Page 97 - 21-工艺气体元件（特气阀）
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高纯度适用 气控式减压阀  中流量                                          高纯度适用 气控式减压阀 AP14PAT                         系列
 膜片阀芯一体结构
 AP14PAT  系列


 ● 先导空气对工艺气体用2层密封隔离的安全结构  可选项规格
 ● 阀体材质 SUS316L二次熔炼  进口侧高压规格                                                                                         推荐品种
 对应进口侧高压 标准规格：最大15.9MPa；HR规格（可选项）：最大20.7MPa
 ●       与标准规格相比，变更点如下。
 ● 流量范围：＜400L/min（nor）  可选项记号  型号           AP14PAT
 ● 内部材质标准规格为赫氏合金  HR   设定压力范围             0.05~1.0MPa 注）
 ● 设定压力0.7MPa的场合， 操作压力为0.43MPa（进口侧15.9MPa时）  进口侧压力范围  真空~20.7MPa
         注）进口侧压力高的场合，最大设定压力有不能设定的情况。                                                                                 减压阀减压阀
 型号表示方法  RoHS

 通口序号    接触气体部材质
 q  w  e  r
 AP14 PA T  S  2PW  FV4 FV4  材质记号    S                            SH                                               AP
                                                                                                                   AP
             阀体                               SUS316L 二次熔炼
 设定压力        表面处理                            电解抛光＋钝化处理                                                             SL
 记号  设定压力范围  可选项  阀芯                           赫氏合金 ® C-22
 PA  0.05~1.0MPa  记号  规格  膜片                   赫氏合金 ® C-22                                                         AZ
                                  SUS316L
 材质  配管连接方式（进口侧q、出口侧w）  无记号  标准  注）  孔口  PCTFE（可选项 : Vespel ® （聚酰亚胺树脂））  赫氏合金 ® C-22                               AK
                                                                 PCTFE
             阀座
 记号  阀体  阀芯  膜片  孔口  记号  配管连接方式  HR  进口侧高压规格
 S  SUS316L  SUS316L  FV4  1/4面密封接头（内螺纹）  （最大进口侧压力20.7MPa）
 SH  二次熔炼  赫氏合金 ® C-22 赫氏合金 ® C-22  赫氏合金 ® C-22  MV4  1/4面密封接头（外螺纹）  注）按进口侧压力条件，设定                                 BP
 压力范围被限制。
 TW4  1/4焊接管  外形尺寸图                                           流量特性图
 内面粗糙度  FV6  3/8面密封接头（内螺纹）  AP14PAT                                               进口侧压力：   10MPa           1.5MPa
 记号  表面粗糙度 Ra max  MV6  3/8面密封接头（外螺纹）  阀座材质  ø69.6                                              0.7MPa               隔膜阀
 无记号  0.4µm（标准）  通口数  TW6  3/8焊接管  记号  材质  操作通口               AP14PAT               配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃
 M  0.25µm  记号  通口数  FV8  1/2面密封接头（内螺纹）  无记号  PCTFE（标准）
 V  0.18µm  2PW  2通口  MV8  1/2面密封接头（外螺纹）  VS  Vespel ®注）          0.8
 X  0.13µm  3PW  3通口  TW8  1/2焊接管  注）材质记号SH不能选择。                  0.7
 4PW  4通口
 注）
 压力表通口 （进口侧e、出口侧r）                   阀盖通口                         0.6
 记号  压力表  压力表表示 注）                                                0.5
 无记号  无表通口  记号  表示               ø47.6                          （MPa）
 通口位置  0  无压力表  无记号  不适用                                          0.4                                                单向阀
 （接头：1/4面密封 外螺纹）  MPA  MPa                           最大124.5    设定压力
 r  V3  −0.1~0.2MPa  注）选择带压力表的场合，                                 0.3
 r  e  L  −0.1~0.4MPa  请记入"MPA"记号。  ø66.5
 w  q  w  q w  q  1  −0.1~0.7MPa                                  0.2
 2  0~1.4MPa                                                      0.1
 40  0~28MPa
 2PW  3PW  4PW  注）压力表详见压力表指南（P.115）。                                0 0     100     200      300     400     500
 压力表请选择比减压阀的设定压力范围                             17.5
 qIN wOUT eIN侧表通口 rOUT侧表通口  大的范围。                                                  流量（L/min（nor）,N2）                 真空发生器
                          øA                                  注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
 规格                       B

 型号  AP14PAT             22.4                                 输入输出特性
 设定压力范围  0.05~1.0MPa               2×M5×0.8  深6.4
 使用流体  不腐蚀接触气体部材质的流体              （10-32UNF也可使用）                                 进口侧压力：       15.9MPa
 进口侧压力范围  真空~15.9MPa                                                                          1.7MPa
 进口侧  最大进口侧压力的1.5倍                                            AP14PAT                         20.7MPa（HR可选项）
 耐压试验压力
 出口侧  最大设定压力的1.5倍                                                  1.2                                               流量开关
 进口侧  最大进口侧压力的3倍
 破坏压力
 出口侧  最大设定压力的3倍
 最高操作压力（先导压力）  1.0MPa                                               1
 环境温度及使用流体温度  −40~71℃ 注1）
 （但未冻结）
 3
 向内泄漏  2×10 −11 Pa · m /s                                          0.8
 外部泄漏                      （mm）
 3
 向外泄漏  2×10 −10 Pa · m /s 注2）                                   （MPa）
 −9
 内部泄漏  4×10 Pa · m /s 注3）  配管连接方式  A  B                            0.6                                              术语解说  技术资料
 3
             FV4
 内面粗糙度  Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm、0.18µm、0.13µm）  MV4  94        设定压力
 配管连接方式  面密封接头、焊接管  TW4  50.8  101.6
 操作通口  NPT1/8  FV6           87.9                                  0.4
 阀盖通口  NPT1/8  MV6         132.6
 压力特性  进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.011MPa  TW6  101.6                   0.2                                               共同注意事项
 安装方式  底面安装  FV8      63.5
 内部容积  17.4cm 3  MV8       132.6                                    0
 注1）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。  TW8  110.2                   0    0.1   0.2   0.3   0.4   0.5   0.6  0.7
 注2）用钟罩法（氦气进口侧压力10.5MPa）测定。                                                          操作压力（MPa）
 注3）用钟罩法（氦气进口侧压力7MPa）测定。
         赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
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