Page 104 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 气控式减压阀 中流量 高纯度适用 气控式减压阀 AZ14PAT 系列
膜片阀芯一体结构
AZ14PAT 系列

●先导空气对工艺气体用2层密封隔离的安全结构 可选项规格
●阀体材质 SUS316L二次熔炼 进口侧高压规格
●对应进口侧高压 标准规格：最大15.9MPa； HR规格（可选项）最大20.7MPa 与标准规格相比，变更点如下。
●流量范围 ＜400L/min（nor） 可选项记号 型号 AZ14PAT
●内部材质标准规格为赫氏合金 HR 设定压力范围 0.05~1.0MPa 注）
●设定压力0.7MPa的场合，操作压力为0.43MPa（进口侧15.9MPa时） 进口侧压力范围 真空~20.7MPa
型号表示方法 RoHS 注）进口侧压力高的场合，最大设定压力有不能设定的情况。

通口序号
q w e r 接触气体部材质
AZ14 PA T S 2PW FV4 FV4

材质记号 S
设定压力 阀体 SUS316L
记号 设定压力范围 可选项 表面处理 电解抛光＋钝化处理
PA 0.05~1.0MPa 记号 规格 阀芯 赫氏合金 ® C-22
材质 无记号 标准 注） 膜片 赫氏合金 ® C-22
SUS316L
孔口
记号 阀体 阀芯 膜片 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） HR 进口侧高压规格 阀座 PCTFE（可选项: Vespel ® （聚酰亚胺树脂））
S SUS316L 赫氏合金 ® C-22 赫氏合金 ® C-22 记号 配管连接方式 （最大进口侧压力20.7MPa）
FV4 1/4面密封接头（内螺纹） 注）按进口侧压力条件，设定
压力范围受到限制。
内面粗糙度 MV4 1/4面密封接头（外螺纹） 外形尺寸图 流量特性图
记号 表面粗糙度 Ra FV6 3/8面密封接头（内螺纹） 进口侧压力： 10MPa 1.5MPa
无记号 0.25µm（标准） 通口数 MV6 3/8面密封接头（外螺纹） 阀座材质 AZ14PAT ø69.6 0.7MPa
Q 0.62µm 记号 通口数 TW6 3/8焊接管 记号 材质 操作通口 AZ14PAT 配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃
2PW 2通口 FV8 1/2面密封接头（内螺纹） 无记号 PCTFE（标准）
0.8
3PW 3通口 MV8 1/2面密封接头（外螺纹） VS Vespel ® 0.8
4PW 4通口 TW8 1/2焊接管 0.7
压力表表示 注）
注）
压力表通口 （进口侧e、出口侧r） 记号 表示 阀盖通口 0.6
记号 压力表 无记号 不适用
无记号 无表通口 MPA MPa ø47.6 （MPa） 0.5
通口位置 0 无压力表 注）选择带压力表的场合， 0.4
（接头：1/4面密封 外螺纹） 请记入“MPA”记号。 最大124.5 设定压力
r V3 −0.1~0.2MPa ø66.5 0.3
r e L −0.1~0.4MPa
w q w q w q 1 −0.1~0.7MPa 0.2
2 0~1.4MPa
40 0~28MPa 0.1
2PW 3PW 4PW 注）压力表详见压力表指南（P.115）。 17.5 0
压力表请选择比减压阀的设定压力范围 0 100 200 300 400 500
qIN wOUT eIN侧表通口 rOUT侧表通口 大的范围。 ø63.5 流量（L/min（nor）,N2）
注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
规格 A

型号 AZ14PAT 22.4 输入输出特性
设定压力范围 0.05~1.0MPa 2×M5×0.8 深6.4
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 （10-32UNF也可使用） 进口侧压力： 15.9MPa
进口侧压力范围 真空~15.9MPa 1.7MPa
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍 AZ14PAT
耐压试验压力 20.7MPa（HR可选项）
出口侧 最大设定压力的1.5倍
进口侧 最大进口侧压力的3倍 1.2
破坏压力
出口侧 最大设定压力的3倍
最高操作压力（先导压力） 1.0MPa 1
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ 注1）
（但未冻结）
3
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s 0.8
外部泄漏 −10 （mm）
3
向外泄漏 2×10 Pa · m /s 注2） （MPa）
−9
3
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注3） 配管连接方式 A 0.6
内面粗糙度 Ra 0.25µm（可选项: 0.62µm） FV4 109.2 设定压力
配管连接方式 面密封接头、焊接管 MV4
操作通口 NPT1/8 FV6 132.6 0.4
阀盖通口 NPT1/8 MV6
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.011MPa TW6 101.6 0.2
安装方式 底面安装 FV8 132.6
内部容积 17.4cm 3 MV8 0
注1）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。 TW8 110.2 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7
注2）用钟罩法（氦气进口侧压力10.5MPa）测定。 操作压力（MPa）
注3）用钟罩法（氦气进口侧压力7MPa）测定。 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。
Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
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