质
设定压力范围 0.0034~2.1MPa
● 推荐品种
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼 材质记号 S SH
● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金 阀体 SUS316L二次熔炼
膜片 SUS316L 赫氏合金 ® C-22
孔口 SUS316L 赫氏合金 ® C-22
阀座 FKM（可选项: PTFE、Kalreg ® ） 减压阀减压阀
型号表示方法 RoHS 内部密封 PTFE

通口序号 外形尺寸图
q w e
BP10 01 S 2PW FV4 FV4 BP1000 ø53.8 AP

设定压力 SL
记号 设定压力范围
01 0.0034~0.07MPa 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） 阀盖可选项 AZ
02 0.007~0.2MPa 记号 配管连接方式 记号 阀盖
06 0.014~0.4MPa FV4 1/4面密封接头（内螺纹） 无记号 标准 AK
10 0.034~0.7MPa MV4 1/4面密封接头（外螺纹） P 面板安装 注）
20 0.1~1.4MPa TW4 1/4焊接管 BP
BP
30 0.1~2.1MPa FV6 3/8面密封接头（内螺纹） 注）面板安装孔尺寸为 ø38.1 （可选项记号P时）
ø36.1。
MV6 3/8面密封接头（外螺纹） 最大127
材质 TW6 3/8焊接管
记号 阀体 孔口 膜片 阀座材质 ø57.2 隔膜阀
S SUS316L SUS316L 记号 材质 最大142
SH 二次熔炼 赫氏合金 ® C-22 压力表通口（进口侧e） 无记号 FKM（标准）
注）
记号 压力表 TF PTFE
KZ
内面粗糙度 无记号 无表通口 Kalreg ®
记号 表面粗糙度 Ra max 0 无压力表
无记号 0.4µm（标准） 通口数 接头： 1/4面密封 外螺纹 压力表表示 注）
M 0.25µm 记号 通口数 V3 −0.1~0.2MPa 记号 表示 （mm）
V 0.18µm 2PW 2通口 L −0.1~0.4MPa 无记号 不适用 配管连接方式 A ø50.8 17.5
X 0.13µm 3PW 3通口 1 −0.1~0.7MPa MPA MPa FV4 A 单向阀
H −0.1~1.1MPa 94.0
V2 −0.1~1.4MPa 注）选择带压力表的场合， MV4
通口位置 2 0~1.4MPa 请记入“MPA”记号。 TW4 75.2 22.4
4 0~3MPa FV6 119.4 2×M5×0.8 深6.4
e MV6 （10-32UNF也可使用）
注）压力表详见压力表指南（P.115高纯度工 TW6 75.2
w q w q 艺气体用压力表）。
压力表请选择比减压阀的设定压力范围
大的范围。
2PW 3PW 真空发生器
型号记入例
Port e
qIN wOUT eIN侧表通口 BP10 01 S 2PW FV4 FV4
3PW FV4 FV4 V3 MPA
流量特性图
BP1000
规格
0.21
型号 BP1001 BP1002 BP1006 BP1010 BP1020 BP1030 0.19 流量开关
设定压力范围 0.0034~0.07MPa 0.007~0.2MPa 0.014~0.4MPa 0.034~0.7MPa 0.1~1.4MPa 0.1~2.1MPa
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 0.18
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍
耐压试验压力
出口侧 最大设定压力的1.5倍 （MPa）
进口侧 最大进口侧压力的3倍 0.17
破坏压力
出口侧 最大设定压力的3倍
环境温度及使用流体温度 −10~71℃ 注1） 设定压力 0.15
（但未冻结）
3
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s 术语解说 技术资料
外部泄漏 −10 0.14
3
向外泄漏 2×10 Pa · m /s He
内部泄漏 不漏气泡
内面粗糙度 Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm、0.18µm、0.13µm） 0.12
配管连接方式 面密封接头、焊接管 共同注意事项
安装方式 底面安装（可选项: 面板安装） 0.11 0 20 40 60 80 100
内部容积 8cm 3 流量（L/min（nor）,N2）
重量 1.2kg 注2）
注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
注1）阀座材质PTFE的场合，为Min.−30℃。另外，环境温度及使用流体温度的范围也可变更。详情请与本公司确认。
注2）重量是大致值，随配管连接方式和可选项而不同。
Hastelloy ® (赫氏合金)是Haynes International公司的注册商标。Viton ® 、Kalray ® 是Dupont公司的注册商标。
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