Page 95 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 气控式减压阀 小流量 高纯度适用 气控式减压阀 AP15PA 系列
膜片阀芯一体结构
AP15PA 系列

● 先导空气对工艺气体用2层密封隔离的安全结构 接触气体部材质
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼 推荐品种
对应进口侧高压 最大24.1MPa
● 材质记号 S SHP SH H
● 流量范围 标准规格：＜30L/min（nor） 阀体 SUS316L 二次熔炼 赫氏合金 ® C-22
● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是赫氏合金规格 表面处理 电解抛光＋钝化处理 电解抛光处理
● 设定压力0.7MPa的场合，操作压力为0.5MPa（进口侧24.1MPa时） 阀芯 SUS316L 赫氏合金 ® C-22
膜片 SUS316L 赫氏合金 ® C-22 减压阀减压阀
型号表示方法 RoHS 孔口 PCTFE SUS316L 赫氏合金 ® C-22
阀座 PCTFE
（可选项: Vespel ® （聚酰亚胺树脂））
通口序号
q w e r
AP15 PA S 2PW FV4 FV4 外形尺寸图 AP
AP
AP15PA
设定压力 ø47.2 操作通口 SL
记号 设定压力范围 阀座材质
PA 0.05~1.0MPa 记号 材质 AZ
无记号 PCTFE（标准）
材质 VS Vespel ®注） AK
记号 阀体 阀芯 膜片 孔口 注）材质记号SHP、SH、H
S SUS316L SUS316L 不能选择。 阀盖通口
SHP SUS316L SUS316L 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） BP
二次熔炼
SH 赫氏合金 ® C-22 赫氏合金 ® C-22 记号 配管连接方式 压力表表示 注） ø38.1
H 赫氏合金 ® C-22 赫氏合金 ® C-22 FV4 1/4面密封接头（内螺纹） 记号 表示 最大114
MV4 1/4面密封接头（外螺纹） 无记号 不适用 ø57.2
表面粗糙度 TW4 1/4焊接管 MPA MPa 隔膜阀
记号 表面粗糙度 Ra max FV6 3/8面密封接头（内螺纹） 注）选择带压力表的场合，
请记入“MPA”记号。
无记号 0.4µm（标准） 通口数 MV6 3/8面密封接头（外螺纹）
M 0.25µm 记号 通口数 TW6 3/8焊接管
V 0.18µm 2PW 2通口 17.5
X 0.13µm 3PW 3通口 压力表通口 （进口侧e、出口侧r）
注）
4PW 4通口 记号 压力表 ø50.8
无记号 无表通口 A
通口位置 0 无压力表 单向阀
（接头：1/4面密封 外螺纹） 22.4
r V3 −0.1~0.2MPa （mm）
r e L −0.1~0.4MPa 配管连接方式 A 2×M5×0.8 深6.4
w q w q w q 1 −0.1~0.7MPa FV4 （10-32UNF也可使用）
2 0~1.4MPa MV4 94.0
40 0~28MPa TW4 75.2
2PW 3PW 4PW 注）压力表详见压力表指南（P.115）。 FV6
压力表请选择比减压阀的设定压力范围 MV6 119.4
qIN wOUT eIN侧表通口 rOUT侧表通口 大的范围。 TW6 75.2 真空发生器
规格
流量特性图 输入输出特性
型号 AP15PA
设定压力范围 0.05~1.0MPa 进口侧压力： 10MPa 1.5MPa
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 0.7MPa 进口侧压力： 24.1MPa
进口侧压力范围 真空~24.1MPa AP15PA 配管连接口径：1/4英寸；流体温度：21℃ AP15PA 1.7MPa
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍
耐压试验压力 0.8 1.2
出口侧 最大设定压力的1.5倍 流量开关
进口侧 最大进口侧压力的3倍 0.7
破坏压力 1
出口侧 最大设定压力的3倍
最高操作压力（先导压力） 1.0MPa 0.6
环境温度及使用流体温 −40~71℃ 注1） 0.5 0.8
（但未冻结）
3
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s （MPa） （MPa）
外部泄漏
向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注2） 0.4 0.6
3
−9
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注3） 设定压力 设定压力
3
内面粗糙度 Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm、0.18µm、0.13µm） 0.3 0.4 术语解说 技术资料
配管连接方式 面密封接头、焊接管 0.2
操作通口 NPT1/8
阀盖通口 NPT1/8 0.1 0.2
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时，设定压力上升0.0028MPa 共同注意事项
安装方式 底面安装 0 0
内部容积 8.4cm 3 0 100 200 300 400 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7
流量（L/min（nor）,N2） 操作压力（MPa）
注1）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合为Max.90℃。
注2）用钟罩法（氦气进口侧压力10.5MPa）测定。 注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
注3）用钟罩法（氦气进口侧压力7MPa）测定。
赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。Vespel ® （聚酰亚胺树脂）是Dupont公司的注册商标。
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