Page 96 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 气控式减压阀 中流量 高纯度适用 气控式减压阀 AP14PAT 系列
膜片阀芯一体结构
AP14PAT 系列

● 先导空气对工艺气体用2层密封隔离的安全结构 可选项规格
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼 进口侧高压规格
对应进口侧高压 标准规格：最大15.9MPa；HR规格（可选项）：最大20.7MPa
● 与标准规格相比，变更点如下。
● 流量范围：＜400L/min（nor） 可选项记号 型号 AP14PAT
● 内部材质标准规格为赫氏合金 HR 设定压力范围 0.05~1.0MPa 注）
● 设定压力0.7MPa的场合， 操作压力为0.43MPa（进口侧15.9MPa时） 进口侧压力范围 真空~20.7MPa
注）进口侧压力高的场合，最大设定压力有不能设定的情况。
型号表示方法 RoHS

通口序号 接触气体部材质
q w e r
AP14 PA T S 2PW FV4 FV4 材质记号 S SH

阀体 SUS316L 二次熔炼
设定压力 表面处理 电解抛光＋钝化处理
记号 设定压力范围 可选项 阀芯 赫氏合金 ® C-22
PA 0.05~1.0MPa 记号 规格 膜片 赫氏合金 ® C-22
SUS316L
材质 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） 无记号 标准 注） 孔口 PCTFE（可选项 : Vespel ® （聚酰亚胺树脂）） 赫氏合金 ® C-22
PCTFE
阀座
记号 阀体 阀芯 膜片 孔口 记号 配管连接方式 HR 进口侧高压规格
S SUS316L SUS316L FV4 1/4面密封接头（内螺纹） （最大进口侧压力20.7MPa）
SH 二次熔炼 赫氏合金 ® C-22 赫氏合金 ® C-22 赫氏合金 ® C-22 MV4 1/4面密封接头（外螺纹） 注）按进口侧压力条件，设定
压力范围被限制。
TW4 1/4焊接管 外形尺寸图 流量特性图
内面粗糙度 FV6 3/8面密封接头（内螺纹） AP14PAT 进口侧压力： 10MPa 1.5MPa
记号 表面粗糙度 Ra max MV6 3/8面密封接头（外螺纹） 阀座材质 ø69.6 0.7MPa
无记号 0.4µm（标准） 通口数 TW6 3/8焊接管 记号 材质 操作通口 AP14PAT 配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃
M 0.25µm 记号 通口数 FV8 1/2面密封接头（内螺纹） 无记号 PCTFE（标准）
V 0.18µm 2PW 2通口 MV8 1/2面密封接头（外螺纹） VS Vespel ®注） 0.8
X 0.13µm 3PW 3通口 TW8 1/2焊接管 注）材质记号SH不能选择。 0.7
4PW 4通口
注）
压力表通口 （进口侧e、出口侧r） 阀盖通口 0.6
记号 压力表 压力表表示 注） 0.5
无记号 无表通口 记号 表示 ø47.6 （MPa）
通口位置 0 无压力表 无记号 不适用 0.4
（接头：1/4面密封 外螺纹） MPA MPa 最大124.5 设定压力
r V3 −0.1~0.2MPa 注）选择带压力表的场合， 0.3
r e L −0.1~0.4MPa 请记入"MPA"记号。 ø66.5
w q w q w q 1 −0.1~0.7MPa 0.2
2 0~1.4MPa 0.1
40 0~28MPa
2PW 3PW 4PW 注）压力表详见压力表指南（P.115）。 0 0 100 200 300 400 500
压力表请选择比减压阀的设定压力范围 17.5
qIN wOUT eIN侧表通口 rOUT侧表通口 大的范围。 流量（L/min（nor）,N2）
øA 注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
规格 B

型号 AP14PAT 22.4 输入输出特性
设定压力范围 0.05~1.0MPa 2×M5×0.8 深6.4
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 （10-32UNF也可使用） 进口侧压力： 15.9MPa
进口侧压力范围 真空~15.9MPa 1.7MPa
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍 AP14PAT 20.7MPa（HR可选项）
耐压试验压力
出口侧 最大设定压力的1.5倍 1.2
进口侧 最大进口侧压力的3倍
破坏压力
出口侧 最大设定压力的3倍
最高操作压力（先导压力） 1.0MPa 1
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ 注1）
（但未冻结）
3
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s 0.8
外部泄漏 （mm）
向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注2） （MPa）
3
−9
3
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注3） 配管连接方式 A B 0.6
FV4
内面粗糙度 Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm、0.18µm、0.13µm） MV4 94 设定压力
配管连接方式 面密封接头、焊接管 TW4 50.8 101.6
操作通口 NPT1/8 FV6 87.9 0.4
阀盖通口 NPT1/8 MV6 132.6
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.011MPa TW6 101.6 0.2
安装方式 底面安装 FV8 63.5
内部容积 17.4cm 3 MV8 132.6 0
注1）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。 TW8 110.2 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7
注2）用钟罩法（氦气进口侧压力10.5MPa）测定。 操作压力（MPa）
注3）用钟罩法（氦气进口侧压力7MPa）测定。
赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
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