Page 101 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 气控式减压阀 小~中流量 高纯度适用 气控式减压阀 AZ10PA 系列

AZ10PA 系列

● 先导空气对工艺气体用2层密封隔离的安全结构 可选项规格
阀体材质 SUS316L
● 推荐品种
对应进口侧高压 最大24.1MPa 大流量规格
● 大流量规格仅产品内部变更，不改变外形尺寸。与标准规格相比，变更如下。
● 流量范围 标准规格：＜30L /min（nor）；HF规格（可选项）：＜120L /min（nor） 可选项记号 型号 AZ10PA
● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金规格 HF 设定压力范围 0.05~1.0 Mpa 注）
● 设定压力0.7MPa的场合，操作压力为0.55MPa（进口侧24.1MPa时） 压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.0052MPa
注）进口侧压力高的场合，最大设定压力有不能设定的情况。 减压阀减压阀
型号表示方法 RoHS
接触气体部材质
通口序号
q w e r
AZ10 PA S 2PW FV4 FV4 材质记号 S SUS316L SHP AP
阀体
表面处理 电解抛光＋钝化处理
设定压力 阀芯 SUS316L 赫氏合金 ® C-22 SL
记号 设定压力范围 可选项 膜片 SUS316L 赫氏合金 ® C-22
PA 0.05~1.0MPa 记号 规格 孔口 SUS316L AZ
AZ
材质 无记号 标准 注） 阀座 PCTFE（可选项: Vespel ® （聚酰亚胺树脂）、PTFE） PCTFE（可选项: PTFE） AK
记号 阀体 阀芯 膜片 孔口 HF 大流量规格
S SUS316L SUS316L 注）按进口侧压力条件，设定 外形尺寸图 流量特性图
SHP SUS316L 赫氏合金 ® C-22 赫氏合金 ® C-22 SUS316L 压力范围受到限制。 BP
AZ10PA 进口侧压力： 10MPa 1.5MPa
0.7MPa
内面粗糙度 阀座材质 ø47.2 操作通口 AZ10PA 配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃
记号 表面粗糙度 Ra 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） 记号 材质 隔膜阀
无记号 0.25µm（标准） 通口数 记号 配管连接方式 无记号 PCTFE（标准） 0.8
Q 0.62µm 记号 通口数 FV4 1/4面密封接头（内螺纹） VS Vespel ®注1） 0.7
2PW 2通口 MV4 1/4面密封接头（外螺纹） TF PTFE 注2）注3）
3PW 3通口 FV6 3/8面密封接头（内螺纹） 注1）材质记号SHP不能选择。 阀盖通口 0.6
4PW 4通口 MV6 3/8面密封接头（外螺纹） 注2）PTFE阀座推荐用于工艺装
TW6 3/8焊接管 置等气体的末端消耗处。 ø38.1 （MPa） 0.5
注3）进口侧压力范围在2.1MPa
以下。 0.4
注）
压力表通口 （进口侧e、出口侧r） ø57.2 最大114 设定压力
通口位置 记号 压力表 0.3 单向阀
无记号 无表通口 0.2
r 无压力表 压力表表示 注）
r e 0
（接头：1/4面密封 外螺纹） 记号 表示 0.1
w q w q w q V3 −0.1~0.2MPa 无记号 不适用 17.5
L −0.1~0.4MPa MPA MPa 0 0 50 100 150 200 250 300 350 400
1 −0.1~0.7MPa 注）选择带压力表的场合， ø50.8
2PW 3PW 4PW H −0.1~1.1MPa 请记入“MPA”记号。 流量（L/min（nor）,N2）
注）压力表详见压力表指南（P.115）。 A 注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。 真空发生器
qIN wOUT eIN侧表通口 rOUT侧表通口 压力表请选择比减压阀的设定压力范围
大的范围。
规格 22.4 输入输出特性
2×M5×0.8 深6.4
型号 AZ10PA （10-32UNF也可使用） 24.1MPa
设定压力范围 0.05~1.0MPa AZ10PA 进口侧压力： 1.7MPa
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体
进口侧压力范围 真空~24.1MPa 注1） 1.2
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍
耐压试验压力
出口侧 最大设定压力的1.5倍 1 流量开关
进口侧 最大进口侧压力的3倍
破坏压力
出口侧 最大设定压力的3倍 0.8
最高操作压力（先导压力） 1.0MPa （MPa）
（但未冻结）
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ 注2） （mm） 0.6
3
外部泄漏 向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s 配管连接方式 A
3
向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注3） FV4 94.0 设定压力
−9
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注4） MV4 0.4 术语解说 技术资料
3
内面粗糙度 Ra 0.25µm（可选项 : 0.62µm） FV6 119.4
配管连接方式 面密封接头、焊接管 MV6 0.2
操作通口 NPT1/8 TW6 75.2
阀盖通口 NPT1/8 0
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.0026MPa 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 共同注意事项
安装方式 底面安装 操作压力（MPa）
内部容积 8cm 3
注1）阀座材质为PTFE的场合，进口侧压力最大为2.1MPa。
注2）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。
注3）用钟罩法（氦气进口侧压力10.5MPa）测定。
注4）用钟罩法（氦气进口侧压力7MPa）测定。 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
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