Page 103 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 气控式减压阀 小流量 高纯度适用 气控式减压阀 AZ15PA 系列
膜片阀芯一体结构

AZ15PA 系列
接触气体部材质
● 先导空气对工艺气体用2层密封隔离的安全结构
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼 推荐品种
● 进口侧压力 最大24.1MPa 材质记号 S SHP
阀体 SUS316L
● 流量范围 ＜30L/min（nor）
表面处理 电解抛光＋钝化处理
● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金规格 阀芯 SUS316L 赫氏合金 ® C-22
● 设定压力0.7MPa的场合，操作压力为0.5MPa（进口侧24.1MPa时） 膜片 SUS316L 赫氏合金 ® C-22
孔口 SUS316L 减压阀减压阀
型号表示方法 RoHS 阀座 PCTFE（可选项: Vespel ® （聚酰亚胺树脂）） PCTFE

通口序号
q w e r 外形尺寸图
AZ15 PA S 2PW FV4 FV4 AZ15PA AP

ø47.2
设定压力 阀座材质 操作通口 SL
记号 设定压力范围 记号 材质
AZ
PA 0.05~1.0MPa 无记号 PCTFE（标准） AZ
VS Vespel ®注）
材质 注）材质记号SHP不能选择。 阀盖通口 AK
记号 阀体 阀芯 膜片 孔口
S SUS316L SUS316L ø38.1
SHP SUS316L 赫氏合金 ® C-22 赫氏合金 ® C-22 SUS316L BP
压力表表示 注） 最大114
内面粗糙度 记号 表示 ø57.2
记号 表面粗糙度 Ra 无记号 不适用
MPA
MPa
无记号 0.25µm（标准） 通口数 隔膜阀
Q 0.62µm 记号 通口数 注）选择带压力表的场合
2PW 2通口 加“MPA”记号。 17.5
3PW 3通口
4PW 4通口 注）
压力表通口 ø50.8
通口位置 （进口侧e、出口侧r）
r 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） 记号 压力表 A
无记号 无表通口
记号 配管连接方式
w q w q FV4 1/4面密封接头（内螺纹） 0 无压力表 2×M5×0.8 深6.4 单向阀
MV4 1/4面密封接头（外螺纹） V3 （接头：1/4面密封 外螺纹） 22.4 （10-32UNF也可使用）
−0.1~0.2MPa
FV6 3/8面密封接头（内螺纹） （mm）
2PW 3PW MV6 3/8面密封接头（外螺纹） L −0.1~0.4MPa 配管连接方式 A
1
−0.1~0.7MPa
r e TW6 3/8焊接管 H −0.1~1.1MPa FV4 94.0
w q 2 0~1.4MPa MV4
40 0~28MPa FV6 119.4
注）压力表详见压力表指南（P.115）。 MV6 真空发生器
4PW 压力表请选择比减压阀的设定压力范围 TW6 75.2
大的范围。
qIN wOUT eIN侧表通口 rOUT侧表通口
流量特性 输入输出特性
规格
进口侧压力： 10MPa 1.5MPa
型号 AZ15PA 0.7MPa 进口侧压力： 24.1MPa
设定压力范围 0.05~1.0MPa AZ15PA 配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃ AZ15PA 1.7MPa
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 0.8 1.2
进口侧压力范围 真空~24.1MPa
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍 流量开关
耐压试验压力 0.7
出口侧 最大设定压力的1.5倍 1
进口侧 最大进口侧压力的3倍 0.6
破坏压力
出口侧 最大设定压力的3倍 0.8
最高操作压力（先导压力） 1.0MPa （MPa） 0.5 （MPa）
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ 注1） （但未冻结） 0.4 0.6
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m 3 /s
外部泄漏 −10 设定压力 设定压力
向外泄漏 2×10 Pa · m 3 /s 注2） 0.3 术语解说 技术资料
−9
内部泄漏 4×10 Pa · m 3 /s 注3） 0.4
内面粗糙度 Ra 0.25µm（可选项: 0.62µm） 0.2
配管连接方式 面密封接头、焊接管 0.1 0.2
操作通口 NPT1/8
阀盖通口 NPT1/8 0 0 共同注意事项
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.0028MPa 0 100 200 300 400 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7
安装方式 底面安装 流量（L/min（nor）,N2） 操作压力（MPa）
内部容积 8.4cm 3 注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
注1）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。
注2）用钟罩法（氦气进口侧压力10.5MPa）测定。
注3）用钟罩法（氦气进口侧压力7MPa）测定。 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
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