Page 106 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 气控式减压阀 大流量 高纯度适用 气控式减压阀 AZ12PA 系列
膜片阀芯一体结构
AZ12PA 系列

● 先导空气对工艺气体用2层密封隔离的安全结构 可选项规格 接触气体部材质
阀体材质 SUS316L
● 1.大流量规格
对应进口侧高压 标准规格：最大11.7MPa；HR规格（可选项）：最大20.7MPa
● 大流量规格仅产品内部变更，不改变外形尺寸。与标准规格相比变更 材质记号 S SHP
● 流量范围 标准规格：＜800L /min（nor）；HF规格（可选项）：＜1000L /min（nor） 如下。 阀体 SUS316L
● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金 可选项记号 型号 AZ12PA 注） 表面处理 SUS316L 电解抛光＋钝化处理
赫氏合金 ® C-22
阀芯
● 设定压力0.7MPa的场合，操作压力为0.5MPa（进口侧11.7MPa时） HF 设定压力范围 0.05~1.0MPa 膜片 赫氏合金 ® C-22
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.029MPa 孔口 SUS316L
型号表示方法 RoHS 2.进口侧高压规格 阀座 PCTFE（可选项: Vespel ® （聚酰亚胺树脂）） PCTFE
与标准规格相比变更点如下。
通口序号 可选项记号 型号 AZ12PA
q w e r HR 设定压力范围 0.05~1.0MPa 注）
AZ12 PA S 2PW FV8 FV8 进口侧压力范围 真空~20.7MPa 流量特性图
注）进口侧压力高的场合，最大设定压力有不能设定的情况。 进口侧压力： 10MPa 1.5MPa
设定压力 0.7MPa
记号 设定压力范围 可选项 AZ12PA 配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃
PA 0.05~1.0MPa 记号 规格 0.8
材质 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） 无记号 标准 注） 外形尺寸图 0.7
记号 阀体 阀芯 膜片 记号 配管连接方式 HF 大流量规格 注）
S SUS316L FV4 1/4面密封接头（内螺纹） HR 进口侧高压规格 0.6
SHP SUS316L 赫氏合金 ® C-22 赫氏合金 ® C-22 MV4 1/4面密封接头（外螺纹） （最大进口侧压力20.7MPa） AZ12PA 0.5
FV6 3/8面密封接头（内螺纹） 注）按进口侧压力条件，设定压 ø69.6 （MPa）
力范围受到限制。
内面粗糙度 MV6 3/8面密封接头（外螺纹） 操作通口 0.4
记号 表面粗糙度 Ra TW6 3/8焊接管 设定压力 0.3
无记号 0.25µm（标准） 通口数 FV8 1/2面密封接头（内螺纹） 阀座材质
Q 0.62µm 记号 通口数 MV8 1/2面密封接头（外螺纹） 记号 材质 0.2
2PW 2通口 TW8 1/2焊接管 无记号 PCTFE（标准）
3PW 3通口 VS Vespel ®注） 阀盖通口 0.1
4PW 4通口 压力表通口 （进口侧e、出口侧r） 注）材质记号SHP不能选择。 ø47.6
注）
记号 压力表 0 0 200 400 600 800 1000
无记号 无表通口 注） ø66.5 最大124.5 流量（L/min（nor）,N2）
0 无压力表 压力表表示 注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
（接头：1/4面密封 外螺纹） 记号 表示
通口位置 V3 −0.1~0.2MPa 无记号 不适用
L −0.1~0.4MPa MPA MPa
r 1 −0.1~0.7MPa 输入输出特性
r e 注）选择带压力表的场合，
H −0.1~1.1MPa 请记入“MPA”记号。
w q w q w q 2 0~1.4MPa ø63.5 17.5 进口侧压力： 11.7MPa
40 0~28MPa A AZ12PA 1.7MPa
注）压力表详见压力表指南（P.115）。 20.7MPa（HR可选项）
2PW 3PW 4PW 压力表请选择比减压阀的设定压力范围 22.4 2×M5×0.8 深6.4 1.2
大的范围。 （10-32UNF也可使用）
qIN wOUT eIN侧表通口 rOUT侧表通口
1
规格 0.8

型号 AZ12PA （MPa）
设定压力范围 0.05~1.0MPa 0.6
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 设定压力
进口侧压力范围 真空~11.7MPa 0.4
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍
耐压试验压力 （mm）
出口侧 最大设定压力的1.5倍
进口侧 最大进口侧压力的3倍 配管连接方式 A 0.2
破坏压力 FV4
出口侧 最大设定压力的3倍 109.2
最高操作压力（先导压力） 1.0MPa MV4 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8
FV6
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ 注1） MV6 132.6
（但未冻结）
3
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s 操作压力（MPa）
外部泄漏 −10 TW6 101.6
3
向外泄漏 2×10 Pa · m /s 注2）
−9
3
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注3） FV8 132.6
内面粗糙度 Ra 0.25µm（可选项: 0.62µm） MV8
配管连接方式 面密封接头、焊接管 TW8 110.2
操作通口 NPT1/8
阀盖通口 NPT1/8
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.024MPa
安装方式 底面安装
内部容积 19.6cm 3
注1）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。
注2）用钟罩法（氦气进口侧压力10.5MPa）测定。 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。
注3）用钟罩法（氦气进口侧压力7MPa）测定。
Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
105