Page 99 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 气控式减压阀 大流量 高纯度适用 气控式减压阀 AP12PA 系列
膜片阀芯一体结构
AP12PA 系列

● 先导空气对工艺气体用2层密封隔离的安全结构 可选项规格 接触气体部材质
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼 1.大流量规格 推荐品种
对应进口侧高压 标准规格：最大11.7MPa；HR规格（可选项）：最大20.7MPa
● 大流量规格仅产品内部变更，不改变外形尺寸。与标准规格相比，变 材质记号 S SHP SH
● 流量范围 标准规格：＜800L/min（nor）；规格（可选项）：＜1000L/min（nor） 更如下。 阀体 SUS316L 二次熔炼
● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金 可选项记号 型号 AP12PA 表面处理 SUS316L 电解抛光＋钝化处理
赫氏合金 ® C-22
● 设定压力0.7MPa的场合，操作压力为0.5MPa（进口侧11.7MPa时） HF 设定压力范围 0.05~1.0MPa 注） 阀芯
赫氏合金 ® C-22
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.029MPa 膜片 SUS316L 赫氏合金 ® C-22 减压阀减压阀
孔口
型号表示方法 RoHS 2.进口侧高压规格 PCTFE
与标准规格相比，变更点如下。 阀座 （可选项: Vespel®（聚酰亚胺树脂）） PCTFE
通口序号 可选项记号 型号 AP12PA
q w e r 设定压力范围 0.05~1.0MPa 注）
AP12 PA S 2PW FV8 FV8 HR 进口侧压力范围 真空~20.7MPa 流量特性图 AP
AP
注）进口侧压力高的场合，最大设定压力有不能设定的情况。 进口侧压力： 10MPa 1.5MPa
设定压力 0.7MPa SL
记号 设定压力范围 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） AP12PA 配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃
PA 0.05~1.0MPa 记号 配管连接方式 可选项 0.8 AZ
FV4 1/4面密封接头（内螺纹） 记号 规格 外形尺寸图
材质 MV4 1/4面密封接头（外螺纹） 无记号 标准 0.7 AK
记号 阀体 阀芯 膜片 孔口 TW4 1/4焊接管 HF 大流量规格 注） AP12PA
S SUS316L FV6 进口侧高压规格 注） ø69.6 操作通口 0.6
SHP SUS316L 赫氏合金 ® C-22 SUS316L MV6 3/8面密封接头（内螺纹） HR （最大进口侧压力20.7MPa） 0.5 BP
3/8面密封接头（外螺纹）
二次熔炼
SH 赫氏合金 ® C-22 赫氏合金 ® C-22 TW6 3/8焊接管 注）根据进口侧压力条件，设定 （MPa）
FV8 1/2面密封接头（内螺纹） 压力范围受到限制。 0.4
内面粗糙度 MV8 1/2面密封接头（外螺纹） 设定压力 0.3 隔膜阀
记号 表面粗糙度 Ra max TW8 1/2焊接管 阀盖通口
无记号 0.4µm（标准） 通口数 FV12 3/4面密封接头（内螺纹） 注） 阀座材质 0.2
M 0.25µm 记号 通口数 MV12 3/4面密封接头（外螺纹） 注） 记号 材质
V 0.18µm 2PW 2通口 TW12 3/4焊接管 无记号 PCTFE（标准） ø47.6 0.1
X 0.13µm 3PW 3通口 注）请准备一个符合用途的额定电压的配接头。 VS Vespel ®注） 最大124.5
4PW 4通口 注）材质记号SHP、SH不能 0 0 200 400 600 800 1000
选择。 ø66.5
注）
压力表通口 （进口侧e、出口侧r） 流量（L/min（nor）,N2）
记号 压力表 压力表表示 注） 注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
通口位置 无记号 无表通口 记号 表示 单向阀
无压力表
r 0 （接头：1/4面密封 外螺纹） 无记号 不适用
r e MPA MPa 17.5 输入输出特性
V3 −0.1~0.2MPa
w q w q w q L −0.1~0.4MPa 注）选择带压力表的场合， øA 进口侧压力： 11.7MPa
1 −0.1~0.7MPa 请记入“MPA”记号。 B 1.7MPa
H −0.1~1.1MPa AP12PA 20.7MPa（HR可选项）
2PW 3PW 4PW 2 0~1.4MPa 22.4
40 0~28MPa 1.2 真空发生器
qIN wOUT eIN侧表通口 rOUT侧表通口
注）压力表详见压力表指南（P.115）。 1
压力表请选择比减压阀的设定压力范围
大的范围。
规格 （MPa） 0.8
型号 AP12PA 0.6
设定压力范围 0.05~1.0MPa
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 设定压力
进口侧压力范围 真空~11.7MPa 0.4
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍
耐压试验压力 2×M5×0.8 深6.4（10-32UNF也可使用） 流量开关
出口侧 最大设定压力的1.5倍 0.2
进口侧 最大进口侧压力的3倍 （mm）
破坏压力
出口侧 最大设定压力的3倍 配管连接方式 A B 0
最高操作压力（先导压力） 1.0MPa FV4 94.0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ 注1） MV4 50.8 101.6 操作压力（MPa）
（但未冻结）
3
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s TW4 87.9
外部泄漏 −10
3
向外泄漏 2×10 Pa · m /s 注2） FV6
−9
3
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注3） MV6 132.6 术语解说 技术资料
内面粗糙度 Ra max 0.4µm（可选项 : 0.25µm、0.18µm、0.13µm） TW6 101.6
配管连接方式 面密封接头、焊接管 FV8
操作通口 NPT1/8 MV8 63.5 132.6
阀盖通口 NPT1/8 TW8 110.2 共同注意事项
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.024MPa FV12
安装方式 底面安装 MV12 159.0
内部容积 19.6cm 3 TW12 127.0
注1）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。
注2）用钟罩法（氦气进口侧压力10.5MPa）测定。
注3）用钟罩法（氦气进口侧压力7MPa）测定。 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
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